【技术实现步骤摘要】
一种光栅尺的磁悬浮驱动装置
[0001]本专利技术涉及空间测量
，特别是涉及一种光栅尺的磁悬浮驱动装置。
技术介绍
[0002]随着工业不断进步，自由曲面零件的质量要求也在提高。三坐标测量机是用于空间测量的计量仪器，可测量自由曲面零件，主要包括：含光栅尺的X、Y、Z三轴、测头系统、电气控制系统和数据处理软件。X、Y、Z三轴包括伺服电机、直线机构和光栅尺三部分。光栅尺本身的测量精度高，但伺服电机和直线机构组成的驱动装置降低了整个位移测量系统的精度。此外，伺服电机和直线机构质量大，造成转动惯量大，因此需要大功率伺服电机驱动系统。系统中存在不必要的能源消耗。
[0003]与旋转电机比较，永磁同步直线电机是线性直接驱动方式，不通过中间的传动装置，惯性重量轻，反应速度好。永磁同步直线电机的三相绕组通电时，电机气隙中产生和三相电流相对应的行波磁场，按照三相正序的顺序进行直线运动，由行波磁场和永磁体生成的励磁磁场所构成的电磁推力推动永磁同步直线电机的动子在导轨上进行直线往复运动，其运动方向与励磁磁场的方向相反。但永磁同步直线...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光栅尺的磁悬浮驱动装置，其特征在于，包括定子部分和动子部分；所述动子部分设置在所述定子部分的内部；所述定子部分用于提供磁场；所述动子部分用于在所述磁场内悬浮并运动。2.根据权利要求1所述的光栅尺的磁悬浮驱动装置，其特征在于，所述动子部分包括：第一T型导磁体、第二T型导磁体、第一U型导磁体、第二U型导磁体、四个永磁体和多个隔磁柱；四个所述永磁体分别设置在所述第一U型导磁体的两个侧臂的端部和所述第二U型导磁体的两个侧臂的端部；所述第一T型导磁体的竖臂与所述第一U型导磁体的两个侧臂平行设置，所述第一T型导磁体的横臂与所述第一U型导磁体的横臂平行设置，所述第一T型导磁体的竖臂位于所述第一U型导磁体的两个侧臂之间；所述第一T型导磁体、所述第一U型导磁体和位于所述第一U型导磁体的侧臂的顶端的两个永磁体组成上层定子轭铁；所述第二T型导磁体的竖臂与所述第二U型导磁体的两个侧臂平行设置，所述第二T型导磁体的横臂与所述第二U型导磁体的横臂平行设置，所述第二T型导磁体的竖臂位于所述第二U型导磁体的两个侧臂之间；所述第二T型导磁体、所述第二U型导磁体和位于所述第二U型导磁体的侧臂的顶端的两个永磁体组成下层定子轭铁；所述上层定子轭铁和所述下层定子轭铁平行设置，且所述上层定子轭铁和所述下层定子轭铁通过多个所述隔磁柱支撑；所述定子部分位于所述上层定子轭铁和所述下层定子轭铁之间；四个所述永磁体用于发出四路基础磁通，四路所述基础磁通分别在四个基础悬浮磁路中导通。3.根据权利要求2所述的光栅尺的磁悬浮驱动装置，其特征在于，所述第一U型导磁体的两个侧臂的靠近第一U型导磁体的横臂的一端和所述第二U型导磁体的两个侧臂的靠...
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