一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备，包括壳体，其上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔所在的平面与所述第二通孔所在的平面垂直；镜头单元，其安装在所述第一通孔；滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔，所述滤光单元包括滤光镜，所述滤光镜与所述第一通孔所在的平面相互平行；反射镜，其设在所述壳体内部，所述反射镜所在的平面与所述第一通孔所在的平面具有第一夹角，所述反射镜所在的平面同时还与所述第二通孔所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。本实用新型专利技术能够提升激光器设备在取图成像时的稳定性和清晰度，提高成像精准度，在激光标定设备领域中能够进行广泛应用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备


[0001]本技术涉及同轴光源
，尤其是指一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备。

技术介绍

[0002]随着半导体产业的高速发展，半导体芯片的封装也越来越向高集成化方向发展，在半导体芯片的生产以及封装过程中，需要对半导体芯片的质量进行检测。当前一般是通过相机设备对被测芯片进行取图，再对半导体芯片的特征进行观察，从而判断其质量是否合格。通常会使用激光器设备、工业相机、并配合同轴光源模组对半导体芯片进行成像及取图，由此，对于成像的精准度的要求也有着较高的要求。
[0003]然而，现有的激光器设备中采用的普通同轴光源模组，由于其中具有多余的杂光，这些杂光难以进行过滤，从而对后续的取图及成像造成较大的干扰，导致取图不清晰，图像质量不稳定，成像精准度较差，也影响了后续对半导体芯片的检测时的精准性，导致错判等问题。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种同轴光源模组及激光器设备，通过内部安装反射镜实现90度同轴转换光路，并在发射镜头的正上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种同轴光源模组，其特征在于：包括，壳体，其上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔所在的平面与所述第二通孔所在的平面垂直；镜头单元，其安装在所述第一通孔；滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔，所述滤光单元包括滤光镜，所述滤光镜与所述第一通孔所在的平面相互平行；反射镜，其设在所述壳体内部，所述反射镜所在的平面与所述第一通孔所在的平面具有第一夹角，所述反射镜所在的平面同时还与所述第二通孔所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。2.根据权利要求1所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述第一夹角为45度，所述第二夹角为45度。3.根据权利要求1所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述壳体包括相互螺接的第一连接部和第二连接部，所述第一通孔和第二通孔均设置在所述第一连接部。4.根据权利要求3所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述第一连接部包括连接体和盖板，所述第一通孔设置在所述盖板上，所述第二通孔设置在所述连接体上。5.根据权利要求4所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎昌钦，
申请(专利权)人：浙江华周智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：