一种TMAH废水处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废水处理技术领域，具体涉及一种TMAH废水处理装置，包括以下有连接关系的处理单元：调节池，用于调节TMAH废水PH值；半透膜单元，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；半反渗透膜分离单元，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；离子交换树脂纯化单元，用于纯化TMAH溶液；混凝沉淀生化单元，用于处理回收大分子有机物。本实用新型专利技术能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，避免在系统内停留或循环，对系统运行造成影响，并且不需要引入外部热源，节约了能量。经浓缩后的废水经过特殊的离子交换树脂进行纯化，纯化后TMAH可根据其纯度和含量决定其用途，若能达到电子级则可回生产线进行回用，也可做非电子级TMAH进行使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种TMAH废水处理装置


[0001]本技术涉及废水处理
，具体涉及一种TMAH废水处理装置。

技术介绍

[0002]在有机材料蚀刻中，TMAH(四甲基氢氧化铵)作为显影剂参与蚀刻过程后，TMAH存留在废液中。呈强碱性的废液中含有TMAH、光刻胶等大分子有机物，如果直接排放会污染环境，并且会浪费TMAH。
[0003]为了对TMAH废液处理并回收TMAH，一般采用离子交换法，但不适用于高TMAH含量的废液。对此，公开专利一种TMAH回收利用装置(CN210613390U)介绍了利用蒸发膜将TMAH与水进行分离，对TMAH进行加热蒸发浓缩后回收，将无污染的水排出的方案，从而解决现有的TMAH回收利用工艺不适用于高含量的TMAH废液的问题。
[0004]专利技术人发现，该方案虽然解决了高含量的TMAH废液处理的问题，但其需要进行加热，需要耗费大量的能量，并且需要为此设置热源及多种辅助装置，不利于节约能源，也不便于维护。另外，光刻胶等大分子有机物在该方案中未被分离回收，在系统内停留或循环，会对系统运行造成影响。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术存在的不足，本技术公开了一种TMAH废水处理装置，通过设置特定组成结构的半透膜分离单元，能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，解决光刻胶等大分子有机物在系统内停留或循环造成的问题，并且不需要引入外部热源，降低了消耗。
[0006]本技术通过以下技术方案得以实现：
[0007]一种TMAH废水处理装置，其特征在于，包括：r/>[0008]调节池，用于调节TMAH废液PH值；
[0009]半透膜分离单元，其进水口与所述调节池连接，具有半透膜分离单元浓水出口、半透膜分离单元膜淡水出口，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；
[0010]反渗透膜分离单元，其进水口与所述半透膜分离单元膜淡水出口连接，具有反渗透膜分离单元浓水出口、反渗透膜分离单元膜淡水出口，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；
[0011]离子交换树脂纯化单元，其进口与所述反渗透膜分离单元膜浓水出口连接，具有TMAH溶液出口，用于纯化TMAH溶液；
[0012]混凝沉淀生化单元，其进口与所述半透膜分离单元浓水出口连接，用于处理回收大分子有机物。
[0013]在半透膜分离单元中，TMAH是目标分离物，与TMAH一起分离出来的还有部分出水。对于TMAH来说半透膜分离单元相当于反渗透膜，对于纯水来说，半透膜分离单元相当于透膜。
[0014]进一步的改进，所述半透膜分离单元半透膜采用耐酸、耐碱的纳滤膜，切割分子量
介于400
‑
2000道尔顿。述反渗透膜分离单元采用的反渗透膜的切割分子量小于200道尔顿。
[0015]进一步的改进，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜材质为聚醚砜膜或负荷聚酰胺膜。
[0016]进一步的改进，所述半透膜分离单元或反渗透膜分离单元的膜组装结构为中空纤维式、管式或板式。
[0017]进一步的改进，在所述调节池和所述半透膜分离单元之间设有保安过滤器。
[0018]进一步的改进，所述半透膜分离单元、反渗透膜分离单元、离子交换树脂纯化单元均设有清洗环路。
[0019]本技术的有益效果是：
[0020](1)本技术提供的TMAH废水处理装置能够将光刻胶等大分子有机物从系统中分离，避免在系统内停留或循环，对系统运行造成影响，并且不需要引入外部热源，节约了能量。
[0021](2)经浓缩后的废水经过特殊的离子交换树脂进行纯化，纯化后TMAH可根据其纯度和含量决定其用途，若能达到电子级则可回生产线进行回用，也可做非电子级TMAH进行使用。
附图说明
[0022]图1是本技术装置示意图；
[0023]图2是本技术工作流程图。
[0024]图中：
[0025]1.调节池；
[0026]2.第一提升泵；
[0027]3.保安过滤器；
[0028]4.第一加压泵；
[0029]5.半透膜分离单元；
[0030]6.第二加压泵；
[0031]7.混凝沉淀生化单元；
[0032]8.反渗透膜分离单元；
[0033]9.离子交换树脂纯化单元；
[0034]10.TMAH收集器；
[0035]11.纯水收集器；
[0036]12.清洗泵。
具体实施方式
[0037]以下将配合附图及实施例来详细说明本申请的实施方式，借此对本申请如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。
[0038]如图1
‑
2所示，TMAH废水处理装置，包括：调节池1、半透膜分离单元5、混凝沉淀生化单元7、反渗透膜分离单元8、离子交换树脂纯化单元9。
[0039]调节池1用于调节TMAH废液PH值。半透膜分离单元5的进水口与调节池连接，具有
半透膜分离单元浓水出口、半透膜分离单元膜淡水出口，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物。反渗透膜分离单元8其进水口与半透膜分离单元5膜淡水出口连接，具有反渗透膜分离单元浓水出口、反渗透膜分离单元膜淡水出口，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水。
[0040]离子交换树脂纯化单元9的进口与反渗透膜分离单元8膜浓水出口连接，具有TMAH溶液出口，用于纯化TMAH溶液。
[0041]作为优选，半透膜分离单元5的半透膜采用耐酸、耐碱的纳滤膜，切割分子量介于400
‑
2000道尔顿。反渗透膜分离单元8采用的反渗透膜的切割分子量小于200道尔顿。
[0042]作为优选，半透膜分离单元5或反渗透膜分离单元8的膜材质为聚醚砜膜或负荷聚酰胺膜。
[0043]具体的，半透膜分离单元5或反渗透膜分离单元8的膜组装结构为中空纤维式、管式或板式。
[0044]具体的，在调节池1和半透膜分离单元5之间设有保安过滤器3。半透膜分离单元5、反渗透膜分离单元8、离子交换树脂纯化单元9均设有清洗环路。图中半透膜分离单元5到离子交换树脂纯化单元9之间省略了部分提升泵和加压泵。
[0045]工作工程：TMAH废水进入TMAH调节池1调节酸碱度到合适值，由第一提升泵2提升，经保安过滤器3过滤大颗粒杂质后，经第一加压泵4进入半透膜分离单元5。半透膜分离单元5将TMAH废水分离，膜浓水含光刻胶等大分子有机会，膜出水含TMAH及水。
[0046]半透膜分离单元5的膜出水进入反渗透膜分离单元8，反渗透膜分离单元8的膜出水为纯水，进入纯水收集器11，回收纯水。反渗透膜分离单元8的膜浓水含TMAH，进入离子交换树脂纯化单元，清除重金属离子，得到TMAH的浓液，回收TMAH到TMAH收集器10。回收TMAH的浓液后的少量废液进入混凝沉淀生化单元7。
[0047]半透膜分离单元5的膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TMAH废水处理装置，其特征在于，包括：调节池，用于调节TMAH废液PH值；半透膜分离单元，其进水口与所述调节池连接，具有半透膜分离单元浓水出口、半透膜分离单元膜淡水出口，用于过滤TMAH废水中的光刻胶及其他大分子有机物；反渗透膜分离单元，其进水口与所述半透膜分离单元膜淡水出口连接，具有反渗透膜分离单元浓水出口、反渗透膜分离单元膜淡水出口，用于浓缩TMAH溶液，产生纯水；离子交换树脂纯化单元，其进口与所述反渗透膜分离单元膜浓水出口连接，具有TMAH溶液出口，用于纯化TMAH溶液；混凝沉淀生化单元，其进口与所述半透膜分离单元浓水出口连接，用于处理回收大分子有机物。2.如权利要求1所述的TMAH废水处理装置，其特征在于，所述半透膜分离单元半透膜采用耐酸、耐碱的纳滤膜，切割分子量介于4...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹晨雷，郭石璧，
申请(专利权)人：杭州胜澜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：