一种光衰减器制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种光衰减器，包括波导组件，加热电极回路、调制电极回路；以及覆盖在波导组件上层的上包层；波导组件包括：调制波导组件；加热电极回路设置于上包层上与调制波导组件对应的位置；调制电极回路至少包括一个，调制电极回路沿第一方向设置于上包层上，且位于加热电极回路的至少一侧；第一方向为光传输方向。在实际应用中，光信号在波导组件传输至所述调制波导组件时，在加热电极回路的热效力作用下产生多路偏振光信号，并在调制电极回路的热效力作用下调节多路偏振光信号的偏振角度，使其相互可抵消，从而使通过光衰减器输出的光信号可以获得较小的PDL值，保证对光功率的有效衰减，提高了光衰减器对光功率的调节性能。节性能。节性能。

【技术实现步骤摘要】
一种光衰减器


[0001]本专利技术涉及光通信
，尤其涉及一种光衰减器。

技术介绍

[0002]平面光波导(Planar Lightwave Circuit，PLC)型可变光衰减器(Variable Optical Attenuator，VOA)是光通信系统中重要的光器件之一，其具有制作简单、尺寸小、稳定性好、成本低、易于集成和适合大规模生产等优点。现有的PLC型VOA通常基于硅基二氧化硅技术，采用MZI(Mach
‑
Zehnder Interferometer,马赫曾德干涉仪)结构，包括输入直波导、输入Y分支、上调制波导、下调制波导、输出Y分支、输出直波导，上调制波导和下调制波导上设置有加热电极，通过施加电压给加热电极发热，将热量传递到波导芯层通过波导的热光效应来实现光功率的衰减。
[0003]但是，在实际工作中，施加给加热电极的电压越大，波导受到的热应力越大，随着热应力和光功率衰减的增加，偏振相关损耗(polarization
‑
dependent loss，简称PDL)也随之增大，从而导致通信链路的光抖动，降低了光衰减器的对光功率的调节性能。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例主要提供一种光衰减器，能够减小光衰减器的PDL，提高光衰减器对光功率的调节性能。
[0005]本专利技术实施例提供一种光衰减器，包括：波导组件，加热电极回路、调制电极回路，以及覆盖在所述波导组件上层的上包层；所述波导组件包括：调制波导组件；
[0006]所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述调制波导组件对应的位置；
[0007]所述调制电极回路至少包括一个，所述调制电极回路沿第一方向设置于所述上包层上，且位于所述加热电极回路的至少一侧；所述第一方向为光传输方向；
[0008]其中，光信号在所述波导组件传输至所述调制波导组件时，在所述加热电极回路的热效力作用下产生多路偏振光信号，并在所述调制电极回路的热效力作用下调节所述多路偏振光信号的偏振角度，使其相互可抵消。
[0009]本衰减器中，所述波导组件还包括：输入波导组件和输出波导组件；所述输入波导组件、所述调制波导组件和所述输出波导组件依次连接；
[0010]其中，所述光信号通过所述输入波导组件传输，产生具有偏振旋转的多路光信号，所述多路光信号传输至所述调制波导组件时，在所述加热电极回路的热效力作用下，发成二次偏振旋转，形成所述多路偏振光信号，并在所述调制电极回路的热效力作用下调节所述多路偏振光信号的旋转角度，以使得所述多路偏振光信号在传输到所述输出波导组件时，所述多路偏振光信号的偏振角度相互抵消。
[0011]在本专利技术实施例中，所述调制电极回路包括多个；多个调制电极回路依次有间隙或无间隙沿第一方向设置于所述上包层上，且位于所述加热电极回路的至少一侧。
[0012]在本专利技术实施例中，所述调制电极回路包括调制电极和位于所述调制电极两端的
第一导电电极，所述调制电极通过所述第一导电电极分别连接电源的正极和负极形成所述调制电极回路；
[0013]所述加热电极回路包括加热电极和位于所述加热电极两端的第二导电电极，所述加热电极通过所述第二导电电极分别连接电源的正极和负极形成所述加热电极回路。
[0014]在本专利技术实施例中，所述输入波导组件包括：输入直波导和输入分支波导，所述输入直波导和输入分支波导依次连接；
[0015]其中，所述光信号在所述输入直波导传输至所述输入分支波导时，产生具有偏振旋转的多路光信号。
[0016]在本专利技术实施例中，所述调制波导组件包括：上调制波导和下调制波导；
[0017]所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述上调制波导对应的位置；和/或，所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述下调制波导对应的位置；
[0018]其中，所述光信号通过所述输入波导组件传输，产生具有偏振旋转的多路光信号，所述多路光信号传输至所述上调制波导和所述下调制波导时，在所述上调制波导对应位置的加热电极回路的热效力作用下；和/或，在所述下调制波导对应的位置的加热电极回路的热效力作用下，发生二次偏振旋转，形成至少一路偏振光信号，并在所述调制电极回路的热效力作用下，调节所述至少一路偏振光信号的旋转角度，使其与其他路光信号相互可抵消。
[0019]在本专利技术实施例中，所述输出波导组件包括：输出分支波导和输出直波导，所述输出直波导和所述输出直波导依次连接；
[0020]其中，所述至少一路偏振光信号经所述调制电极回路调节旋转角度后，所述至少一路偏振光信号与其他路光信号相互可抵消，通过所述输出分支波导，并在所述分支波导与输出直波导连接的一端形成目标光信号，所述目标光信号通过所述输出直波导输出。
[0021]在本专利技术实施例中，所述光衰减器还包括：下包层和衬底，所述下包层位于所述波导组件的下方，所述衬底位于所述下包层的下方。
[0022]在本专利技术实施例中，光信号在所述波导组件中传输至所述调制波导组件时，基于所述加热电极回路对所述调制波导组件进行加热，以便对所述光信号进行相移调节；
[0023]对所述调制电极回路进行加热，以使所述调制电极回路对经过相移调节后的所述光信号进行二次相移调节，经过所述二次相移调节后的所述光信号的在输出所述调制波导组件时，形成目标光信号，所述目标光信号的功率小于所述光信号的功率。
[0024]在本专利技术实施例中，光信号在所述输入波导组件进行传输时，发生相移，所述发生相移的光信号通过所述调制波导组件时，产生二次相移，通过加热所述调制电极回路，对所述产生二次相移的所述光信号进行相移调节，以使从所述调制波导组件输出至所述输出波导组件的光信号为目标光信号，所述目标光信号的功率小于所述光信号的功率。
[0025]在本专利技术实施例中，光信号通过所述输入直波导，并传输至所述输入分支波导时，发生相移并产生多路光信号。
[0026]在本专利技术实施例中，多路光信号通过上调制波导和下调制波导时，对所述上调制波导对应的位置的加热电极回路进行加热；和/或，对所述下调制波导对应的位置的加热电极回路进行加热，使得至少一路所述多路光信号发生二次相移，通过对所述上调制波导上的调制电极回路进行加热；和/或，通过对所述下调制波导上的调制电极回路进行加热，以便对所述多路光信号中的至少一路进行相移调节，使得从所述上调制波导和下调制波导输
出至输出波导组件并汇合的光信号为目标光信号，所述目标光信号的功率小于所述光信号的功率。
[0027]本专利技术实施例提供了一种光衰减器，包括波导组件，加热电极回路、调制电极回路；以及覆盖在波导组件上层的上包层；波导组件包括：调制波导组件；加热电极回路设置于上包层上与调制波导组件对应的位置；调制电极回路至少包括一个，调制电极回路沿第一方向设置于上包层上，且位于加热电极回路的至少一侧；第一方向为光传输方向。其中，光信号在波导组件传输至所述调制波导组件时，在加热电极回路的热效力作用下产生多路偏振光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光衰减器，其特征在于，包括：波导组件、加热电极回路、调制电极回路，以及覆盖在所述波导组件上层的上包层；所述波导组件包括：调制波导组件；所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述调制波导组件对应的位置；所述调制电极回路至少包括一个，所述调制电极回路沿第一方向设置于所述上包层上，且位于所述加热电极回路的至少一侧；所述第一方向为光传输方向；其中，光信号在所述波导组件传输至所述调制波导组件时，在所述加热电极回路的热效力作用下产生多路偏振光信号，并在所述调制电极回路的热效力作用下调节所述多路偏振光信号的偏振角度，使其相互可抵消。2.根据权利要求1所述的光衰减器，其特征在于，所述波导组件还包括：输入波导组件和输出波导组件；所述输入波导组件、所述调制波导组件和所述输出波导组件依次连接；其中，所述光信号通过所述输入波导组件传输，产生具有偏振旋转的多路光信号，所述多路光信号传输至所述调制波导组件时，在所述加热电极回路的热效力作用下，发成二次偏振旋转，形成所述多路偏振光信号，并在所述调制电极回路的热效力作用下调节所述多路偏振光信号的旋转角度，以使得所述多路偏振光信号在传输到所述输出波导组件时，所述多路偏振光信号的偏振角度相互抵消。3.根据权利要求1或2所述的光衰减器，其特征在于，所述调制电极回路包括多个；多个调制电极回路依次有间隙或无间隙沿第一方向设置于所述上包层上，且位于所述加热电极回路的至少一侧。4.根据权利要求1或2所述的光衰减器，其特征在于，所述调制电极回路包括调制电极和位于所述调制电极两端的第一导电电极，所述调制电极通过所述第一导电电极分别连接电源的正极和负极形成所述调制电极回路；所述加热电极回路包括加热电极和位于所述加热电极两端的第二导电电极，所述加热电极通过所述第二导电电极分别连接电源的正极和负极形成所述加热电极回路。5.根据权利要求2所述的光衰减器，其特征在于，所述输入波导组件包括：输入直波导和输入分支波导，所述输入直波导和输入分支波导依次连接；其中，所述光信号在所述输入直波导传输至所述输入分支波导时，产生具有偏振旋转的多路光信号。6.根据权利要求1至5任一项所述的光衰减器，其特征在于，所述调制波导组件包括：上调制波导和下调制波导；所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述上调制波导对应的位置；和/或，所述加热电极回路设置于所述上包层上与所述下调制波导对应的位置；其中，所述光信号通过所述输入波导组件传输，产生具有偏振旋转的多路光信号，所述多路光信号传输至所述上调制波导和所述下调制波导时，在所述上调制波导对应位置的加热电极回路的热效力作用下；...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓辉，吴凡，赵明璐，李迪，张晋军，闵玉岚，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：