新型高灵敏度和无标记检测超微量样品的太赫兹传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种新型高灵敏度的可用于无标记超微量传感的太赫兹传感器，包括周期的基础结构和构建在基础结构上的样品阱，所述周期基础结构的单元结构为金属线和两侧开口谐振环组成的类电磁感应透明结构，而样品阱是在双侧谐振环开口上层构建一对方阱结构用于放样。本发明专利技术还公开了一种制备所述新型太赫兹传感器的方法以及将所述新型太赫兹传感器用于超微量检测的方法。本发明专利技术通过在所述太赫兹传感器的样品阱内放置超微量生物样品，实现了对超微量生物样品的无标记高灵敏度检测。超微量生物样品的无标记高灵敏度检测。超微量生物样品的无标记高灵敏度检测。

【技术实现步骤摘要】
新型高灵敏度和无标记检测超微量样品的太赫兹传感器


[0001]本专利技术涉及一种太赫兹传感器，特别涉及一种新型高灵敏度和无标记检测超微量样品的太赫兹传感器。

技术介绍

[0002]在过去的几十年，太赫兹技术迅速发展，诸如太赫兹成像、太赫兹时域光谱技术等先后出现。太赫兹用于生物医学应用也成为其中一个重要场景。太赫兹的光子能量只有meV量级，远低于X射线，对被测物不会造成电离损伤，适用于活体无损检测。大量有机分子的转动、振动跃迁、以及分子间的弱相互作能级正好处于太赫兹波段，因此太赫兹技术有利于生物研究应用。
[0003]设计出可以用于检测生物样品的太赫兹功能器件对生物医学领域十分重要。现如今广泛应用的流式仪对生物分子的标记测量，具有破坏性、无法进行动态观测、价格昂贵耗时长，且对样品需求量较大。而利用高品质的光学微腔镜虽然可以实现无标记的检测，但是这种方法热稳定性差、制备复杂，且立体结构难以集成导致其难以得到实际应用。
[0004]基于超材料和等离激元等结构可以增强光和被测样品的相互作用，从而引起光谱响应的变化，可以实现对生物样品的无本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.新型高灵敏度和无标记检测超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，包括基础周期结构的类电磁感应透明超材料和构建在上层的样品阱，所述基础周期结构的单元结构为位于中心的金属线和关于金属线左右对称的两个开口谐振环。2.根据权利要求1所述的新型高灵敏度和无标记测量超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，所述类电磁感应透明超材料的基底为介质基底薄膜。3.根据权利要求2所述的新型高灵敏度和无标记测量超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，所述介质基底薄膜材质为聚酰亚胺，厚度为5μm。4.根据权利要求1所述的新型高灵敏度和无标记测量超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，所述金属线和两个开口谐振环的材质均为金，厚度均为200nm。5.根据权利要求1所述的新型高灵敏度和无标记测量超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，在两侧开口谐振环上层建立样品阱。6.根据权利要求1所述的新型高灵敏度和无标记测量超微量样品的太赫兹传感器，其特征在于，所述样品阱的材质为SU
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8光刻胶。7.一种制备如权利要求1
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6任一项所述的太赫兹传感器的方法，包括如下步骤：(1)清洗基片，用于生长太赫...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彩虹，向星诚，范克彬，吴敬波，金飚兵，陈健，吴培亨，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：