一种扫描电镜电子枪的电源供电电路制造技术

本发明专利技术公开一种扫描电镜电子枪的电源供电电路，灯丝加热输入电路，用于对输入的电网电压进行变压、隔离、滤波处理；扫描电镜电子枪，用于获取灯丝加热输入电路输出的灯丝电流；加速电源，其输出端通过栅偏压调节电阻连接扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，用于将预设加速电压施加在扫描电镜电子枪上；灯丝电源保护电阻，其连接在扫描电镜电子枪的灯丝流入电极和灯丝流出电极之间，保护扫描电镜电子枪。本发明专利技术通过灯丝加热输入电路对低压、交流电进行转换，以给扫描电镜电子枪提供稳定的灯丝直流电流，并通过电子枪保护电阻将预设加速电压叠加到扫描电镜电子枪上，保证扫描电镜电子枪安全可靠的工作。安全可靠的工作。安全可靠的工作。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜电子枪的电源供电电路


[0001]本专利技术涉及扫描电镜电子枪
，具体涉及一种扫描电镜电子枪的电源供电电路。

技术介绍

[0002]扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维码图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。
[0003]扫描电镜电子枪在工作时，首先需要有电流流经灯丝加热阴极，灯丝中的电子收到热激发，在加速电场的作用下，电子从灯丝尖端发射出来。灯丝加热电流约为2.5A左右，加速电场一般为0至
‑
30KV，对地为负极性。同时为调节发射束流的大小，扫描电镜电子枪存在一个栅极，相较于加速电压，在栅极片(帽)上加0
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2000V的负电压用以调节发射束流大小。扫描电镜电子枪工作需要0
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3A可调直流电，需要0
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2000V的栅偏压，并且二者均需要“悬浮”在0
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30KV的加速电压下，由于加速电压过大，无法保证扫描电镜电子枪能够产生稳定的灯丝电流和可调节的栅偏压，最终影响使用扫描电镜电子枪的安全性。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中，由于加速电压过大，无法保证扫描电镜电子枪能够产生稳定的灯丝电流和可调节的栅偏压，最终影响使用扫描电镜电子枪的安全性的问题，从而提供一种扫描电镜电子枪的电源供电电路。
[0005]根据第一方面，本专利技术实施例公开一种扫描电镜电子枪的电源供电电路，包括：
[0006]灯丝加热输入电路，用于对输入的电网电压进行变压、隔离、滤波处理；
[0007]扫描电镜电子枪，其灯丝流入电极连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，其灯丝流出电极连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，用于获取所述灯丝加热输入电路输出的灯丝电流；
[0008]加速电源，其输出端通过栅偏压调节电阻连接所述扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，用于将预设加速电压施加在所述扫描电镜电子枪上；
[0009]灯丝电源保护电阻，其连接在所述扫描电镜电子枪的所述灯丝流入电极和所述灯丝流出电极之间，保护所述扫描电镜电子枪；
[0010]结合第一方面，在第一方面的一种实施方式中，所述灯丝电源保护电阻，包括：第一电阻和第二电阻，所述第一电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，所述第二电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，所述第一电阻和第二电阻的第二端相连。
[0011]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述栅偏压调节电阻，其第一端
连接所述第一电阻和第二电阻的第二端，其第二端连接所述扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，其第三端通过第三电阻连接所述加速电源的输出端。
[0012]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述栅偏压调节电阻，用于调节所述加速电源施加在所述扫描电镜电子枪上的所述预设加速电压。
[0013]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述扫描电镜电子枪包括：钨灯丝扫描电镜电子枪或六硼化镧扫描电镜电子枪。
[0014]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述灯丝加热输入电路包括：依次连接的第一变压器、第二变压器、整流桥、LC 滤波电路。
[0015]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述LC滤波电路包括：相互连接的L滤波电感和滤波电容。
[0016]结合第一方面，在第一方面的另一种实施方式中，所述预设加速电压为0
‑
30KV。
[0017]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0018]本专利技术公开一种扫描电镜电子枪的电源供电电路，灯丝加热输入电路，用于对输入的电网电压进行变压、隔离、滤波处理；扫描电镜电子枪，用于获取灯丝加热输入电路输出的灯丝电流；加速电源，其输出端通过栅偏压调节电阻连接扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，用于将预设加速电压施加在扫描电镜电子枪上；灯丝电源保护电阻，其连接在扫描电镜电子枪的灯丝流入电极和灯丝流出电极之间，保护扫描电镜电子枪。本专利技术通过灯丝加热输入电路对低压、交流电进行转换，以给扫描电镜电子枪提供稳定的灯丝直流电流，并通过电子枪保护电阻将预设加速电压叠加到扫描电镜电子枪上，保证扫描电镜电子枪安全可靠的工作。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术实施例中扫描电镜电子枪的电源供电电路的结构框图；
[0021]图2为本专利技术实施例中扫描电镜电子枪的电源供电电路的电路原理图；
[0022]附图标记：
[0023]11
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灯丝加热输入电路；12
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扫描电镜电子枪；13
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加速电源；
[0024]14
‑
灯丝电源保护电阻；15
‑
栅偏压调节电阻；110
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第一变压器；
[0025]111
‑
第二变压器；112
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整流桥；113
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LC滤波电路。
具体实施方式
[0026]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了
便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0029]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，包括：灯丝加热输入电路，用于对输入的电网电压进行变压、隔离、滤波处理；扫描电镜电子枪，其灯丝流入电极连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，其灯丝流出电极连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，用于获取所述灯丝加热输入电路输出的灯丝电流；加速电源，其输出端通过栅偏压调节电阻连接所述扫描电镜电子枪的栅偏压调节极，用于将预设加速电压施加在所述扫描电镜电子枪上；灯丝电源保护电阻，其连接在所述扫描电镜电子枪的所述灯丝流入电极和所述灯丝流出电极之间，保护所述扫描电镜电子枪安全工作。2.根据权利要求1所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于，所述灯丝电源保护电阻，包括：第一电阻和第二电阻，所述第一电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第一输出端，所述第二电阻的第一端连接所述灯丝加热输入电路的第二输出端，所述第一电阻和第二电阻的第二端相连。3.根据权利要求2所述的扫描电镜电子枪的电源供电电路，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：田贵宾，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：