玻璃材料制造技术

本发明专利技术提供一种具有合适的热膨胀系数，满足半导体制造领域应用的玻璃材料。玻璃材料，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：43～63％；B2O3：0～15％；Al2O3：2～15％；BaO：11～30％；CaO：3～18％。通过合理的组分设计，本发明专利技术获得的玻璃材料具有合适的热膨胀系数，适用于半导体制造领域。于半导体制造领域。

【技术实现步骤摘要】
玻璃材料


[0001]本专利技术涉及一种玻璃材料，尤其是涉及一种可用于半导体制造领域的玻璃材料。

技术介绍

[0002]现有技术中，通常将具有较好的机械强度和耐酸碱腐蚀性的金属、陶瓷和单晶硅等材料作为晶圆在制造过程中的衬底，防止晶圆在光刻、清洗、封装等过程中的变形。但由于金属、陶瓷、单晶硅等衬底材料不透光，因此在衬底与晶圆剥离流程中需要使用加热剥离工艺。若使用可透光的玻璃材料作为制造衬底，那么可以使用光剥离工艺。光剥离工艺与加热剥离工艺相比，可以大幅度降低工艺时间和剥离成本，同时避免了芯片晶圆在高温下烘烤，提升了芯片制程的良品率。另一方面，衬底材料一般是和树脂材料进行结合，这就需要衬底材料的热膨胀系数与树脂材料相匹配，否则在芯片制造流程中经历高低温变化时，晶圆会发生翘曲变形，导致芯片报废。
[0003]基于以上原因，开发出具有合适热膨胀系数的玻璃材料，对半导体制造领域的发展具有重要的意义。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种具有合适的热膨胀系数，满足半导体制造领域应用的玻璃材料。
[0005]本专利技术解决技术问题采用的技术方案是：
[0006]玻璃材料，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：43～63％；B2O3：0～15％；Al2O3：2～15％；BaO：11～30％；CaO：3～18％。
[0007]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，还含有：SrO：0～12％；和/或ZrO2：0～8％；和/或MgO：0～10％；和/或Rn2O：0～8％；和/或Ln2O3：0～8％；和/或ZnO：0～8％；和/或TiO2：0～5％；和/或P2O5：0～5％；和/或澄清剂：0～2％，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。
[0008]玻璃材料，其组分以重量百分比表示，由SiO2：43～63％；B2O3：0～15％；Al2O3：2～15％；BaO：11～30％；CaO：3～18％；SrO：0～12％；ZrO2：0～8％；MgO：0～10％；Rn2O：0～8％；Ln2O3：0～8％；ZnO：0～8％；TiO2：0～5％；P2O5：0～5％；澄清剂：0～2％组成，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。
[0009]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：SiO2：46～60％，优选SiO2：49～56％；和/或B2O3：0.5～10％，优选B2O3：1～7％；和/或Al2O3：4～13％，优选Al2O3：6～11％；和/或BaO：15～25％，优选BaO：17～23％；和/或CaO：5～15％，优选CaO：7～12％；和/或SrO：0.5～10％，优选SrO：1～7％；和/或ZrO2：0～5％，优选ZrO2：0～2％；和/或MgO：0～5％，优选MgO：0～2％；和/或Rn2O：0～5％，优选Rn2O：0～1％；和/或Ln2O3：0～5％，
优选Ln2O3：0～2％；和/或ZnO：0～5％，优选ZnO：0～2％；和/或TiO2：0～3％，优选TiO2：0～1％；和/或P2O5：0～3％，优选P2O5：0～1％；和/或澄清剂：0～1％，优选澄清剂：0～0.8％，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。
[0010]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：RO：16～60％，优选RO：20～50％，更优选RO：25～45％，进一步优选RO：28～40％，所述RO为MgO、CaO、SrO、BaO的合计含量。
[0011]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：
[0012](Al2O3+CaO)/SiO2为0.1～0.65，优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.15～0.55，更优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.2～0.5，进一步优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.25～0.45。
[0013]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：SiO2/(BaO+CaO)为1.0～4.0，优选SiO2/(BaO+CaO)为1.2～3.0，更优选SiO2/(BaO+CaO)为1.3～2.5，进一步优选SiO2/(BaO+CaO)为1.5～2.0。
[0014]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：(BaO+SrO)/SiO2为0.2～0.8，优选(BaO+SrO)/SiO2为0.25～0.7，更优选(BaO+SrO)/SiO2为0.3～0.65，进一步优选(BaO+SrO)/SiO2为0.35～0.6。
[0015]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：BaO/Al2O3为1.0～10.0，优选BaO/Al2O3为1.2～8.0，更优选BaO/Al2O3为1.5～5.0，进一步优选BaO/Al2O3为1.8～3.0。
[0016]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：Rn2O/BaO为0.6以下，优选Rn2O/BaO为0.5以下，更优选Rn2O/BaO为0.3以下，进一步优选Rn2O/BaO为0.1以下，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种。
[0017]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：
[0018](Ln2O3+CaO)/BaO为0.15～1.5，优选(Ln2O3+CaO)/BaO为0.2～1.0，更优选(Ln2O3+CaO)/BaO为0.25～0.8，进一步优选(Ln2O3+CaO)/BaO为0.3～0.7，所述Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种。
[0019]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：SrO/BaO为0.02～0.8，优选SrO/BaO为0.05～0.6，更优选SrO/BaO为0.1～0.5，进一步优选SrO/BaO为0.1～0.4。
[0020]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：
[0021](ZnO+TiO2)/SrO为2.0以下，优选(ZnO+TiO2)/SrO为1.5以下，更优选(ZnO+TiO2)/SrO为1.0以下，进一步优选(ZnO+TiO2)/SrO为0.5以下。
[0022]进一步的，所述的玻璃材料，其组分以重量百分比表示，其中：
[0023](SiO2+Al2O3)/(BaO+B2O3)为1.2～5.0，优选(SiO2+Al2O3)/(BaO+B2O3)为1.5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，含有：SiO2：43～63％；B2O3：0～15％；Al2O3：2～15％；BaO：11～30％；CaO：3～18％。2.根据权利要求1所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，还含有：SrO：0～12％；和/或ZrO2：0～8％；和/或MgO：0～10％；和/或Rn2O：0～8％；和/或Ln2O3：0～8％；和/或ZnO：0～8％；和/或TiO2：0～5％；和/或P2O5：0～5％；和/或澄清剂：0～2％，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。3.玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，由SiO2：43～63％；B2O3：0～15％；Al2O3：2～15％；BaO：11～30％；CaO：3～18％；SrO：0～12％；ZrO2：0～8％；MgO：0～10％；Rn2O：0～8％；Ln2O3：0～8％；ZnO：0～8％；TiO2：0～5％；P2O5：0～5％；澄清剂：0～2％组成，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。4.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：SiO2：46～60％，优选SiO2：49～56％；和/或B2O3：0.5～10％，优选B2O3：1～7％；和/或Al2O3：4～13％，优选Al2O3：6～11％；和/或BaO：15～25％，优选BaO：17～23％；和/或CaO：5～15％，优选CaO：7～12％；和/或SrO：0.5～10％，优选SrO：1～7％；和/或ZrO2：0～5％，优选ZrO2：0～2％；和/或MgO：0～5％，优选MgO：0～2％；和/或Rn2O：0～5％，优选Rn2O：0～1％；和/或Ln2O3：0～5％，优选Ln2O3：0～2％；和/或ZnO：0～5％，优选ZnO：0～2％；和/或TiO2：0～3％，优选TiO2：0～1％；和/或P2O5：0～3％，优选P2O5：0～1％；和/或澄清剂：0～1％，优选澄清剂：0～0.8％，所述Rn2O为Li2O、Na2O、K2O中的一种或多种，Ln2O3为La2O3、Gd2O3、Y2O3、Yb2O3中的一种或多种，澄清剂为Sb2O3、SnO2、CeO2中的一种或多种。5.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：RO：16～60％，优选RO：20～50％，更优选RO：25～45％，进一步优选RO：28～40％，所述RO为MgO、CaO、SrO、BaO的合计含量。6.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：(Al2O3+CaO)/SiO2为0.1～0.65，优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.15～0.55，更优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.2～0.5，进一步优选(Al2O3+CaO)/SiO2为0.25～0.45。7.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：SiO2/(BaO+CaO)为1.0～4.0，优选SiO2/(BaO+CaO)为1.2～3.0，更优选SiO2/(BaO+CaO)为1.3～2.5，进一步优选SiO2/(BaO+CaO)为1.5～2.0。8.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：(BaO+SrO)/SiO2为0.2～0.8，优选(BaO+SrO)/SiO2为0.25～0.7，更优选(BaO+SrO)/SiO2为0.3～0.65，进一步优选(BaO+SrO)/SiO2为0.35～0.6。9.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示，其中：BaO/Al2O3为1.0～10.0，优选BaO/Al2O3为1.2～8.0，更优选BaO/Al2O3为1.5～5.0，进一步优选BaO/Al2O3为1.8～3.0。10.根据权利要求1～3任一所述的玻璃材料，其特征在于，其组分以重量百分比表示...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛露路，匡波，郝良振，
申请(专利权)人：成都光明光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：