一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，包括：电子枪筒，所述电子枪筒一侧安装有枪罩，所述电子枪筒内固定安装有绝缘体本体，所述电子枪筒远离枪罩的一端固定安装有阳极，所述电子枪筒内设置有冷阴极，所述枪罩上固定安装有弹簧状冷水管，所述绝缘体本体外表面固定安装有环形安装套，所述绝缘体本体直径与电子枪筒内腔直径相同，所述绝缘体本体为高密度陶瓷材料烧制。本实用新型专利技术的绝缘体本体由高密度陶瓷材料烧制，使得电子枪在长时间使用后，绝缘体本体不会发生变形，解决了传统的气体放电电子枪使用高分子材料材质的绝缘体在长时间使用后发生变形，导致密封性能下降，电子枪真空度得不到保证，使枪体报废的问题。使枪体报废的问题。使枪体报废的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体


[0001]本技术涉及气体放电电子枪
，具体为一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体。

技术介绍

[0002]电子枪是加速电子轰击靶材的一种装置，它发射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的电子束，该电子束通过电子光路系统的聚焦、偏转和扫描后形成预先设定的图形。大功率的电子枪多用于熔炼设备，主要用于W、Mo、Ta、Nb等难熔金属以及光伏产业的多晶硅除磷的提纯中，电子束加工技术已经广泛应用于航空航天、兵器、汽车及其它民用工业领域。电子束加工设备的关键技术之一是电子枪的设计制造技术。根据电子产生的方式的差异，电子枪可分为热阴极电子枪和冷阴极电子枪。
[0003]电子枪通过直接或间接加热钨灯丝的方式产生电子，灯丝通常是钨基材料，需要加热到较高温度才能发射电子。为避免灯丝的损耗，电子枪产生电子的束源段都需要有较高的真空度，目前，现有的电子枪阴阳极的绝缘材料通常采用高分子材料制作，而高分子材料在长时间使用后会发生变形，导致密封性能下降，电子枪真空度得不到保证，容易使枪体报废。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，包括：
[0006]电子枪筒，所述电子枪筒一侧安装有枪罩，所述电子枪筒内固定安装有绝缘体本体，所述电子枪筒远离枪罩的一端固定安装有阳极，所述电子枪筒内设置有冷阴极，所述枪罩上固定安装有弹簧状冷水管。
[0007]优选的，所述绝缘体本体外表面固定安装有环形安装套，所述绝缘体本体直径与电子枪筒内腔直径相同。
[0008]优选的，所述绝缘体本体为高密度陶瓷材料烧制，所述绝缘体本体靠近阳极的一端开设有安装腔，所述安装腔内设置有安装座，所述冷阴极套设在安装座上。
[0009]优选的，所述安装腔内设置有导电法兰，所述导电法兰安装在冷阴极上。
[0010]优选的，所述绝缘体本体靠近枪罩的一侧开设有冷却腔，所述弹簧状冷水管设置在冷却腔内。
[0011]优选的，所述绝缘体本体上开设有通槽，所述通槽连通冷却腔和安装腔。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术的绝缘体本体由高密度陶瓷材料烧制，使得电子枪在长时间使用后，绝缘体本体不会发生变形，解决了传统的气体放电电子枪使用高分子材料材质的绝缘
体在长时间使用后发生变形，导致密封性能下降，电子枪真空度得不到保证，使枪体报废的问题；
[0014]2、本技术绝缘体本体通过设置的环形安装套安装在电子枪筒，枪罩通过螺栓与电子枪筒固定连接，从而将环形安装套夹持住，实现便于将绝缘体本体固定在电子枪筒内的效果。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体的绝缘体本体立体结构示意图；
[0016]图2为本技术提出的一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体中的电子枪筒与绝缘体本体连接的剖面正视结构图；
[0017]图3为本技术提出的一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体中的绝缘体本体的侧视结构图。
[0018]图中：1、绝缘体本体；2、环形安装套；3、电子枪筒；4、枪罩；5、冷却腔；6、阳极；7、安装腔；8、安装座；9、冷阴极；10、弹簧状冷水管；11、通槽；12、导电法兰。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，包括：
[0021]电子枪筒3，所述电子枪筒3一侧安装有枪罩4，所述电子枪筒3内固定安装有绝缘体本体1，所述电子枪筒3远离枪罩4的一端固定安装有阳极6，所述电子枪筒3内设置有冷阴极9，所述枪罩4上固定安装有弹簧状冷水管10。
[0022]所述绝缘体本体1外表面固定安装有环形安装套2，环形安装套2用于将绝缘体本体1固定安装在电子枪筒3上，所述绝缘体本体1直径与电子枪筒3内腔直径相同。
[0023]所述绝缘体本体1为高密度陶瓷材料烧制，所述绝缘体本体1靠近阳极6的一端开设有安装腔7，安装腔7用于安装冷阴极9，所述安装腔7内设置有安装座8，所述冷阴极9套设在安装座8上。
[0024]所述安装腔7内设置有导电法兰12，所述导电法兰12安装在冷阴极9上。
[0025]所述绝缘体本体1靠近枪罩4的一侧开设有冷却腔5，所述弹簧状冷水管10设置在冷却腔5内，弹簧状冷水管10用于带走冷阴极9的热量。
[0026]所述绝缘体本体1上开设有通槽11，所述通槽11连通冷却腔5和安装腔7。
[0027]工作原理：该技术在使用时，绝缘体本体1通过设置的环形安装套2安装在电子枪筒3，枪罩4通过螺栓与电子枪筒3固定连接，从而将环形安装套2夹持住，实现将绝缘体本体1固定在电子枪筒3内的效果，绝缘体本体1由高密度陶瓷材料烧制，使得电子枪在长时间使用后，绝缘体本体1不会发生变形，解决了传统的气体放电电子枪使用高分子材料材质
的绝缘体在长时间使用后发生变形，导致密封性能下降，电子枪真空度得不到保证，使枪体报废的问题。
[0028]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0029]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，其特征在于，包括：电子枪筒(3)，所述电子枪筒(3)一侧安装有枪罩(4)，所述电子枪筒(3)内固定安装有绝缘体本体(1)，所述电子枪筒(3)远离枪罩(4)的一端固定安装有阳极(6)，所述电子枪筒(3)内设置有冷阴极(9)，所述枪罩(4)上固定安装有弹簧状冷水管(10)。2.根据权利要求1所述的一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，其特征在于：所述绝缘体本体(1)外表面固定安装有环形安装套(2)，所述绝缘体本体(1)直径与电子枪筒(3)内腔直径相同。3.根据权利要求1所述的一种气体放电电子枪用陶瓷绝缘体，其特征在于：所述绝缘体本体(1)为高密度陶瓷材料烧制，所述绝缘体本体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马华，李银龙，
申请(专利权)人：唐山智通仪表技术有限公司，
类型：新型
国别省市：