倾斜测量装置及倾斜测量方法制造方法及图纸

倾斜测量装置具有第一激光位移计和第二激光位移计。第一激光位移计对测量对象物照射第一激光来测量测量对象物的位移。第二激光位移计对测量对象物照射第二激光来测量测量对象物的位移。反射构件位于相对于第一激光的光路和第二激光的光路的退避位置或进入位置。在反射构件位于退避位置的情况和位于进入位置的情况这两者时，第一激光位移计和第二激光位移计测量测量对象物的位移。反射构件在进入位置时改变第一激光和第二激光的前进方向，使第一激光和第二激光朝向测量对象物进行反射。一激光和第二激光朝向测量对象物进行反射。一激光和第二激光朝向测量对象物进行反射。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】倾斜测量装置及倾斜测量方法


[0001]本公开涉及倾斜测量装置和倾斜测量方法。

技术介绍

[0002]以往的多点角度测定装置具备测量基准面的旋转角的旋转支撑体、安装于其上且具有可动部的XY工作台、以及放射方向被固定的X射线源和接收射线管(例如专利文献1)。然后，将分别具有光源的两个激光聚焦位移计设置在石英板的上方。激光聚焦位移计与角度运算器连接。
[0003]激光聚焦位移计测量石英板的两点上相对于主面垂直方向的位移。然后，角度运算器根据预先设定的光源间的距离和两点间的位移差，利用三角函数计算两点间的倾斜。即，得到石英板的两点间的从基准面开始的偏离角。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1:日本公开公报:特开平11
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63956号公报专利技术概述本专利技术要解决的问题
[0005]在现有的多点角度测定装置中，为了计算两点间的倾斜，准备两个激光聚焦位移计。因此，例如，为了计算其他的两点之间的倾斜，需要追加两个激光聚焦位移计。即，需要四个激光聚焦位移计。
[0006]本专利技术是鉴于上述课题而完本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种倾斜测量装置，是测量测量对象物的倾斜的倾斜测量装置，其特征在于，具有：第一激光位移计，该第一激光位移计对所述测量对象物照射第一激光，测量所述测量对象物的位移；第二激光位移计，该第二激光位移计对所述测量对象物照射第二激光，测量所述测量对象物的位移；以及反射构件，该反射构件位于相对于所述第一激光的光路和所述第二激光的光路的退避位置或进入位置，在所述反射构件位于所述退避位置的情况和位于所述进入位置的情况这两者时，所述第一激光位移计和所述第二激光位移计测量所述测量对象物的位移，所述反射构件在所述进入位置时改变所述第一激光和所述第二激光的前进方向，使所述第一激光和所述第二激光朝向所述测量对象物反射。2.如权利要求1所述的倾斜测量装置，其特征在于，所述测量对象物的第一旋转轴与第一虚拟平面交叉，所述第一虚拟平面包括所述反射构件位于所述退避位置时的所述第一激光的光路和所述第二激光的光路，所述测量对象物的第二旋转轴与第二虚拟平面交叉，所述第二虚拟平面包括经所述反射构件反射后的所述第一激光的光路和所述第二激光的光路。3.如权利要求2所述的倾斜测量装置，其特征在于，还具有计算部，该计算部根据所述反射构件位于所述退避位置时所述第一激光位移计得到的测量结果和所述第二激光位移计得到的测量结果，计算绕所述第一旋转轴的所述测量对象物的倾斜，所述计算部根据所述反射构件位于所述进入位置时所述第一激光位移计得到的测量结果和所述第二激光位移计得到的测量结果，计算绕所述第二旋转轴的所述测量对象物的倾斜。4.如权利要求3所述的倾斜测量装置，其特征在于，激光点距离表示基准状态下所述测量对象物中所述第一激光的照射点和所述第二激光的照射点之间的距离，激光点位移量是与所述测量对象物的倾斜相对应的物理量，表示所述第一激光的所述照射点的位移量与所述第二激光的所述照射点的位移量之和，所述计算部根据所述激光点距离和所述激光点位移量，利用三角法计算表示所述测量对象物相对于所述基准状态的倾斜的倾斜角度。5.如权利要求4所述的倾斜测量装置，其特征在于，预先设定所述反射构件位于所述退避位置时的所述激光点距离。6.如权利要求2至5中任一项所述的倾斜测量装置，其特征在于，还具有第三激光位移计，该第三激光位移计对所述测量对象物照射第三激光，测量...

【专利技术属性】
技术研发人员：牧野修之，村上浩二，橘高昂志，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：