一种高效节能环保的石英环制备工艺制造技术

技术编号:37075919 阅读:9 留言:0更新日期:2023-03-29 19:52
本发明专利技术涉及石英环领域,具体涉及一种高效节能环保的石英环制备工艺,用于解决现有的石英产品尺寸精度低,表面状态比较粗糙,且石英产品在生产的过程中易于附着油污、灰尘以及金属离子的问题;该制备工艺中通过将预处理石英环加入至洁净液中超声清洗,能够去除预处理石英环表面上存在的污渍,使得制得的石英环表面状态良好,不存在大量的污渍影响石英环的综合性能,避免后续加工的废品率高的问题,提升生产效率与节约生产成本,能够满足高端产品的要求。求。

【技术实现步骤摘要】
一种高效节能环保的石英环制备工艺


[0001]本专利技术涉及石英环领域,具体涉及一种高效节能环保的石英环制备工艺。

技术介绍

[0002]随着科技的发展人们对光学耗材的使用量逐年增加,作为石英制品的石英环市场发展迅速,产品产出持续扩张。面对市场的需求增加,目前常规的生产方式无法在激烈的市场竞争中取得优势,为了使石英环制造企业提升市场竞争力,降低生产成本,必须进行技术改进与创新。
[0003]对于石英环的加工,目前行业内主要使用的加工方法为以石英砣为原料,通过套钻套取内外圆制备石英筒,再通过车床单片切割下料、粗磨、细磨、单个滚内外圆、倒角、清洗等工序完成。但是,目前行业加工的石英产品尺寸精度低,表面状态比较粗糙,且石英产品在生产的过程中易于附着油污、灰尘以及金属离子,很难满足半导体行业的需求。

技术实现思路

[0004]为了克服上述的技术问题,本专利技术的目的在于提供一种高效节能环保的石英环制备工艺:通过将圆柱状石英筒通过切割机切割成毛坯环,之后将毛坯环的表面进行磨削、抛光,得到预处理石英环,将洁净剂加入至去离子水中搅拌,得到洁净液,将预处理石英环加入至洁净液中超声清洗,得到石英环,解决了现有的石英产品尺寸精度低,表面状态比较粗糙,且石英产品在生产的过程中易于附着油污、灰尘以及金属离子的问题。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:
[0006]一种高效节能环保的石英环制备工艺,包括以下步骤:
[0007]步骤一:将圆柱状石英筒通过切割机切割成毛坯环,之后将毛坯环的表面进行磨削、抛光,得到预处理石英环;
[0008]步骤二:将洁净剂加入至去离子水中,在温度为45

50℃,搅拌速率为400

500r/mi n的条件下搅拌1

1.5h,得到洁净液;所述洁净剂、去离子水的质量比为1g:50

70g;
[0009]步骤三:将预处理石英环加入至洁净液中,在超声波频率为10

20kHz的条件下超声清洗20

30mi n,得到石英环。
[0010]作为本专利技术进一步的方案:所述洁净剂由以下步骤制备得到:
[0011]步骤s1:将3

二甲氨基
‑1‑
丙醇、氯化亚砜以及苯加入至安装有搅拌器、温度计以及回流冷凝管的三口烧瓶中,在温度为25

30℃,400

500r/mi n的条件下搅拌反应15

20mi n,之后边搅拌边升温至回流,控制升温速率为2

3℃/mi n,之后继续搅拌反应5

7h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后真空抽滤,将滤饼加入至冰水中,之后用氢氧化钠溶液调节pH为8.5

9.5,之后用甲苯萃取2

3次,之后将萃取液旋转蒸发去除溶剂,得到中间体1;
[0012]反应过程如下:
[0013][0014]步骤s2:将3,5

二羧基苯基硼酸、无水乙醇加入至安装有搅拌器、温度计、恒压滴液漏斗以及回流冷凝管的四口烧瓶中,在温度为0

5℃,搅拌速率为400

500r/mi n的条件下边搅拌边逐滴加入浓硫酸,控制滴加速率为1

2滴/s,滴加完毕后升温至回流并继续搅拌反应20

30h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后加入冰水中析出沉淀,之后真空抽滤,将滤饼放置于真空干燥箱中,在温度为50

60℃的条件下干燥1

2h,得到中间体2;
[0015]反应过程如下:
[0016][0017]步骤s3:将4

氨基苯甲酸甲酯、无水乙醚加入至安装有搅拌器、温度计、恒压滴液漏斗以及回流冷凝管的四口烧瓶中,在温度为40

45℃,搅拌速率为400

500r/mi n的条件下边搅拌边逐滴加入氯化碘溶液,控制滴加速率为1

2滴/s,滴加完毕后升温至回流并继续搅拌反应3

5h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后加入饱和亚硫酸钠溶液,之后用二氯甲烷萃取2

3次,之后将萃取液旋转蒸发去除溶剂,得到中间体3;
[0018]反应过程如下:
[0019][0020]步骤s4:将中间体2、中间体3、磷酸钾、双三苯基磷二氯化钯以及N,N

二甲基甲酰胺加入至安装有搅拌器、温度计、导气管以及回流冷凝管的三口烧瓶中,通入氮气保护,在温度为25

30℃,搅拌速率为400

500r/mi n的条件下搅拌反应20

30mi n,之后边搅拌边升温至回流,控制升温速率为2

3℃/mi n,之后继续搅拌反应10

15h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后用乙酸乙酯萃取2

3次,之后将萃取液旋转蒸发去除溶剂,得到中间体4;
[0021]反应过程如下:
[0022][0023]步骤s5:将中间体1、中间体4、碳酸钾以及N,N

二甲基甲酰胺加入至安装有搅拌器、温度计以及导气管的三口烧瓶中,通入氮气保护,在温度为25

30℃,搅拌速率为400

500r/mi n的条件下搅拌1

1.5h,之后升温至80

90℃的条件下继续搅拌反应10

15h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后用饱和氯化钠溶液洗涤2

3次,之后用二氯甲烷萃取2

3次,之后合并萃取液,将萃取液用无水硫酸镁干燥,之后真空抽滤,将滤液旋转蒸发去除溶剂,得到中间体5;
[0024]反应过程如下:
[0025][0026]步骤s6:将中间体5、1

溴辛烷以及丙酮加入至安装有搅拌器、温度计以及回流冷凝管的三口烧瓶中,在搅拌速率为400

500r/mi n的条件下边搅拌边升温至回流,控制升温速率为2

3℃/mi n,之后继续搅拌反应25

30h,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后旋转蒸发去除溶剂,之后用石油醚洗涤2

3次,之后放置于真空干燥箱中,在温度为50

60℃的条件下干燥1

2h,得到中间体6;
[0027]反应过程如下:
[0028][0029]步骤s7:将中间体6、氢氧化钠溶液以及无水乙醇加入至安装有搅拌器、温度计以及回流冷凝管的三口烧瓶中,在搅拌速率为400

500r/mi n的条件下本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效节能环保的石英环制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:将圆柱状石英筒通过切割机切割成毛坯环,之后将毛坯环的表面进行磨削、抛光,得到预处理石英环;步骤二:将洁净剂加入至去离子水中,在温度为45

50℃,搅拌速率为400

500r/min的条件下搅拌1

1.5h,得到洁净液;所述洁净剂、去离子水的质量比为1g:50

70g;步骤三:将预处理石英环加入至洁净液中,在超声波频率为10

20kHz的条件下超声清洗20

30min,得到石英环;其中,所述洁净剂由以下步骤制备得到:步骤s1:将3

二甲氨基
‑1‑
丙醇、氯化亚砜以及苯加入至三口烧瓶中搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后真空抽滤,将滤饼加入至冰水中,之后调节pH,之后萃取,之后将萃取液旋转蒸发,得到中间体1;步骤s2:将3,5

二羧基苯基硼酸、无水乙醇加入至四口烧瓶中,边搅拌边逐滴加入浓硫酸,滴加完毕后升温至回流并继续搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后加入冰水中析出沉淀,之后真空抽滤,将滤饼干燥,得到中间体2;步骤s3:将4

氨基苯甲酸甲酯、无水乙醚加入至四口烧瓶中,边搅拌边逐滴加入氯化碘溶液,滴加完毕后升温至回流并继续搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后加入饱和亚硫酸钠溶液,之后萃取,之后将萃取液旋转蒸发,得到中间体3;步骤s4:将中间体2、中间体3、磷酸钾、双三苯基磷二氯化钯以及N,N

二甲基甲酰胺加入至三口烧瓶中搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后萃取,之后将萃取液旋转蒸发,得到中间体4;步骤s5:将中间体1、中间体4、碳酸钾以及N,N

二甲基甲酰胺加入至三口烧瓶中搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后洗涤、萃取,将萃取液干燥,之后真空抽滤,将滤液旋转蒸发,得到中间体5;步骤s6:将中间体5、1

溴辛烷以及丙酮加入至三口烧瓶中边搅拌边升温至回流搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后旋转蒸发去除溶剂,之后洗涤、干燥,得到中间体6;步骤s7:将中间体6、氢氧化钠溶液以及无水乙醇加入至三口烧瓶中边搅拌边升温至回流搅拌反应,反应结束后将反应产物冷却至室温,之后加入至四氢呋喃中析出沉淀,之后真空抽滤,将滤饼干燥,得到洁净剂。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨军张月清
申请(专利权)人:江苏富乐徳石英科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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