一种高矫顽力软硬磁复合铁氧体薄膜材料及其制备方法技术

一种高矫顽力高剩磁比复合铁氧体薄膜材料的制备方法，包括以下步骤：(1)制备BaFe9Al3O

【技术实现步骤摘要】
一种高矫顽力软硬磁复合铁氧体薄膜材料及其制备方法


[0001]本技术属于铁氧体材料制备
，特别涉及一种高矫顽力软硬磁复合铁氧体薄膜材料及其制备方法。

技术介绍

[0002]微波铁氧体器件是微波/毫米波电子设备和系统中不可缺少的基础性元器件，主要包括环行器、隔离器、移相器等。这些器件在军用雷达、导弹、军用通信设备、电子对抗、航空、航天等系统中具有重要用途，而且还在民用通信、医疗卫生等诸多领域有着广泛的应用。
[0003]随着雷达电子和无线技术的发展，包括环行器、移相器和滤波器在内的下一代磁性微波器件将是平面的、自偏置的和低损耗的。为了满足环行器小型化、自偏置和毫米波应用频率的需求，在制作环行器的材料方面，人们开始研究具有永磁特性(提供自偏置)的M型铁氧体。六角钡铁氧体(BaFe
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O
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,BaM)薄膜具有高饱和磁化强度和矫顽力、大的单轴晶磁各向异性场和合适的铁磁共振线宽(FMR)等优点，被认为是一种理想的自偏置微波器件材料。它由四层结构组成，其中包括两个尖晶石结构，两个氧层和两个六角形结构，三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高矫顽力软硬磁复合铁氧体薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1制作靶材：以BaCO3、Fe2O3、Al2O3为原料，按照分子式BaFe9Al3O
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中Ba、Fe、Al三种元素的物质的量比，计算出所述原料中，所述BaCO3、Fe2O3、Al2O3的质量百分比；以原料、球磨机锆球及酒精的总质量计，按25％原料、45％球磨机锆球及30％酒精的质量百分比配比，将原料与酒精置于球磨罐中进行第一次球磨，得到浆料一；对所述浆料一进行烘干，研磨，得到料粉一，将所述料粉一置于马弗炉中预烧，升温速率为4℃/min，在1000℃下预烧3小时；将预烧的产物研磨后，按25％原料、45％球磨机锆球及30％酒精的质量百分比配比，将原料与酒精置于球磨罐中进行第二次球磨，得到浆料二；将浆料二烘干研磨后，得到料粉二；将聚乙烯醇的质量浓度为8％的聚乙烯醇溶液作为粘合剂掺入料粉二中，掺入的粘合剂的质量为所述料粉二质量的5～10％，在研钵中混合均匀，得到料粉三；将料粉三置于模具中，压制得到生坯；将生胚置于马弗炉中进行排胶，得到排胶后的生坯；将排胶后的生坯置于马弗炉中，升温至1300～1350℃，保持3h后，以4℃/min降温至800℃，再以自然降温至室温，得到BaFe9Al3O
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靶材；S2清洗基片：使用丙酮溶液、无水乙醇、去离子水分别对Al2O3(000l)基底进行超声清洗，得到基片；S3沉积薄膜：设置所述步骤S1中得到的靶材与所述步骤S2中得到的基片的距离为45mm，将溅射腔内气压抽到低于1
×
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‑4Pa，再将所述基片加热至400～600℃，激光频率设置为5Hz、激光强度设置为350mJ，保持溅射腔室内气压为1
×
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‑3Pa～5
×
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‑3Pa下，沉积一层厚度为500～1000nm的非晶BaFe9Al3O
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑辉，谢斌，郑鹏，郑梁，张阳，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：