一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备，包括壳体，其上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔所在的平面与所述第二通孔所在的平面垂直；镜头单元，其安装在所述第一通孔；滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔，所述滤光单元包括滤光镜，所述滤光镜与所述第一通孔所在的平面相互平行；反射镜，其设在所述壳体内部，所述反射镜所在的平面与所述第一通孔所在的平面具有第一夹角，所述反射镜所在的平面同时还与所述第二通孔所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。本实用新型专利技术能够提升激光器设备在取图成像时的稳定性和清晰度，提高成像精准度，在激光标定设备领域中能够进行广泛应用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备


[0001]本技术涉及同轴光源
，尤其是指一种同轴光源模组、镜头模组及激光器设备。

技术介绍

[0002]随着半导体产业的高速发展，半导体芯片的封装也越来越向高集成化方向发展，在半导体芯片的生产以及封装过程中，需要对半导体芯片的质量进行检测。当前一般是通过相机设备对被测芯片进行取图，再对半导体芯片的特征进行观察，从而判断其质量是否合格。通常会使用激光器设备、工业相机、并配合同轴光源模组对半导体芯片进行成像及取图，由此，对于成像的精准度的要求也有着较高的要求。
[0003]然而，现有的激光器设备中采用的普通同轴光源模组，由于其中具有多余的杂光，这些杂光难以进行过滤，从而对后续的取图及成像造成较大的干扰，导致取图不清晰，图像质量不稳定，成像精准度较差，也影响了后续对半导体芯片的检测时的精准性，导致错判等问题。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种同轴光源模组及激光器设备，通过内部安装反射镜实现90度同轴转换光路，并在发射镜头的正上方安装滤光镜，能够过滤掉杂色光，从而能保证整个内部光路不会被其它颜色的光束干扰，大大提升了激光设备在取图成像时的稳定性、清晰度等。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种同轴光源模组，包括，
[0006]壳体，其上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔所在的平面与所述第二通孔所在的平面垂直；
[0007]镜头单元，其安装在所述第一通孔；
[0008]滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔，所述滤光单元包括滤光镜，所述滤光镜与所述第一通孔所在的平面相互平行；
[0009]反射镜，其设在所述壳体内部，所述反射镜所在的平面与所述第一通孔所在的平面具有第一夹角，所述反射镜所在的平面同时还与所述第二通孔所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。
[0010]优选地，所述第一夹角为45度，所述第二夹角为45度。
[0011]优选地，所述壳体包括相互螺接的第一连接部和第二连接部，所述第一通孔和第二通孔均设置在所述第一连接部。
[0012]优选地，所述第一连接部包括连接体和盖板，所述第一通孔设置在所述盖板上，所述第二通孔设置在所述连接体上。
[0013]优选地，所述壳体的内壁设有用于卡持所述反射镜的第一凸块和第二凸块，所述第一凸块设置在所述第一连接部，所述第二凸块设置在所述第二连接部，所述反射镜的端
部卡持在所述第一凸块及第二凸块上。
[0014]优选地，所述壳体上设有用于置放所述滤光镜的固定座，所述固定座为环形，所述滤光镜可拆卸地与所述固定座相连。
[0015]优选地，所述固定座内壁设有第一螺纹，所述滤光镜沿周向设有第二螺纹，所述滤光镜与所述固定座螺接。
[0016]优选地，所述盖板上设有镜头安装转接板，所述镜头安装转接板与所述盖板螺接，所述镜头安装转接板用于安装所述镜头单元。
[0017]另外，本技术还提供了一种镜头模组，包括相机单元以及如前面所述的同轴光源模组，所述相机单元与所述镜头单元相连。
[0018]另外，本技术还提供了一种激光器设备，包括激光模组以及如前面所述的镜头模组，所述激光模组与所述同轴光源模组中的第二通孔相连。
[0019]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0020]本技术所述的同轴光源模组、镜头模组及激光器设备，能够使镜头与激光模组之间的反射的光路通过滤光镜，从而有选择性的过滤掉不需要的光，从而达到在整个内部反射光路中，只有真正需要的光束才能通过滤光镜正，其余光束被滤光镜拦截无法通过，从而保证同轴光膜模组内部的光路不被其它颜色的光束干扰，从而提升激光器设备在取图成像时的稳定性和清晰度，提高成像精准度，在激光标定设备领域中能够进行广泛应用。
附图说明
[0021]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中
[0022]图1是本技术最佳实施例的立体结构示意图。
[0023]图2是本技术最佳实施例的结构拆分示意图。
[0024]图3是本技术最佳实施例的结构爆炸图。
[0025]说明书附图标记说明：1
‑
壳体，11
‑
第一连接部，110
‑
第一凸块，12
‑ꢀ
第二连接部，13
‑
固定座，14
‑
连接体，15
‑
盖板，2
‑
第一通孔，3
‑
第二通孔， 4
‑
镜头单元，5
‑
滤光镜，6
‑
反射镜。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0027]实施例1
[0028]参照图1至图3所示，本技术揭示了一种同轴光源模组，包括，
[0029]壳体1，其上设有第一通孔2和第二通孔3，所述第一通孔2所在的平面与所述第二通孔3所在的平面垂直；
[0030]镜头单元4，其安装在所述第一通孔2；
[0031]滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔2，所述滤光单元包括滤光镜5，所述滤光镜5与所述第一通孔2所在的平面相互平行；
[0032]反射镜6，其设在所述壳体1内部，所述反射镜6所在的平面与所述第一通孔2所在
的平面具有第一夹角，所述反射镜6所在的平面同时还与所述第二通孔3所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。
[0033]由此可以得知，本技术所述的同轴光源模组，用于配合激光器设备进行取图及成像，在所述同轴光源模组的内部安装反射镜实现90度同轴转换光路，并在镜头的正上方设置滤光镜，从而能够过滤掉杂色光，保证整个内部光路不会被其它颜色的光束干扰，并且能够根据实际需求对滤光镜进行更换，从而实现不同的滤光效果，大大提升了激光设备在取图成像时的稳定性、清晰度，提高成像精准度。
[0034]进一步地，所述第一夹角设置为45度，所述第二夹角设置为45度，此时能够使反射光的通过量最多。
[0035]更进一步地，所述壳体1包括相互螺接的第一连接部11和第二连接部12，所述第一通孔2和第二通孔3均设置在所述第一连接部11。
[0036]具体来说，所述壳体1的内壁设有用于卡持所述反射镜的第一凸块110 和第二凸块，所述第一凸块110设置在所述第一连接部11的内壁，所述第二凸块设置在所述第二连接部的内壁，所述反射镜6的端部卡持在所述第一凸块110及第二凸块上。
[0037]从细节上来说，所述壳体1上设有用于置放所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种同轴光源模组，其特征在于：包括，壳体，其上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔所在的平面与所述第二通孔所在的平面垂直；镜头单元，其安装在所述第一通孔；滤光单元，其设在所述壳体内且靠近所述第一通孔，所述滤光单元包括滤光镜，所述滤光镜与所述第一通孔所在的平面相互平行；反射镜，其设在所述壳体内部，所述反射镜所在的平面与所述第一通孔所在的平面具有第一夹角，所述反射镜所在的平面同时还与所述第二通孔所在的平面具有第二夹角，所述第一夹角和第二夹角均为锐角。2.根据权利要求1所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述第一夹角为45度，所述第二夹角为45度。3.根据权利要求1所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述壳体包括相互螺接的第一连接部和第二连接部，所述第一通孔和第二通孔均设置在所述第一连接部。4.根据权利要求3所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述第一连接部包括连接体和盖板，所述第一通孔设置在所述盖板上，所述第二通孔设置在所述连接体上。5.根据权利要求4所述的一种同轴光源模组，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎昌钦，
申请(专利权)人：浙江华周智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：