一种简易型手动式气动元件控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体薄膜沉积应用技术领域，尤其为一种简易型手动式气动元件控制装置，包括气体分配阀，所述气体分配阀的背面和正面分别设有多个进气孔和出气孔，所述气体分配阀的顶部设有多个手动旋钮，所述气体分配阀的顶部设有两个第一竖板和第二竖板，所述第一竖板和第二竖板之间活动设有同一个防护罩，所述防护罩的顶部设有防护结构，所述第一竖板上活动设有定位杆，所述防护罩的两侧均设有定位孔，所述定位杆和定位孔相适配本实用新型专利技术通过设置防护罩、第一竖板、第二竖板和定位杆等部件，能够完成防护罩的快速安装，且能够对设备的顶部进行防护，防止调节旋钮被误触，同时还设置防护结构，可降低外界的冲击力，对防护罩进行防护。进行防护。进行防护。

【技术实现步骤摘要】
一种简易型手动式气动元件控制装置


[0001]本技术涉及半导体薄膜沉积应用
，尤其涉及一种简易型手动式气动元件控制装置。

技术介绍

[0002]半导体薄膜沉积设备中往往应用到许多气动元件,像气缸、气动电磁阀等零部件，由于气动元件由于气管较长，无法实现快速的启动、停止、切换等操作，因此手动式气动元件也逐渐被使用，但是现有技术中手动式气动元件的顶部不具备防护结构，容易出现调节旋钮被误触的情况，提出一种简易型手动式气动元件控制装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种简易型手动式气动元件控制装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种简易型手动式气动元件控制装置，包括气体分配阀，所述气体分配阀的背面和正面分别设有多个进气孔和出气孔，所述气体分配阀的顶部设有多个手动旋钮，所述气体分配阀的顶部设有两个第一竖板和第二竖板，所述第一竖板和第二竖板之间活动设有同一个防护罩，所述防护罩的顶部设有防护结构。
[0005]优选的，所述第一竖板上活动设有定位杆，所述防护罩的两侧均设有定位孔，所述定位杆和定位孔相适配。
[0006]优选的，所述定位杆上套设有拉簧，拉簧一端和定位杆固定连接，拉簧另一端和第一竖板的一侧固定连接。
[0007]优选的，所述第二竖板的一侧设有多个滚珠，所述滚珠和防护罩的内壁贴合。
[0008]优选的，所述防护结构包括多个滑杆，多个所述滑杆和所述防护罩的顶部内壁活动连接，多个所述滑杆的顶部固定设有同一个顶板，所述顶板的底部固定设有多个弹簧，多个所述弹簧的底部和所述防护罩的顶部固定连接。
[0009]优选的，所述滑杆的个数为四个，且四个所述滑杆呈矩形排列。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]本技术通过设置防护罩、第一竖板、第二竖板和定位杆等部件，能够完成防护罩的快速安装，且能够对设备的顶部进行防护，防止调节旋钮被误触，同时还设置防护结构，可降低外界的冲击力，对防护罩进行防护。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构示意图；
[0013]图2为本技术的正剖结构示意图；
[0014]图3为图1中防护罩的立体结构示意图；
[0015]图中：1、气体分配阀；2、进气孔；3、出气孔；4、手动旋钮；5、防护罩；6、防护结构；601、滑杆；602、弹簧；603、顶板；7、定位孔；8、第一竖板；9、第二竖板；10、定位杆。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]实施例1：
[0018]请参照图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种简易型手动式气动元件控制装置，包括气体分配阀1，气体分配阀1的背面和正面分别设有多个进气孔2和出气孔3，气体分配阀1的顶部设有多个手动旋钮4，气体分配阀1的顶部设有两个第一竖板8和第二竖板9，第二竖板9的一侧设有多个滚珠，滚珠能够降低防护罩5与第二竖板9之间的摩擦力，第一竖板8和第二竖板9之间活动设有同一个防护罩5，防护罩5为透明玻璃罩；
[0019]第一竖板8上滑动安装有定位杆10，防护罩5的两侧均设有定位孔7，定位杆10和定位孔7相适配，定位杆10上套设有拉簧，拉簧一端和定位杆10焊接，拉簧另一端和第一竖板8的一侧焊接，第二竖板9的一侧设有多个滚珠，滚珠和防护罩5的内壁贴合。
[0020]工作原理：调节前首先将防护罩5取下，将两个定位杆10同时向相远离的方向拉动，当定位杆10脱离定位孔7后，再将防护罩5向上托起，将其取下，即可调节手动旋钮4，设备使用完毕后，将防护罩5安装在气体分配阀1的顶部，令防护罩5的侧边置于第一竖板8和第二竖板9之间，然后再松开两个定位杆10，定位杆10受到拉簧的拉力，重新插进定位孔7内，实现对防护罩5的定位，防护罩5的设置能够防止手动旋钮被误触。
[0021]实施例2：
[0022]请参照图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种简易型手动式气动元件控制装置，包括气体分配阀1，气体分配阀1的背面和正面分别设有多个进气孔2和出气孔3，气体分配阀1的顶部设有多个手动旋钮4，气体分配阀1的顶部设有两个第一竖板8和第二竖板9，第二竖板9的一侧设有多个滚珠，滚珠能够降低防护罩5与第二竖板9之间的摩擦力，第一竖板8和第二竖板9之间活动设有同一个防护罩5，防护罩5为透明玻璃罩，防护罩5的顶部设有防护结构6；
[0023]第一竖板8上滑动安装有定位杆10，防护罩5的两侧均设有定位孔7，定位杆10和定位孔7相适配，定位杆10上套设有拉簧，拉簧一端和定位杆10焊接，拉簧另一端和第一竖板8的一侧焊接的，第二竖板9的一侧设有多个滚珠，滚珠和防护罩5的内壁贴合，防护结构6包括多个滑杆601，多个滑杆601和防护罩5的顶部内壁活动连接，多个滑杆601的顶部焊接有同一个顶板603，顶板603的底部焊接有多个弹簧602，多个弹簧602的底部和防护罩5的顶部焊接，滑杆601的个数为四个，且四个滑杆601呈矩形排列。
[0024]工作原理：调节前首先将防护罩5取下，将两个定位杆10同时向相远离的方向拉动，当定位杆10脱离定位孔7后，再将防护罩5向上托起，将其取下，即可调节手动旋钮4，设备使用完毕后，将防护罩5安装在气体分配阀1的顶部，令防护罩5的侧边置于第一竖板8和第二竖板9之间，然后再松开两个定位杆10，定位杆10受到拉簧的拉力，重新插进定位孔7
内，实现对防护罩5的定位，防护罩5的设置能够防止手动旋钮被误触，若防护罩5的顶部受到外力挤压时，顶板603会带动多个滑杆601下移，同时顶板603会挤压多个弹簧602，弹簧602可以起到缓冲作用，降低外界的冲击力度，对防护罩5起到防护作用。
[0025]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0026]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种简易型手动式气动元件控制装置，包括气体分配阀（1），其特征在于：所述气体分配阀（1）的背面和正面分别设有多个进气孔（2）和出气孔（3），所述气体分配阀（1）的顶部设有多个手动旋钮（4），所述气体分配阀（1）的顶部设有两个第一竖板（8）和第二竖板（9），所述第一竖板（8）和第二竖板（9）之间活动设有同一个防护罩（5），所述防护罩（5）的顶部设有防护结构（6）。2.根据权利要求1所述的一种简易型手动式气动元件控制装置，其特征在于：所述第一竖板（8）上活动设有定位杆（10），所述防护罩（5）的两侧均设有定位孔（7），所述定位杆（10）和定位孔（7）相适配。3.根据权利要求2所述的一种简易型手动式气动元件控制装置，其特征在于：所述定位杆（10）上套设有拉簧，拉簧一端和定位杆（10）...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金龙，赵灿琦，尚宏艳，
申请(专利权)人：天津市瑞普斯特机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：