光滤波器以及波长可变激光元件制造技术

本发明专利技术提供能够监视特性的光滤波器以及波长可变激光元件。光滤波器具备：第一环形镜；第二环形镜；第一波导，其与第一环形镜以及第二环形镜光学耦合；第二波导，其与第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第一接入波导，其与第一波导光学耦合；第二接入波导，其与第二波导光学耦合；以及输出部，第一环形镜具有第一环形波导和第一波分复用器，第二环形镜具有第二环形波导和第二波分复用器，输出部具有第三环形波导、第三波分复用器、第三波导和第四波导，第三环形波导与第二环形波导以及所述第三波分复用器光学耦合，第三波导以及第四波导与第三波分复用器光学耦合。导与第三波分复用器光学耦合。导与第三波分复用器光学耦合。

【技术实现步骤摘要】
光滤波器以及波长可变激光元件


[0001]本公开涉及光滤波器以及波长可变激光元件。

技术介绍

[0002]已知有具有增益部、将光反射的滤波器的波长可变激光元件。通过用滤波器将从增益部射出的光反射，而使其激光振荡。存在利用两个环形谐振器而形成滤波器的技术(例如非专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]非专利文献
[0005]非专利文献1：“High
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Power，Narrow
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Linewidth，Miniaturized Silicon Photonic Tunable Laser With Accurate Frequency Control”Y.Gao et.al.Journal of Lightwave Technology，vol.38，No.2，January 15，2020p265
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技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]在无法监视滤波器的特性的情况下，难以准确地控制滤波器的特性，从而振荡波长变得不稳定。因此，本专利技术的目的在于提供能够监视特性的光滤波器以及波长可变激光元件。
[0008]用于解决问题的手段
[0009]本公开所涉及的光滤波器具备：第一环形镜；第二环形镜；第一波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第二波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第一接入波导，其与所述第一波导光学耦合；第二接入波导，其与所述第二波导光学耦合；以及输出部，所述第一环形镜具有第一环形波导和第一波分复用器，所述第二环形镜具有第二环形波导和第二波分复用器，所述第一环形波导与所述第一波分复用器光学耦合，所述第二环形波导与所述第二波分复用器光学耦合，所述第一波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述第二波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述输出部具有第三环形波导、第三波分复用器、第三波导和第四波导，所述第三环形波导与所述第二环形波导以及所述第三波分复用器光学耦合，所述第三波导以及所述第四波导与所述第三波分复用器光学耦合。
[0010]本公开所涉及的波长可变激光元件具备：增益部，其具有光学增益；上述的光滤波器；以及反射部，其反射光，所述增益部位于所述光滤波器和所述反射部之间，与所述光滤波器的第一接入波导光学耦合。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本公开，能够提供能够监视特性的光滤波器以及波长可变激光元件。
附图说明
[0013]图1是对第一实施方式所涉及的光滤波器进行示例的俯视图。
[0014]图2A是对光滤波器的特性进行示例的图。
[0015]图2B是对光滤波器的特性进行示例的图。
[0016]图3是对耦合系数和光的导出的效率两者的关系进行示例的图。
[0017]图4是对第二实施方式所涉及的波长可变激光元件进行示例的俯视图。
[0018]图5A是沿图4的线A
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A的剖视图。
[0019]图5B是沿图4的线B
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B的剖视图。
[0020]图5C是沿图4的线C
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C的剖视图。
[0021]图6A是对光滤波器的反射特性进行示例的示意图。
[0022]图6B是对光滤波器的反射特性进行示例的示意图。
[0023]图6C是对激光的强度进行示例的示意图。
具体实施方式
[0024][本公开的实施方式的说明][0025]首先，列举本公开的实施方式的内容来进行说明。
[0026]本公开的一方式中，(1)一种光滤波器，所述光滤波器具备：第一环形镜；第二环形镜；第一波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第二波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第一接入波导，其与所述第一波导光学耦合；第二接入波导，其与所述第二波导光学耦合；以及输出部，所述第一环形镜具有第一环形波导和第一波分复用器，所述第二环形镜具有第二环形波导和第二波分复用器，所述第一环形波导与所述第一波分复用器光学耦合，所述第二环形波导与所述第二波分复用器光学耦合，所述第一波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述第二波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述输出部具有第三环形波导、第三波分复用器、第三波导和第四波导，所述第三环形波导与所述第二环形波导以及所述第三波分复用器光学耦合，所述第三波导以及所述第四波导与所述第三波分复用器光学耦合。若向第一接入波导以及第二接入波导射入光，则在第一环形镜以及第二环形镜激励谐振模式。具有谐振波长的光从第二环形波导向输出部的第三环形波导转移。在第三环形波导中传输的光从第三波导以及第四波导射出。从第三波导以及第四波导射出的光在谐振波长具有较高的强度。使用射出光，能够对光滤波器的特性进行监视。
[0027](2)可以是，所述输出部具有第四波分复用器，所述第四波分复用器光耦合于所述第二环形波导以及所述第三环形波导，从所述第三波分复用器至所述第四波分复用器中的、所述第三环形波导的右旋方向的所述第三环形波导的光路长与所述第三环形波导的左旋方向的所述第三环形波导的光路长相等。在第三环形波导中传输的光的相位发生整合。能够使两个谐振模式中的一个从第三波导射出，使另一个从第四波导射出。
[0028](3)可以是，从所述第二波分复用器至所述第四波分复用器中的、所述第二环形波导的右旋方向的所述第二环形波导的光路长与所述第二环形波导的左旋方向的所述第二环形波导的光路长相等。在第三环形波导中传输的光的相位发生整合。能够使两个谐振模式中的一个从第三波导射出，使另一个从第四波导射出。
[0029](4)可以是，所述第一波分复用器的形状是对称的，所述第二波分复用器的形状是对称的，所述第三波分复用器的形状是对称的，所述第一波导的形状和所述第二波导的形状对称。两个谐振模式的谐振波长彼此相等。两个谐振模式的FSR彼此相等。通过测定两个谐振模式中的一个的谐振波长以及FSR，能够对光滤波器的特性进行监视。
[0030](5)可以是，所述第一波导、所述第二波导、所述第三波导、所述第四波导、所述第一环形波导、所述第二环形波导、所述第三环形波导、所述第一接入波导、以及所述第二接入波导由硅形成。能够抑制光的损失。
[0031](6)可以是，所述光滤波器具备相位调整部，该相位调整部设置于所述第一环形波导以及所述第二环形波导中的至少一方，对在所述第一环形波导以及所述第二环形波导中的所述至少一方中传输的光的相位进行调整。通过调整光的相位，能够使光的波长变化。
[0032](7)一种波长可变激光元件，其具备：增益部，其具有光学增益；上述的光滤波器；以及反射部，其反射光，所述增益部位于所述光滤波器和所述反射部之间，与所述光滤波器的第一接入波导光学耦合。增益部的射出光在光滤波器以及反射部被反射。波长可变激光元件发生激光振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光滤波器，其特征在于，所述光滤波器具备：第一环形镜；第二环形镜；第一波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第二波导，其与所述第一环形镜以及所述第二环形镜光学耦合；第一接入波导，其与所述第一波导光学耦合；第二接入波导，其与所述第二波导光学耦合；以及输出部，所述第一环形镜具有第一环形波导和第一波分复用器，所述第二环形镜具有第二环形波导和第二波分复用器，所述第一环形波导与所述第一波分复用器光学耦合，所述第二环形波导与所述第二波分复用器光学耦合，所述第一波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述第二波导与所述第一波分复用器以及所述第二波分复用器光学耦合，所述输出部具有第三环形波导、第三波分复用器、第三波导和第四波导，所述第三环形波导与所述第二环形波导以及所述第三波分复用器光学耦合，所述第三波导以及所述第四波导与所述第三波分复用器光学耦合。2.根据权利要求1所述的光滤波器，其特征在于，所述输出部具有第四波分复用器，所述第四波分复用器光耦合于所述第二环形波导以及所述第三环形波导，从所述第三波分复用器至所述第四波分复用器中的、所述第三环形波导的右旋方向的所述第三环形波导的光路长与所述第三环形波导的左旋方向的所述第三环形波导的光路长相等。3.根据权利要求2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：平谷拓生，藤原直树，齐藤晋圣，藤泽刚，佐藤孝宪，
申请(专利权)人：国立大学法人北海道大学，
类型：发明
国别省市：