【技术实现步骤摘要】
一种检测方法、检测系统及计算机可读存储介质
[0001]本申请实施例涉及显微成像领域，具体涉及一种检测方法、检测系统及 计算机可读存储介质。
技术介绍
[0002]聚焦技术被广泛应用于显微成像相关的的科学研究和工业检测、加工领 域，高精度、高速聚焦是聚焦技术不断的改进方向。近年来，随着半导体芯 片工业领域的高速发展，对于样品光学检测、量测设备产能的需求不断增加。 例如基于椭偏仪原理的膜厚量测设备，聚焦的准确性直接影响着膜厚测量的 准确性和重复性，而精准的聚焦一般需要较长的时间——数秒——才能达到。 检测一片样品通常需要几十甚至上百次聚焦，这极大的限制了产能的提升。
技术实现思路
[0003]为克服现有技术检测速度慢的缺陷，本申请实施例提供了一种检测方法， 包括：
[0004]获取样品和第一检测模块，所述样品包括至少一个参考点，所述第一检 测模块用于对样品进行检测并输出检测信息；通过第一检测模块对样品的每 个参考点分别进行检测处理，获取初始位置关系；对参考点进行检测处理的 步骤包括：对处于沿测量方向的不...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检测方法，其特征在于，包括：获取样品和第一检测模块，所述样品包括至少一个参考点，所述第一检测模块用于对样品进行检测并输出检测信息；通过第一检测模块对样品的每个参考点分别进行检测处理，获取初始位置关系；对参考点进行检测处理的步骤包括：对处于沿测量方向的不同测量位置处的样品进行检测，获取各测量位置处样品的参考点的检测信息，所述测量位置为所述样品与所述第一检测模块之间的相对位置；以及，根据不同测量位置处样品的参考点的检测信息，获取初始位置关系，所述初始位置关系为所述测量位置和参考点的各检测信息之间的关系；根据所述初始位置关系获取位置关系，所述位置关系表征样品待测点的各检测信息与测量位置与之间的关系；获取第一检测模块与参考点表面沿测量方向的相对位置处于预设位置时所述参考点的检测信息，作为第一基准检测信息；根据所述参考点的第一基准检测信息获取第二基准检测信息，所述第二基准检测信息表示第一检测模块与待测点表面沿测量方向的相对位置处于预设位置时待测点的检测信息；通过所述第一检测模块对样品的待测点进行检测，以获取所述待测点的检测信息；根据所述待测点的检测信息、所述位置关系和第二基准检测信息，获取所述待测点相对于所述预设位置沿测量方向的高度差。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述第一检测模块包括探测器，用于接收来自样品的信号光，并根据所述信号光获取所述检测信息；所述检测信息包括信号光在所述探测器的光敏面形成的光斑的位置坐标。3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述第一检测模块与参考点表面沿测量方向的相对位置处于预设位置时，所述第一检测模块与样品的相对位置作为第一基准位置；设置包含所述第一基准位置的采样范围，所述测量位置包含于所述采样范围内；所述预设位置为第二检测模块的焦点位置，所述第二检测模块与所述第一检测模块相对固定；通过第一检测模块对不同测量位置的样品进行检测，获取每个参考点在各测量位置处的检测信息，包括：在第二检测模块对所述参考点聚焦时，将所述样品相对于所述第一检测模块沿测量方向的位置作为第一基准位置，沿所述测量方向的正反方向上距离所述第一基准位置预设偏移量的范围为取样范围；使所述样品在所述取样范围内沿所述测量方向移动，并在所述样品移动至不同测量位置时分别获取参考点在各测量位置处的检测信息。4.根据权利要求1或3所述的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：将第二检测模块的焦点位置设置为所述预设位置，所述第二检测模块与所述第一检测模块相对固定；获取第一检测模块与参考点表面沿测量方向的相对位置处于预设位置时，所述参考点的第一基准检测信息，包括：当所述第二检测模块对所述参考点聚焦使时获取所述第一检测模块输出的检测信息，作为第一基准检测信息；所述第二检测模块对所述参考点聚焦时，获取所述第一检测模块输出的检测信息作为第一基准检测信息，包括：使所述样品与所述第二检测模块沿测量方向相对移动；在相对移动过程中通过所述第二检测模块输出检测结果；确定在测量方向上使所述检测结果的检测
质量最大或大于预设值的相对位置为所述焦点位置；获取所述聚焦位置处，第一检测模块输出的检测信息作为第一基准检测信息；所述检测质量包括：信噪比、图像清晰度或鲁棒性中的一者或多者组合。5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据所述初始位置关系获取位置关系，包括：根据所述初始位置关系对所述待测点在不同测量位置处的检测信息进行内插，以得到所述待测点在不同测量位置处的检测信息；根据所述待测点在不同测量位置处的多个检测信息，得到所述位置关系。6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述参考点的个数为多个，根据所述初始位置关系获取位置关系，包括：选择任意一个测量位置作为第一测量位置，并对所述第一测量位置执行第一函数获取操作，所述第一函数获取操作包括：获取样品在第一测量位置处，位于样品测量面内不同位置处各个参考点的多个检测信息，所述测量面与测量方向垂直或具有锐角夹角；根据各个参考点在样品测量面内的位置与所述多个检测信息的对应关系，获取所述第一测量位置处的样品待测点的检测信息；分别选择各测量位置作为所述第一测量位置，并执行所述第一函数操作，获取各测量位置处样品的待测点的检测信息；根据各测量位置处样品待测点的检测信息获取所述位置关系。7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，根据各个参考点在样品测量面内的位置与所述多个检测信息的对应关系，获取所述第一测量位置处的样品待测点的检测信息，包括：对各个参考点在样品测量面内的位置与所述多个检测信息的对应关系进行拟合，获取所述第一测量位置的第一函数关系，所述第一函数关系为各参考点在样品测量面内的位置和检测信息之间的关系；将所述待测点在所述测量面内的位置代入所述第一函数关系，获取所述第一测量位置的样品待测点的检测信息；或者，根据据各个参考点在样品测量面内的位置与所述多个检测信息的对应关系，获取所述第一测量位置处的样品待测点的检测信息，包括：根据各个参考点在样品测量面内的位置与所述多个检测信息的对应关系对待测点的检测信息进行内插，获取所述第一测量位置处样品待测点的检测信息。8.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，根据各测量位置处样品待测点的检测信息获取所述位置关系，包括：对所述待测点的各检测信息与各测量位置的对应关系进行拟合，获取所述位置关系；或者，获取所述待测点在各检测信息与各测量位置的离散对应关系，得到所述位置关系。9.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述参考点的个数为多个；根据所述初始位置关系获取位置关系包括：对各个参考点的初始位置关系进行第一平均化处理，获取所述位置关系。10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，根据不同测量位置处样品的参考点的检测信息，获取初始位置关系，包括：通过待定函数对参考点在不同测量位置处的检测信息进行拟合，获取所述待定函数的待定系数的拟合值；将所述拟合值代入所述待定函数，获
取参考点的初始位置关系。11.根据权利要求10所述的检测方法，其特征在于，所述初始位置关系包括至少一个组成项；对各个参考点的初始位置关系进行第一平均化处理，得到所述位置关系，包括：选取初始位置关系的各组成项分别作为参考项；并对各参考项执行组合处理，以获取位置关系组成项的组合系数，其中，对任意一项参考项进行组合处理，包括：根据各参考点的初始位置关系获取系数组，所述系数组包括各初始位置关系的所述参考项的系数组成的集合；对所述系数组进行均值化处理，获取组合系数；根据初始位置关系的各组成项的组合系数得到位置关系。12.根据权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述系数组还包括：各参考点在样品测量面的位置信息，所述测量面与所述测量方向垂直或具有锐角夹角；所述均值化处理包括：根据各参考点的位置信息与系数组中各系数的对应关系进行优化处理，获取所述待测点的系数得到所述组合系数；所述优化处理包括数值内插、函数拟合、加权或求中位数。13.根据权利要求12所述的检测方法，其特征在于，所述参考点的位置信息包括：沿第一方向的第一位置信息，沿第二方向的第二位置信息，所述第一方向和第二方向均位于所述测量面内，且所述第一方向和第二方向垂直或具有锐角夹角；所述数值内插或函数拟合包括二维形貌拟合或二维形貌内插。14.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在根据所述检测信息、所述位置关系和所述第二基准检测信息，获取所述待测点相对所述预设位置沿测量方向的高度之后，所述方法还包括：根据所述待测点相对于所述预设位置沿测量方向的高度差；控制所述样品和所述第一检测模块相对移动，以减小所述高度差；在所述样品和所述第一检测模块...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，季鹏，杨乐，郑策，王秋实，卢继奎，王南朔，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。