【技术实现步骤摘要】
一种具有定位功能的抛光设备
[0001]本技术涉及靶材加工
，具体为一种具有定位功能的抛光设备。
技术介绍
[0002]靶材是一种于金属板块外侧通过磁控溅射、离子镀膜等工艺形成特殊涂层的物品，常见于微电子器件如光盘、显示器、半导体等物的制造当中，此物在表面塑形成功后仍然需要对其进行打磨抛光，以解决凹凸不平的棱角，既方便储存运输，也避免伤害后续组装的载体，但现有的抛光设备设置的定位卡块，仅以螺栓进行锁紧固定，夹持力度难以随时调整，靶材的位置也容易偏离中心，多有不便。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种具有定位功能的抛光设备，以解决上述
技术介绍
中提出定位方式欠佳的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有定位功能的抛光设备，包括底座和空槽，所述底座内部的两侧之间设置有空槽，所述空槽内部的两侧之间活动安装有螺杆，所述螺杆外部的两侧分别套接有定位块，所述定位块底部的两侧之间设置有轴套，所述定位块与空槽一侧之间固的上方固定焊接有弹簧，所述定位块的一侧之间设置有靶材，所...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有定位功能的抛光设备，包括底座(1)和空槽(2)，其特征在于：所述底座(1)内部的两侧之间设置有空槽(2)，所述空槽(2)内部的两侧之间活动安装有螺杆(4)，所述螺杆(4)外部的两侧分别套接有定位块(7)，所述定位块(7)底部的两侧之间设置有轴套(8)，所述定位块(7)与空槽(2)一侧之间固的上方固定焊接有弹簧(9)，所述定位块(7)的一侧之间设置有靶材(5)，所述底座(1)顶部的两侧之间固定焊接有支架(10)，所述支架(10)顶部的两侧分别固定连接有气缸(11)，所述气缸(11)底部的伸缩杆之间固定连接有横板(15)，所述横板(15)的下方活动连接有罩体(24)。2.根据权利要求1所述的一种具有定位功能的抛光设备，其特征在于：所述定位块(7)的底部嵌在空槽(2)的滑道内，所述螺杆(4)嵌在轴套(8)内部的一侧之间。3.根据权利要求1所述的一种具有定位功能的抛光设备，其特征在于：所述底座(1)内部的中心处设置有内腔(3)，所述内腔(3)的两端分别设置有槽口(18)，所述内腔(3)两端的两侧分别活动安装有第一齿盘(20)，所述第一齿盘(20)的一侧之间固定焊接有横杆(19)，所述内腔(3)两侧顶部的两端分别活动连接有第二齿盘(21)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹硕华，柳科为，易小勇，曾富强，
申请(专利权)人：浏阳鑫康新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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