一种等离子体参数微波-激光联合实时诊断系统及方法技术方案

本发明专利技术针对于宽电子密度范围(1

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体参数微波
‑
激光联合实时诊断系统及方法


[0001]本专利技术属于等离子体参数诊断或测量
，涉及一种等离子体参数微波
‑
激光联合实时诊断系统，进一步地，涉及采用该系统进行诊断的方法。

技术介绍

[0002]等离子体诊断作为开展等离子体相关实验的基础，目前已发展出许多成熟的理论和方法，根据诊断设备是否深入到等离子体内部，可将诊断方法分为介入式和非介入式两种。介入式方法主要是依靠探针深入到等离子体内部，可获得局部等离子体参数，具有较高的空间分辨率，但会对流场产生扰动，也会对等离子体环境产生污染，且仅适用于温度较低的等离子体(<3000K)。非介入式方法是诊断设备和等离子体不直接接触，而是通过接收等离子体自身辐射的信息，或通过测量电磁波与等离子体的相互作用信息而反推等离子体参数的方法。
[0003]非介入式方法不会对等离子体产生物理扰动，且诊断速度快，方法多样，尤其适合于温度较高的等离子体，因此非介入式方法拥有更广泛的应用范围。常见的非介入式诊断方法有微波法，激光干涉法和光谱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子体参数微波
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激光联合实时诊断系统，其特征在于，包括ICP等离子体发生器(4)，所述ICP等离子体发生器(4)的喷口伸入真空微波暗室(8)中，所述真空微波暗室(8)中设置有远红外激光系统(6)和微波诊断系统(5)；所述远红外激光系统(6)包括激光发射器(6
‑
1)和激光接收器(6
‑
2)，所述激光发射器(6
‑
1)所发射的透射路(6
‑
3)激光通过玻璃窗口能够透过真空微波暗室(8)并透射过等离子体(9)后被激光接收器(6
‑
2)接收；所述微波诊断系统(5)包括通过透镜天线(5
‑
2)发射和接收微波，穿过等离子体(9)，所述透镜天线(5
‑
2)附近设置有热电偶(5
‑
3)。2.如权利要求1所述的一种等离子体参数微波
‑
激光联合实时诊断系统，其特征在于，所述透镜天线(5
‑
2)均与矢量网络分析仪(5
‑
1)连接，所述ICP等离子体发生器(4)还分别连接有ICP电源(2)、供气系统(3)和等离子体控制器(1)。3.如权利要求2所述的一种等离子体参数微波
‑
激光联合实时诊断系统，其特征在于，所述等离子体控制器(1)、热电偶(5
‑
3)和矢量网络分析仪(5
‑
1)均与计算机(7)连接。4.如权利要求1所述的一种等离子体参数微波
‑
激光联合实时诊断系统，其特征在于，远红外激光系统(6)中激光发射器(6
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1)还产生参考路(6
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4)激光，参考路(6
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4)不穿过等离子体并通过反射镜(6
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5)被激光接收器(6
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2)接收。5.如权利要求1所述的一种等离子体参数微波
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激光联合实时诊断系统，其特征在于，微波透射等离子体的路径与激光透射路径相差120mm，激光透射路径更靠近ICP喷口。6.一种等离子体参数微波
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激光联合实时诊断方法，采用如权利要求1～5任一权利要求所述的一种等离子体参数微波
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激光联合实时诊断系统进行诊断，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，检查调试诊断系统设备以保证系统正常工作，对真空微波暗室(8)进行抽真空；步骤2，判断电压区间，4.5
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10.4kV电压区间内利用微波诊断系统(5)采用步骤3的方法进行诊断；10.4
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12kV电压区间内利用...

【专利技术属性】
技术研发人员：包为民，李小平，刘彦明，赵成伟，魏强，夏冬，孙超，刘东林，张佳，邓伟锋，贾静，张天佑，梁鑫，刘康，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：