电阻温度系数的获取方法、装置及存储介质制造方法及图纸

本申请提供一种电阻温度系数的获取方法、装置及存储介质，涉及测试技术领域，该方法包括：对待测电阻进行加热或降温；获取待测电阻的多组测量数据；每组测量数据均为按照预设周期获取的；每组测量数据包括M个温度值和M个电阻值；M为大于或等于2的整数；基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取测量数据时待测电阻是否处于稳定状态；电阻参考值为电阻值的自然对数；基于获取的多组稳定数据，确定待测电阻的电阻温度系数；稳定数据为在待测电阻处于稳定状态下获取的测量数据。该方法适用于测量电阻温度系数过程中，用于提高测量精度。高测量精度。高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
电阻温度系数的获取方法、装置及存储介质


[0001]本申请涉及测试
，尤其涉及一种电阻温度系数的获取方法、装置及存储介质。

技术介绍

[0002]电阻温度系数(temperature coefficient of resistance，TCR)是指在一定温度范围内，温度改变1摄氏度(℃)，电阻值的平均相对变化量。
[0003]TCR在工业应用中具有重要作用。例如，在半导体集成电路中，TCR能够反映半导体器件的电阻值在不同温度下对该器件运行的影响，从而影响对该器件性能的提高与改善。
[0004]因此，如何获取测量精度较高的TCR是目前亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种电阻温度系数的获取方法、装置及存储介质，可以提高TCR的测量精度。
[0006]为了达到上述目的，本申请采用如下技术方案：
[0007]第一方面，本申请提供一种电阻温度系数的获取方法，该方法包括：对待测电阻进行加热或降温；获取待测电镀的多组测量数据；每组测量数据均为按照预设周期获取的；每组测量数据包括M个温度值和M个电阻值；M为大于或等于2的整数；基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值，确定获取每组测量数据时待测电阻是否处于稳定状态；电阻参考值为电阻值的自然对数；基于获取的多组稳定数据，确定待测电阻的电阻温度系数；稳定数据为在待测电阻处于稳定状态下获取的测量数据。
[0008]本申请通过设置判断待测电阻是否处于稳定状态的判断条件，可以在不同温度点下筛选出待测电阻处于稳定状态时获取的稳定数据，利用稳定状态时获取的稳定数据，可以提高TCR的测量精度。
[0009]此外，实际测量过程中不同温度下的电阻值波动水平可能呈现数量级之间的差异，即使是相同的温差，也可能导致电阻值之差相差较大，影响TCR的测量精度。本申请实施例通过计算电阻值的自然对数来判断待测电阻的电阻值是否稳定，可以将不同温度下的电阻值波动拉到同一水平，在判断待测电阻的电阻值是否稳定时可以避免电阻值波动水平的差异而影响判断的准确率，从而提高了TCR测量时的准确率。
[0010]一种可能的实现方式中，基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取每组测量数据时待测电阻是否处于稳定状态，包括：确定M个温度值的标准差；当M个温度值的标准差小于第一阈值时，确定待测电阻处于稳定状态。
[0011]另一种可能的实现方式中，基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取每组测量数据时待测电阻是否处于稳定状态，包括：根据M个电阻值各自的自然对数，确定M个电阻参考值；确定M个电阻参考值的标准差；当M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定待测电阻处于稳定状态。
[0012]又一种可能的实现方式中，基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取每组测量数据时待测电阻是否处于稳定状态，包括：确定M个温度值的标准差；根据M个电阻值各自的自然对数，确定M个电阻参考值；确定M个电阻参考值的标准差；当M个温度值的标准差小于第一阈值，且M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定待测电阻处于稳定状态。
[0013]可选地，多组稳定数据包括第一数据和第二数据；第一数据和第二数据为多组稳定数据中的任意两组不同的稳定数据；基于多组稳定数据，确定待测电阻的电阻温度系数，包括：根据第一值与第二值之商确定待测电阻的电阻温度系数；第一值为第一电阻值的对数和第二电阻值的对数之差；第一电阻值为第一数据中的M个电阻值的平均值；第二电阻值为第二数据中的M个电阻值的平均值；第二值为第一温度值和第二温度值之差；第一温度值为第一数据中的M个温度值的平均值；第二温度值为第二数据中的M个温度值的平均值。
[0014]可选地，第一数据、第二数据、以及待测电阻的电阻温度系数之间的关系满足下述公式：
[0015][0016]其中，TCR表示待测电阻的电阻温度系数；R
T
表示第一电阻值；R
T0
表示第二电阻值；T表示第一温度值；T0表示第二温度值。
[0017]可选地，基于多组稳定数据，确定待测电阻的电阻温度系数，包括：对多组稳定数据进行线性拟合，得到TCR曲线图；TCR曲线图的横坐标为温度值；TCR曲线图的纵坐标为电阻值的自然对数；基于TCR曲线图的斜率，确定待测电阻的电阻温度系数。
[0018]第二方面，本申请提供一种温度系数的获取装置，该装置包括：温控模块、测量模块、以及处理模块。温控模块，用于对待测电阻进行加热或降温。测量模块，用于获取待测电阻的多组测量数据；每组测量数据均为按照预设周期获取的；每组测量数据包括M个温度值和M个电阻值；M为大于或等于2的整数。处理模块，用于基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取每组测量数据时待测电阻是否处于稳定状态；电阻参考值为电阻值的自然对数；基于获取的多组稳定数据，确定待测电阻的电阻温度系数；稳定数据为在待测电阻处于稳定状态下获取的测量数据。
[0019]可选地，处理模块，具体用于确定M个温度值的标准差；当M个温度值的标准差小于第一阈值时，确定待测电阻处于稳定状态；
[0020]可选地，处理模块，具体用于根据M个电阻值各自的自然对数，确定M个电阻参考值；确定M个电阻参考值的标准差；当M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定待测电阻处于稳定状态；
[0021]可选地，处理模块，具体用于确定M个温度值的标准差；根据M个电阻值各自的自然对数，确定M个电阻参考值；确定M个电阻参考值的标准差；当M个温度值的标准差小于第一阈值，且M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定待测电阻处于稳定状态；
[0022]可选地，多组稳定数据包括第一数据和第二数据；第一数据和第二数据为多组稳定数据中的任意两组不同的稳定数据；处理模块，具体用于根据第一值与第二值之商确定待测电阻的电阻温度系数；第一值为第一电阻值的对数和第二电阻值的对数之差；第一电阻值为第一数据中的M个电阻值的平均值；第二电阻值为第二数据中的M个电阻值的平均
值；第二值为第一温度值和第二温度值之差；第一温度值为第一数据中的M个温度值的平均值；第二温度值为第二数据中的M个温度值的平均值；
[0023]可选地，第一数据、第二数据、以及待测电阻的电阻温度系数之间的关系满足下述公式：
[0024][0025]其中，TCR表示待测电阻的电阻温度系数；R
T
表示第一电阻值；R
T0
表示第二电阻值；T表示第一温度值；T0表示第二温度值；
[0026]可选地，处理模块，具体用于对多组稳定数据进行线性拟合，得到TCR曲线图；TCR曲线图的横坐标为温度值；TCR曲线图的纵坐标为电阻值的自然对数；基于TCR曲线图的斜率，确定待测电阻的电阻温度系数。
[0027]第三方面，本申请提供一种可读存储介质，该可读存储介质包括：软件指令；当软件指令在电阻温度系数的获取装置中运行时，使得电阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻温度系数的获取方法，其特征在于，所述方法包括：对待测电阻进行加热或降温；获取所述待测电阻的多组测量数据；每组测量数据均为按照预设周期获取的；所述每组测量数据包括M个温度值和M个电阻值；M为大于或等于2的整数；基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取所述每组测量数据时所述待测电阻是否处于稳定状态；所述电阻参考值为电阻值的自然对数；基于获取的多组稳定数据，确定所述待测电阻的电阻温度系数；所述稳定数据为在所述待测电阻处于所述稳定状态下获取的测量数据。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取所述每组测量数据时所述待测电阻是否处于稳定状态，包括：确定所述M个温度值的标准差；当所述M个温度值的标准差小于第一阈值时，确定所述待测电阻处于所述稳定状态。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取所述每组测量数据时所述待测电阻是否处于稳定状态，包括：根据所述M个电阻值各自的自然对数，确定所述M个电阻参考值；确定所述M个电阻参考值的标准差；当所述M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定所述待测电阻处于所述稳定状态。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于M个温度值的标准差和/或M个电阻参考值的标准差，确定获取所述每组测量数据时所述待测电阻是否处于稳定状态，包括：确定所述M个温度值的标准差；根据所述M个电阻值各自的自然对数，确定M个电阻参考值；确定所述M个电阻参考值的标准差；当所述M个温度值的标准差小于第一阈值，且所述M个电阻参考值的标准差小于第二阈值时，确定所述待测电阻处于所述稳定状态。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的方法，其特征在于，所述多组稳定数据包括第一数据和第二数据；所述第一数据和所述第二数据为所述多组稳定数据中的任意两组不同的稳定数据；所述基于多组稳定数据，确定所述待测电阻的电阻温度系数，包括：根据第一值与第二值之商确定所述待测电阻的电阻温度系数；所述第一值为第一电阻值的对数和第二电阻值的对数之差；所述第一电阻值为所述第一数据中的M个电阻值的平均值；所述第二电阻值为所述第二数据中的M个电阻值的平均值；所述第二值为第一温度值和第二温度值之差；所述第一温度值为所述第一数据中的M个温度值的平均值；所述第二温度值为所述第二数据中的M个温度值的平均值。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一数据、第二数据、以及所述待测电阻的电阻温度系数之间的关系满足下述公式：其中，TCR表示所述待测电阻的电阻温度系数；R
T
表示所述第一电阻值；R
T0
表示所述第
二电阻值；T表示所述第一温度值；T0表示所述第二温度值。7.根据权利要求1
‑
4任一项所述的方法，其特征在于，所述基于多组稳定数据，确定所述待测电阻的电阻温度系数，包括：对所述多组稳定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张焕玲，王保国，刘俊，刘甲林，刘旭峰，丁金玲，
申请(专利权)人：杭州海康微影传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：