获取并处理CDSEM文件的方法技术

本发明专利技术提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；将晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取CDSEM文件；对CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；判断目标数据是否为FEM数据；若判断结果为是，利用数据分析库将目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用数据分析库将目标数据转换为第二种形式的模板文件；于终端导出模板文件。通过本发明专利技术解决了以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。所存在的效率较低的问题。所存在的效率较低的问题。

【技术实现步骤摘要】
获取并处理CDSEM文件的方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种获取并处理CDSEM文件的方法。

技术介绍

[0002]CDSEM(Critical Dimension Scanning Electronic Microscope,关键尺寸扫描电子显微镜)是一种在半导体制程中用于测量晶圆上图案的关键尺寸(CD)的仪器，其工作原理：从电子枪照射出的电子束通过聚光透镜汇聚，穿过开孔(aperture)到达测定对象的图案上，利用探测器捕捉放出的二次电子并将其变换为电信号，获得二维图像，以二维图像信息为基础高精度地测量出测定对象的关键尺寸。
[0003]而且，随着工艺节点的减小，CDSEM量测在实现芯片量产、提升良率的过程中必不可少，此过程需依靠大量的CDSEM量测数据来实现优化和验证。但从服务器端提取的MSR文件需要用户手动对其进行二次处理才可得到可读性较强的Excel文件，以至于提升了数据导出的门槛。
[0004]而在利用Hitachi High
‑
Tech的H_DPROC数据处理软件读取服务器端CD数据并对CD数据进行处理时，因公司安全管控要求，服务器机房(server room)配备的电脑不能连接网络，且设备有限，办公软件无法激活，经常出现软件卡死的情况，不便于普通用户操作，影响工作效率。而且，在部分工作需求的CDSEM数据量庞大的情况下，利用上述工具读取并处理数据的效率较低。

技术实现思路

[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，用于解决以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：
[0007]通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；
[0008]将所述晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对所述光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；
[0009]于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取所述CDSEM文件；
[0010]对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；
[0011]判断所述目标数据是否为FEM数据；
[0012]若判断结果为是，利用数据分析库将所述目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用所述数据分析库将所述目标数据转换为第二种形式的所述模板文件；
[0013]于所述终端导出所述模板文件。
[0014]可选地，通过调节量测机台的所述机台参数以调节获取所述CDSEM文件的速度。
[0015]可选地，所述CDSEM文件为MSR文件。
[0016]可选地，对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出所述目标数据的方法包括：通过re正则匹配的方式从所述CDSEM文件中筛选出所述目标数据。
[0017]可选地，所述模板文件为Excel文件。
[0018]可选地，判断所述目标数据是否为FEM数据的方法包括：于所述终端键入判断指令。
[0019]可选地，所述数据分析库包括pandas库。
[0020]可选地，第一种形式的所述模板文件具有包括晶圆横坐标及晶圆纵坐标的二维表。
[0021]可选地，第二种形式的所述模板文件中具有包括所述晶圆横坐标、所述晶圆纵坐标及测量点的二维表。
[0022]可选地，导出所述模板文件的方法包括：于所述终端输入自定义的所述模板文件的路径。
[0023]如上所述，本专利技术的获取并处理CDSEM文件的方法，通过调节机台参数对特定的光刻胶图案的关键尺寸进行量测，从而能够加快获取CDSEM文件的速度；而用户通过在终端输入CDSEM文件的绝对路径调出所述CDSEM文件，再利用re正则匹配读取CDSEM文件中的目标数据，并借助Pandas库将目标数据转换成特定的Excel模板文件，通过上述方法不仅可规避日立Hitachi软件的限制，使得CDSEM文件的处理时间缩短(只需5s～10s)，而且相对稳定，从而能够提高工作效率，降低数据导出的门槛；而且，用户还可以利用上述方法对CDSEM文件进行批量处理，能够进一步的节省操作时间；再者，用户可在自己的电脑上直接使用而不局限于server room配备的电脑，提高了操作的便利性。
附图说明
[0024]图1显示为本专利技术的快速获取并处理CDSEM文件的方法流程图。
具体实施方式
[0025]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0026]请参阅图1。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，虽图示中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。
[0027]如图1所示，本实施例提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：
[0028]通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；
[0029]将所述晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对所述光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；
[0030]于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取所述CDSEM文件；
[0031]对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；
[0032]判断所述目标数据是否为FEM数据；
[0033]若判断结果为是，利用数据分析库将所述目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用所述数据分析库将所述目标数据转换为第二种形式的所述模板文件；
[0034]于所述终端导出所述模板文件。
[0035]本实施例中，所述FEM数据为焦距能量矩阵，是在进行曝光时，从一个方向以固定的步长改变聚焦值，另一方向以一个固定的步长改变曝光能量所得到的一组数据。
[0036]具体的，通过调节量测机台的所述机台参数以调节获取所述CDSEM文件的速度。
[0037]本实施例中，通过调节所述机台参数可使得量测机台在进行量测时能够仅针对特定的光刻胶图案进行量测，从而能够加快获取所述CDSEM文件的速度。
[0038]具体的，所述CDSEM文件为MSR文件。本实施例中，所述MSR文件为CDSEM服务器端导出的后缀为.msr的log文件(日志文件)，其本质是一文本文件。而且，可利用python的os模块解析所述MSR文件，以将其转化为python对象。
[0039]具体的，对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出所述目标数据的方法包括：通过re正则匹配的方式从所述CDSEM文件中筛选出所述目标数据。
[0040]本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述方法包括：通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；将所述晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对所述光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取所述CDSEM文件；对所述CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；判断所述目标数据是否为FEM数据；若判断结果为是，利用数据分析库将所述目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用所述数据分析库将所述目标数据转换为第二种形式的所述模板文件；于所述终端导出所述模板文件。2.根据权利要求1所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，通过调节量测机台的所述机台参数以调节获取所述CDSEM文件的速度。3.根据权利要求1或2所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，所述CDSEM文件为MSR文件。4.根据权利要求3所述的获取并处理CDSEM文件的方法，其特征在于，对所述CDSEM文件中的数据进行匹配...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朗，陆正，江志兴，
申请(专利权)人：华虹半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：