PVDF/BaTiO3微结构压电传感器及其制备方法技术

本发明专利技术提供了一种PVDF/BaTiO3压电传感器的制备方法，包括以下步骤：S1：将PVDF粉末倒入二甲基亚砜和丙酮的混合液中搅拌，得到PVDF溶液；倒入BaTiO3纳米粉末至PVDF溶液中，进行超声分散得到混合溶液；S2：将混合溶液通过近场直写得到PVDF/BaTiO3复合压电薄膜，铺在微结构模具上，再盖上带有凹陷微结构的模具，进行干燥后得到微结构薄膜；将PDMS与固化剂搅拌混合后，倾倒在微结构模具上，加热烘干，固化后得到PDMS柔性基底；S3：在微结构薄膜两侧覆盖上铜箔作为电极，并从所述铜箔处引出导线，在所述铜箔外侧再分别覆盖上凹、凸微结构PDMS基底完成封装，得到PVDF/BaTiO3压电传感器。本发明专利技术提供了一种操作简单成本低廉的压电传感器的制备方法，且制备的传感器综合性能优秀。且制备的传感器综合性能优秀。

【技术实现步骤摘要】
PVDF/BaTiO3微结构压电传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及压电传感器
，具体而言，涉及一种PVDF/BaTiO3微结构压电传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]柔性传感器因其具有柔软可变形、轻便、灵敏度高等优点而受到大量关注。其中柔性压电传感器相比于压阻式和电容式两种传感器最大的特点是具有将机械能转化为电能的能力，这意味着在实际应用中传感器无需外接电源，拥有自供电的能力。这种柔性压电传感器在运动检测、个人健康监测、机器人(电子皮肤)等方面有非常大的应用前景。柔性传感器核心就在于具有压电效应的柔性压电薄膜元件，聚偏氟乙烯(PVDF)作为一种具有优秀压电性能的聚合物被广泛使用于制作压电薄膜。
[0003]PVDF压电薄膜传统的制作方法有流延法、旋涂法和拉伸法等。三者的基本原理都是将溶液涂抹成薄膜的形式，待溶剂蒸发后的到压电薄膜。流延法操作较简单，但是难以控制薄膜的厚度且后期需要在进行高压极化来提高薄膜的压电性；旋涂法是利用高速离心机将溶液分散在基板表面，得到圆形薄膜。该方法制造的薄膜厚度较均匀，但是表面粗糙度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVDF/BaTiO3压电传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：将PVDF粉末倒入二甲基亚砜和丙酮的混合液中，并进行搅拌得到PVDF溶液；再倒入BaTiO3纳米粉末至所述PVDF溶液中，继续进行搅拌，再进行超声分散，得到混合溶液；S2：PVDF/BaTiO3微结构薄膜的制备：将所述步骤S1的混合溶液倒入近场直写装置的料筒中，通过近场直写得到PVDF/BaTiO3复合压电薄膜，将其铺在3D打印出来的凸起微结构模具上，再盖上带有凹陷微结构的模具，放入恒温干燥箱中进行干燥，待溶剂蒸发完全，得到PVDF/BaTiO3微结构薄膜；PDMS柔性基底的制备：将PDMS与固化剂搅拌混合后，倾倒在微结构阴模与微结构阳模上，置于恒温干燥箱中进行加热烘干，固化后得到带有凹陷和凸起微结构的PDMS柔性基底；S3：在所述步骤S2得到的微结构薄膜两侧覆盖上铜箔作为电极，并从所述铜箔处引出导线，在所述铜箔外侧再分别覆盖上所述步骤S2得到的凹、凸微结构PDMS基底完成封装，得到PVDF/BaTiO3压电传感器。2.根据权利要求1所述的PVDF/BaTiO3压电传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述二甲基亚砜和丙酮的质量配比为3:2。3.根据权利要求1所述的PVDF/BaTiO3压电传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤S1中，所述PVDF溶液中，所述PVDF的质量分数为15％。4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：金育安，孔号宇，罗敬之，张明华，杜建科，
申请(专利权)人：宁波大学，
类型：发明
国别省市：