带垂直通道的平面三极场发射显示器制造技术

带垂直通道的平面三极场发射显示器涉及场致发射显示器件的三极结构及其制备方法，在阴极玻璃基板（１）上设有数据电极（２），在数据电极（２）上设有介质层（３），该介质层（３）上设有贯穿通道（４）；在介质层（３）上设有连接电极（５）和与数据电极垂直的行扫描电极（６）；在行扫描电极（６）、连接电极（５）和介质层（３）上设有具有表面电子传导特性的场发射材料（７）；在阴极玻璃基板（１）或介质层（３）上设有支撑体（８），在支撑体（８）上设有阳极玻璃基板（９），在阳极玻璃基板（９）的下表面设有阳极电极（１０），在阳极电极（１０）的下表面设有荧光粉层（１１）。本实用新型专利技术的结构可以降低器件的驱动电压，而且制备工艺简单、成本低廉。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种场致发射显示器件的单元结构，涉及场致发射显示器件中 阴极、栅极和阳极的结构设计及其制备方法。
技术介绍
目前，场致发射显示器件(FED)作为新型的平板显示器件，距离市场化还 有一定的差距，存在一些关键技术瓶颈。其中三极结构的设计和制备是影响场发 射显示器件实用化的一个重要因素。采用二极结构可以构成最简单的场致发射显示器，并通过矩阵扫描的方式实 现视频图像的显示。在二极结构场致发射显示屏中， 一方面阳极需要高压才能给 电子足够能量轰击荧光粉实现高亮度，另一方面阳极电极又充当调制电极，连接 外围驱动电路芯片不能承受过高的电压，因此存在发光亮度和驱动电压之间存在 矛盾,必须在二极结构的基础上引入三极结构，由栅极进行电压调制，由阳极控 制发光亮度。在三极结构中，栅极必须尽可能靠近阴极，同时要求栅极孔径足够小(一般 在50微米以下，视器件的整体结构而定)，才能有效地实现低电压调制。因为栅 极孔径很小，而且栅极距离阴极很近，采用丝网印刷的方法很难把发射体桨料准 确填冲到栅极孔中。另外还容易造成发射体和栅极电极相连而短路。 一般先制备 阴极发射阵列并覆盖保护层，然后再采用掩膜工艺和精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带垂直通道的平面三极场发射显示器，其特征是在阴极玻璃基板（１）上设有数据电极（２），在数据电极（２）上设有介质层（３），该介质层（３）中设有贯穿通道（４）；在介质层（３）上设有连接电极（５）和与数据电极垂直的行扫描电极（６）；在连接电极（５）、行扫描电极（６）和介质层（３）上设有具有表面电子传导特性的场发射材料（７）；在阴极玻璃基板（１）或介质层（３）上设有支撑体（８），在支撑体（８）上设有阳极玻璃基板（９），在阳极玻璃基板（９）的下表面设有阳极电极（１０），在阳极电极（１０）的下表面设有荧光粉层（１１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：雷威，张晓兵，娄朝刚，李驰，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]