本申请公开一种半导体工艺设备及储液装置，所公开的储液装置包括储液容器(100)、防旋涡件(200)和浮子(300)；其中，储液容器(100)设有排液孔(101)，防旋涡件(200)与浮子(300)相连，浮子(300)用于带动防旋涡件(200)浮至储液容器(100)内容纳的液体的液面，以消除排液孔(101)在排液过程中出现在液面的旋涡。上述方案能解决相关技术中的储液装置存在消除液体内部气泡效率较低的问题。内部气泡效率较低的问题。内部气泡效率较低的问题。
【技术实现步骤摘要】
储液装置及半导体工艺设备
[0001]本申请属于半导体工艺设备设计
，具体涉及一种储液装置及半导体工艺设备。
技术介绍
[0002]湿法刻蚀是一种半导体生产工艺，广泛应用于前道晶圆的处理工艺，通常将晶圆浸泡在药液内通过化学腐蚀的方法，将晶片上未涂覆光刻胶的部分去除。清洗工艺在晶圆生产的后段，通过物理溶解或者化学反应的方式，对前道工艺产生的杂质进行清理。这两种工艺中，工艺结果的优劣都取决于药液的温度、流量、浓度的稳定。
[0003]药液在储液容器中完成混合，储液容器底部出口流出药液时，受地球自转产生的科氏力影响，药液会沿着排液孔的中心旋转，造成涡旋，在液面较高时就开始卷入空气，使得大量气体溶解在液体中，这些气泡会影响供液的稳定，进一步影响工艺的良率。
[0004]在相关技术中，设计人员在储液容器底部安装防旋涡件，但防旋涡件始终在储液容器底部，只能消除底部出口的旋涡，但对于从液面较高时就进入空气的情况无能为力。
技术实现思路
[0005]本技术公开一种储液装置及半导体工艺设备，以解决相关技术中涉及的储液装置存在消除液体内部气泡效率较低的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0007]第一方面，本申请实施例公开一种储液装置，包括储液容器、防旋涡件和浮子，其中：
[0008]所述储液容器设有排液孔，所述防旋涡件与所述浮子相连，所述浮子用于带动所述防旋涡件浮至所述储液容器内容纳的液体的液面，以消除所述排液孔在排液过程中出现在所述液面的旋涡。
[0009]第二方面，本申请实施例公开一种半导体工艺设备，包括上文所述的储液装置。
[0010]本技术采用的技术方案能够达到以下技术效果：
[0011]本申请实施例公开的储液装置通过对相关技术的储液装置的结构进行改进，通过增设浮子，将浮子与防旋涡件相连，并取消防旋涡件的固定安装，使得防旋涡件能够在储液容器内活动，使得浮子能够带动防旋涡件跟随储液容器内容纳液体的液面升降，从而使得防旋涡件始终浮在液面，最终实现防旋涡件始终可以去除液体表面的旋涡的目的，能够从源头上减少了气体进入液体的机会。
附图说明
[0012]图1是本申请实施例公开的储液装置的结构示意图；
[0013]图2是储液装置部分剖面结构示意图；
[0014]图3是储液装置内容纳液体时防旋涡件浮起状态示意图。
[0015]附图标记说明：
[0016]100
‑
储液容器、110
‑
底壁、101
‑
排液孔、102
‑
凹陷；
[0017]200
‑
防旋涡件；
[0018]300
‑
浮子；
[0019]400
‑
导向件；
[0020]500
‑
进液管；
[0021]600
‑
连杆。
具体实施方式
[0022]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术具体实施例及相应的附图对本技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]以下结合附图，详细说明本技术各个实施例公开的技术方案。
[0024]请参考图1至图3，本申请实施例公开一种储液装置，所公开的储液装置用于消除储液容器容纳液体在排放时形成的旋涡，进而避免排液过程中旋涡导致的液体内溶入过多的空气的问题。
[0025]本申请实施例公开的储液装置包括储液容器100、防旋涡件200和浮子300。
[0026]储液容器100设有排液孔101，排液孔101用于排出储液容器100内的液体，以使得液体排入后续的工艺设备中。
[0027]防旋涡件200能够发挥防止在排液过程中产生旋涡的结构件。防旋涡件200可以为十字形结构件，也可以为其它结构的能够防止旋涡产生的结构件。本申请实施例不限制防旋涡件200的具体结构及形状。
[0028]浮子300用于提供浮力，防旋涡件200与浮子300相连，从而能够使得实现防旋涡件200在液体中的浮起。具体的，防旋涡件200能够随着浮子300运动，浮子300用于带动防旋涡件200浮至储液容器100内容纳的液体的液面，如此使得浮子300能够带动防旋涡件200跟随储液容器100内容纳液体的液面升降，从而使得防旋涡件200始终浮在液面，以消除排液孔101在排液过程中出现在液面的旋涡。
[0029]本申请实施例中，浮子300采用能提供较大浮力的结构或材料(密度较小的材料)制成，从而能够发挥较好地带动防旋涡件200浮起的作用。
[0030]本申请实施例公开的储液装置，通过对相关技术的储液装置的结构进行改进，通过增设浮子300，将浮子300与防旋涡件200相连，并设置防旋涡件200能够在储液容器100内活动，使得浮子300能够带动防旋涡件200跟随储液容器100内容纳液体的液面浮动，从而使得防旋涡件200始终浮在液面上，最终实现防旋涡件200始终可以去除液体表面的旋涡的目的，能够从源头上减少了气体进入液体的机会，从而减少液体内的气泡，保证供液的稳定性，减少对下一道工序的影响。
[0031]在进一步的技术方案中，本申请实施例公开的储液装置还可以包括导向件400，且与排液孔101相对。
[0032]在排液的过程中，液面产生的旋涡通常发生在液面上与排液孔101相对的位置，基于此，在一种可行的实施例中，防旋涡件200可以滑动地设于导向件400，防旋涡件200可沿导向件400浮动，由于防旋涡件200与浮子300相连，浮子300带动防旋涡件200浮至储液容器100内容纳的液体的液面时，防旋涡件200沿导向件400浮动，使得浮子300带动防旋涡件200在浮动的过程中更稳定地保持与排液孔101相对，进而能较好地维持在消除旋涡的位置，达到较好的消除旋涡的目的。
[0033]在本申请实施例中，导向件400可以至少部分设于储液容器100之内，也可以完全位于储液容器100之外。
[0034]可选地，导向件400可以设置于储液容器100的顶壁，且沿竖直方向朝储液容器100内延伸，从而避免对储液容器100的外部空间的额外占用。当然，在其它的实施例中，导向件400可以设置于储液容器100的顶壁，且沿竖直方向朝向储液容器100外延伸，进而使得导向件400可以完全设于储液容器100之外，当然，此种情况下，能够避免导向件400对储液容器100内的空间的占用。
[0035]在其它实施例中，导向件400可以部分位于储液容器100之内，也可以部分位于储液容器100之外。
[0036]在另一种可行的实施例中，浮子300滑动地设于导向件400，浮子本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种储液装置，其特征在于，包括储液容器(100)、防旋涡件(200)和浮子(300)，其中：所述储液容器(100)设有排液孔(101)，所述防旋涡件(200)与所述浮子(300)相连，所述浮子(300)用于带动所述防旋涡件(200)浮至所述储液容器(100)内容纳的液体的液面，以消除所述排液孔(101)在排液过程中出现在所述液面的旋涡。2.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，所述储液装置还包括导向件(400)；所述防旋涡件(200)和/或所述浮子(300)滑动地设于所述导向件(400)，且与所述排液孔(101)相对，所述防旋涡件(200)和/或所述浮子(300)可沿所述导向件(400)浮动。3.根据权利要求2所述的储液装置，其特征在于，所述储液容器(100)包括底壁(110)，所述排液孔(101)设于所述底壁(110)上，所述排液孔(101)沿竖直方向贯通所述底壁(110)；所述导向件(400)设置于所述储液容器(100)的顶壁，沿竖直方向朝向所述储液容器(100)内延伸；和/或；沿竖直方向朝向所述储液容器(100)外延伸。4.根据权利要求2或3所述的储液装置，其特征在于，所述防旋涡件(200)或所述浮子(300)连接有连杆(600)，所述导向件(400)为导向套，所述连杆(60...
【专利技术属性】
技术研发人员：董鹏，赵宏宇，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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