一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片制造技术

一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片，从芯片的顶视图看，包括四个光发射区，光探测区,光发射区的接触电极,光探测区的接触电极,光发射区的压焊电极，光探测区的压焊电极，将四个相对独立光发射区以及光探测区之间相互隔离的隔离层。本发明专利技术是将光电容积脉搏波传感器的光发射区和光探测区集成在一块芯片上，模块体积小，便于集成化；光发射区和探测区具有相同的谐振腔和有源区，对波长的选择性好，提高了器件的抗干扰能力；由于芯片采用了共振腔结构，光发射区的发光亮度高，光探测区的效率高，整个器件所需驱动电流小，功耗低，便于应用于可穿戴式医疗设备中。便于应用于可穿戴式医疗设备中。便于应用于可穿戴式医疗设备中。

【技术实现步骤摘要】
一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片


[0001]本专利技术涉及一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片，属于半导体光电子领域。

技术介绍

[0002]在无创连续血压检测
，传统的光电容积脉搏波传感器因其无创性、低功耗以及免电磁干扰等特点，在智能穿戴等血压健康监护设备中具有很大的应用潜力。其利用光电信号来检测人体血管中容积的变化，实现对血压的测量，光电容积脉搏波传感器主要包括LED 光源和光探测器两个部分。其工作过程是通过发光二极管向指尖发射一定波长的单色光，光束经皮肤、微静脉及微动脉等多人体组织吸收并反射回人体表面后，再被光电探测器接收，再将检测到的光信号转化为电信号，也就是通常所说的光电容积脉搏波信号，根据光电容积脉搏波信号可确定血管中血液容积的变化，以此来实现血压的测量。传统的光电容积脉搏波传感器存在如下缺点：1.由于要穿透部分的人体组织，为了达到较好的信号采集效果，传统的光电容积脉搏波传感器所需的LED光源功耗比较大，待机时间短，不利于可穿戴化；2. 传统的光电容积脉搏波传感器的LED光源和光探测器部分是两个分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片，从芯片的顶视图来看，包括第一光发射区(101),第二光发射区(201),第三光发射区(301),第四光发射区(401)，光探测区(501)，光发射区的接触电极(102)，光探测区的接触电极(502)，光发射区的压焊电极(103)，光探测区的压焊电极(503)，将各个光发射区以及光探测区之间相互隔离的隔离层(600)。沿器件的垂直剖面来看，包括上布拉格反射镜(700)，谐振腔(800)，下布拉格反射镜(900)，衬底(002)，下电极(001)。所述上布拉格反射镜(700)由厚度为1/4光学波长的相对较高折射率材料层(701)和相对较低折射率材料层(702)交替组成；谐振腔(800)中含有有源区(801)；下布拉格反射镜(900)由厚度为1/4光学波长的相对较高折射率材料层(901)和相对较低折射率材料层(902)交替组成，下布拉格反射镜(900)在材料选择与上布拉格反射镜(700)相同；衬底(002)为N型GaAs衬底；下电极(001)采用Au/Ge/Ni。2.根据权利要求1所述的一种面向光电容积脉搏波血压测量的光电集成传感芯片，其特征在于：利用光刻技术形...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建军，付聪乐，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：