【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体光电子材料制备领域,涉及一种对DH-Ga1-xAlxAsLED液相外延材料结构优化设计方法的改进。红色DH-Ga1-xAlxAs LED发光材料,由于其GaAs和AlAs的晶格常数只差0.14%,是其它半导体混晶发光材料无法比拟的,其实验室LED样品量子效率为21%,市场商品的量子效率已达15%,是目前最重要的超高亮度红色LED材料。在选定某种发光材料体系基础上,要想发挥其最好发光效率,必须对其外延材料结构参数进行优化设计。就DH-Ga1-xAlxAs/GaAs LED发光材料而言,其外延材料的基本结构参数为限定层、发光层和窗口层厚度,铝Al组份和载流子浓度合理匹配。其最佳设计值不仅在理论上最好,而且要考虑实际工艺是否可能实施,同时还要考虑对后道制造LED工艺带来的影响。按引进DH-Ga1-xAlxAs/GaAs LED液相外延工艺软件所生产的外延材料,其中铝Al组份过高,如窗口层普遍大于0.8,有的高达0.9;外延层生长过厚,如窗口层厚度普遍大于45μm,有的高达69μm;发光层普遍大于3μm;载流子浓度匹配不尽合理。由于设计基本结构参数不尽合理,使其外延片发光效率不高、表面严重氧化、并且产生明显凸状畸变,这样对后道制管工艺带来诸多困难,甚至很难制备出合格LED产品。本专利技术的目的是解决用已有技术生产的外延片发光效率不高,产生明显凸状畸变,表面严重氧化;对后道制管工艺带来诸多困难等问题,提供一种DH-Ga1-xAlxAs/GaAs LED液相外延片结构参数优化设计的方法。本专利技术根据光电子学和半导体能带理论,从限定层、发光层 ...
【技术保护点】
一种DH-Ga↓[1-X]Al↓[X]As LED液相外延材料结构优化设计方法,它包括衬底4,其特征在于:衬底4的厚度为:300-400μm、铝Al组份为:0、载流子浓度为:1×10↑[19]cm↑[-3];限定层3的生长厚度为:10-15μm、铝Al组份为:0.70-0.77、载流子浓度为(1-2)×10↑[18]cm↑[-3];发光层2的生长厚度为:1.0-2.0μm、铝Al组份为:0.40-0.44、载流子浓度为:(3-7)×10↑[17]cm↑[-3];窗口层1生长厚度为:15-25μm、铝Al组份为:0.70-0.75、载流子浓度为:(0.7-1)×10↑[18]cm↑[-3]。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:元金山,张富文,李向文,
申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,
类型:发明
国别省市:82[中国|长春]
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