一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，涉及光学薄膜技术领域。其包括步骤：制备Si膜层和SiO2膜层，获取所述膜层的第一光学厚度，进行退火处理；获取经退火处理后的Si膜层和SiO2膜层的光学常数及第二光学厚度；根据所述光学常数，计算滤光片的膜系；根据光学厚度的变化量，计算所述滤光片的修正监控膜系；在修正监控膜系的光学监控下制备所述滤光片，并进行退火处理，制得近红外滤光片。本发明专利技术提供的一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，其制备的近红外滤光片具有高透过率和高环境稳定性等优点。光片具有高透过率和高环境稳定性等优点。光片具有高透过率和高环境稳定性等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法


[0001]本专利技术涉及光学薄膜
，尤其涉及一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法。

技术介绍

[0002]在空间遥感领域，近红外波段(0.78～2.5μm)因诸多被探测目标在此区域具有独特的光谱特性，而受到了广泛关注，并成为遥感仪器重要的工作波段。Si/SiO2多谐振腔结构近红外滤光片因膜层材料折射率比值大，在近红外区域，特别是波长小于1.8μm的红外波段，具有不可比拟的优势。中长波红外区域常用的高折射率材料如锗(Ge)、碲化铅(PbTe)等在此波段存在明显吸收。可见光波段常用的高折射率材料如氧化钽(Ta2O5)、氧化铌(Nb2O5)等虽然在该波段可以使用，但由于其折射率偏低导致滤光片膜层数量多，产品镀制时间长，且可见光波段的带外抑制很难处理。相比于可见光波段常用的氧化物材料，Si/SiO2多谐振腔结构滤光片具有更简单的膜系结构，膜层数量少；具有更薄的膜层厚度，膜层应力小，薄膜器件可靠性高；具有更强的抗角漂能力；具有更宽的光谱截止带，同时可见光波段带外抑制更易处理。因此，这些独特优势本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，所述近红外滤光片膜系结构为Si/SiO2多谐振腔的法布里
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珀罗带通结构，其特征在于包括以下步骤：1)分别制备Si膜层和SiO2膜层，获取所述Si膜层和SiO2膜层的第一光学厚度，进行退火处理；2)采用透过率光谱包络法获取经退火处理后的所述Si膜层和SiO2膜层的光学常数及第二光学厚度；3)根据所述光学常数，计算滤光片的膜系；4)根据所述第二光学厚度与所述第一光学厚度的变化量，计算所述滤光片的修正监控膜系；5)在所述修正监控膜系的光学监控下制备所述滤光片，并进行退火处理，制得近红外滤光片。2.根据权利要求1所述的用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，其特征在于，在步骤1)中，采用在真空环境下电子束蒸发工艺制备所述Si膜层和SiO2膜层。3.根据权利要求1或2所述的用于空间遥感系统的近红外滤光片的制作方法，其特征在于，在步骤1)中所述退火处理的方法为：在真空环境或保护气体氛围下，将膜层加热到300～400℃...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘保剑，段微波，郑玉祥，李大琪，余德明，蔡清元，刘定权，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：