一种窄线宽激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种窄线宽激光器。该激光器包括：半导体光放大器、光栅辅助垂直耦合器，以及在激光器包层材料中蚀刻的第一下层无源波导、第一微环滤波器、第二微环滤波器、第二下层无源波导和上层无缘波导；半导体光放大器的输出端与第一下层无源波导的输入端连接，第一下层无源波导、第一微环滤波器、第二微环滤波器、第二下层无源波导依次耦合；第二下层无源波导与上层无缘波导设置于不同的平面，通过光栅辅助垂直耦合器进行耦合；第一微环滤波器和所述第二微环滤波器的大小不同，第一微环滤波器和第二微环滤波器形成游标滤波效应；光栅辅助垂直耦合器对第二下层无源波导中的光波进行光栅选模。实现了小尺寸、窄线宽、波长调谐功能的激光器。激光器。激光器。

【技术实现步骤摘要】
一种窄线宽激光器


[0001]本专利技术属于激光器
，更具体地，涉及一种窄线宽激光器。

技术介绍

[0002]随着光通信技术的快速发展，人们对于半导体激光器的线宽要求越来越高，而窄线宽半导体激光器具有体积小、重量轻、效率高、寿命长、可直接电流驱动、光谱线宽窄、相干性好等优势，十分适用于无线通信。由线宽的影响因素可以知道能利用增加腔长来缩小半导体激光器的线宽。各种外腔和硅光可调谐激光器被设计出来，外腔可以提供多个波长可调性和线宽减少。近年来，随着集成硅光子技术的发展，人们对通过将无源硅光子芯片作为增益芯片的外腔组装而成的外腔激光器产生了极大的兴趣，它允许分别优化增益芯片和外部腔。这些组装的混合半导体激光器的可扩展性有限，每个激光器必须单独组装，这会减慢进程并增加成本。
[0003]理论上采用厘米量级的腔长能提供小于100kHz线宽的输出信号，但是无论采用直波导还是弯曲波导，芯片尺寸都会在5～10mm之间。器件尺寸较大，且生产成本较高，同时激光器芯片尺寸越大，翘曲就越严重，尺寸引起的翘曲将严重影响芯片端面镀膜和贴装工艺，导致芯片成品率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种窄线宽激光器，其特征在于，包括：半导体光放大器、光栅辅助垂直耦合器，以及在激光器包层材料中蚀刻的第一下层无源波导、第一微环滤波器、第二微环滤波器、第二下层无源波导和上层无缘波导；所述半导体光放大器的输出端与所述第一下层无源波导的输入端对接连接；所述第一下层无源波导、第一微环滤波器、第二微环滤波器、第二下层无源波导依次耦合；所述第二下层无源波导的输出端与所述上层无缘波导的输入端相对设置，设置于不同的平面，并通过所述光栅辅助垂直耦合器进行耦合；所述半导体光放大器将电流转换为光波输入至所述第一下层无源波导中，依次经过所述第一微环滤波器、第二微环滤波器、第二下层无源波导和上层无缘波导；所述第一微环滤波器和所述第二微环滤波器的大小不同，所述第一微环滤波器和所述第二微环滤波器形成游标滤波效应，对其中传播的光波的波长进行选择；所述光栅辅助垂直耦合器对所述第二下层无源波导中的光波进行光栅选模，将目标波长的光波耦合进入所述上层无缘波导中，并从所述上层无缘波导的输出端输出。2.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张敏明，鲜青云，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：