具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室制造方法及图纸

一种平板显示器制造装置的加工室，其包括打开或者关闭所述室体上盖的开／关设备。所述加工室包括：室体，以及放置在所述室体上的上盖，使得打开远离或者关闭接近所述室体。在所述上盖的关闭状态下，所述上盖使所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体的内部产生真空。在所述室体内安装有：衬底支承装置，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统；排气系统，用于排空所述室体；以及第一上盖开／关设备。所述第一上盖开／关设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖，以及旋转器，用于旋转通过所述升降装置所提升的所述上盖。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示器制造装置的加工室，特别涉及具有用于打开或者关闭加工室上盖的开/关设备的平板显示器制造装置的加工室。
技术介绍
在各种平板显示器制造装置中，某些适合在真空中实施预定处理的装置一般具有三个室，包括一个负载锁定室(loadlock chamber)、一个转移室(carrier chamber)以及一个加工室。这里，负载锁定室用来接收外部的待处理衬底，以及在处理结束后使衬底从加工室返回外部。转移室配置有在各个室之间传送衬底的自动装置，用于从负载锁定室向加工室转移待处理衬底，或者在处理结束后将衬底从加工室转移到负载锁定室。加工室用来实施预定处理，例如在真空中通过等离子体或者热能在衬底上实施沉积或者蚀刻加工。此时，因为在加工室中使用等离子体或者各种气体，所以，安装在加工室内的器材经过多次重复处理有可能被损坏或者污染，从而，不得不定期对其进行更换或者维修。因此，通常加工室配置有可打开的上盖，用于对安装在加工室内的器材进行维护或者维修处理。图1a是现有技术中具有上盖开/关设备的加工室的立体图。如图1a所示，开/关设备10安装在加工室主体100的外部，以便能够使盖200打开远离或者关闭接近室主体100。分析上盖200的打开过程，首先，使用附加在开/关设备10(见图1b)上的竖直驱动装置(未示出)将上盖200竖直提升至预定高度，然后，以这种被提升的状态沿着水平移动导轨20水平移动(见图1c)。在结束水平移动后，上盖200通过未示出的旋转部件旋转180度(见图1d和1e)。这样一来，加工室主体100的内部被完全打开，从而能够对配置在内部的器材进行更换或者维修处理。然而，上述的传统上盖开/关设备10的结构复杂，且需要花费过长时间来完成上盖200的打开或者关闭过程。尤其是需要相当大的空间用来将上盖200打开远离室体100，结果会产生下述问题普通的开/关设备10占据过大的用于放置平板显示器制造装置的清洁空间。
技术实现思路
因此，鉴于上述问题做出了本专利技术，其一个目的在于提供一种具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室，其具有简化的结构并可以在短时间内打开或者关闭加工室的上盖。本专利技术的另一目的在于提供一种具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室，其不需占用过多清洁空间就可以打开或者关闭加工室的上盖。根据本专利技术的第一方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括室体；上盖，放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第一上盖开/关设备，安装在所述室体的外部，其中，所述设备包括升降装置，用来竖直提升所述上盖，以及第一旋转器，用于旋转由所述升降装置所提升的所述上盖。所述升降装置最好能够包括四个第一提升杆，配置在所述室体相应拐角的外侧；以及两条导轨，分别连接在相邻的两个所述第一提升杆的上端之间。所述第一旋转器最好被安装在所述上盖侧面的相应外侧，并且以能够水平移动方式分别与所述导轨连接。每个所述第一提升杆最好都具有竖直移动驱动单元，用于提升相关的一个所述导轨和所述上盖。每个所述第一旋转器最好都具有旋转所述上盖的旋转驱动单元以及沿着相关的一个所述导轨来水平移动所述上盖的水平移动驱动单元。每个所述第一提升杆最好都由气缸或者油缸来驱动。根据本专利技术第二方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括室体；上盖，被放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，被配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，被配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第二上盖开/关设备，被安装在所述室体外部的角落，用于竖直升起并旋转所述上盖。所述第二上盖开/关设备最好包括可竖直移动的第二提升杆；以及第二旋转器，被安装在所述第二提升杆的上端，用于旋转所述上盖。所述第二上盖开/关设备最好还包括辅助提升杆，被安装在与所述第二提升杆对角相对的一侧。所述第二提升杆最好是由气缸或者油缸驱动的。所述辅助提升杆最好是由气缸或者油缸驱动的。所述第二提升杆最好具有竖直移动驱动单元。所述辅助提升杆最好具有竖直移动驱动单元。所述第二旋转器最好具有旋转驱动单元。所述第二上盖开/关设备最好还包括第一控制单元，因此，在所述第一控制单元的控制下，当所述第二提升杆提升所述上盖时，一上盖连接器与上盖连接使所述辅助提升杆与所述第二提升杆配合提升所述上盖，并且，当所述第二旋转器运转时，所述上盖连接器与所述上盖分离，从而能够使所述上盖枢轴旋转。根据本专利技术第三方面，上述和其他目的可以通过提供这样一种平板显示器制造装置的加工室实现，所述加工室包括室体；上盖，被放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，被配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，被配置在所述室体内；排气系统，被配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及一对第三上盖开/关设备，被安装在所述室体相对侧面外侧的正中央，用于竖直升起并旋转所述上盖。每个所述第三上盖开/关设备最好包括第三旋转器，被安装在所述室体上；第四旋转器，被安装在所述上盖上；以及可竖直移动的第三提升杆，与第三以及第四旋转器分别连接。所述第三旋转器最好具有旋转所述第三提升杆的旋转驱动单元，其与所述第四旋转器以及所述上盖连接。所述第四旋转器最好具有旋转所述上盖的旋转驱动单元。所述第三提升杆最好具有竖直移动驱动单元，用于提升所述第四旋转器以及与所述第四旋转器连接的所述上盖。所述第三提升杆最好由气缸或者油缸驱动。所述第三上盖开/关设备最好还包括第二控制单元，其用于控制所述第三以及第四旋转器和第三提升杆的驱动，因此，在所述第二控制单元的控制下，当所述第三提升杆被驱动并提升所述第四旋转器和所述上盖至预定高度后，开始驱动所述第三旋转器，使得所述第三提升杆枢轴旋转并倾斜90度，当所述第三提升杆持续提升时，操作所述第四旋转器来使所述上盖翻转180度，并且，在所述上盖的旋转过程中，所述上盖和所述室体并不碰撞。附图说明通过以下结合附图对具体实施方式进行的详细描述，本专利技术上述和其他优点将更为清楚。图1a、1b、1c、1d以及1e分别图示了打开或者关闭加工室上盖的传统设备以及顺序打开过程的立体图。图2是具有根据本专利技术第一实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。图3a、3b以及3c是本专利技术第一实施方式的上盖开/关设备的顺序打开过程的简略截面图。图4a、4b以及4c是本专利技术第一实施方式的上盖开/关设备的另一顺序打开过程的简略截面图。图5是具有根据本专利技术第二实施方式的上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室的立体图。图6a、6b以及6c是本专利技术第二实施方式的上盖开/关设备的顺序打开过程的简略截面图。图7是具有根据本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板显示器制造装置的加工室，包括：室体；上盖，放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，配置在所述室体内，用于支承 待处理衬底；处理气体供给系统，配置在所述室体内；排气系统，配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第一上盖开／关设备，安装在所述室体的外部，其中，所述设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖；以及第一 旋转器，用于旋转由所述升降装置所提升的所述上盖。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：许光虎，崔浚泳，李哲源，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]