一种高密封性能真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高密封性能真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型专利技术包括底座和真空罩，真空罩内部包括内仓，内仓内部固定安装有电机，电机一端连接有电机轴，电机轴一端固定连接有第二夹持板，第二夹持板下表面固定连接有若干伸缩筒，伸缩筒内部开设有伸缩腔。本实用新型专利技术通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴，在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间，由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定，并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机，电机带动工件匀速转动，能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。提高了镀膜的密封性。提高了镀膜的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种高密封性能真空镀膜机


[0001]本技术属于真空镀膜
，特别是涉及一种高密封性能真空镀膜机。

技术介绍

[0002]在使用真空镀膜对工件表面进行镀膜时，传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，在加热形成镀膜的过程中，对于一些异形工件其表面会有部分位置无法充分接触，进而导致镀膜密封性较差，为解决上述问题现设计一种高密封性能真空镀膜机能有效的解决传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，对于一些异形工件无法使其充分与蒸发沉淀镀膜接触，进而导致镀膜密封性较差的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种高密封性能真空镀膜机解决传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，对于一些异形工件无法使其充分与蒸发沉淀镀膜接触，进而导致镀膜密封性较差的问题：
[0004]本技术为一种高密封性能真空镀膜机，包括底座和真空罩，所述真空罩固定安装在底座的上表面；
[0005]所述真空罩内部包括内仓，所述内仓内部固定安装有电机，所述电机一端连接有电机轴，所述电机轴一端固定连接有第二夹持板，所述第二夹持板下表面固定连接有若干伸缩筒，所述伸缩筒内部开设有伸缩腔，所述伸缩腔内部安装有牵拉弹簧，所述牵拉弹簧一端设置有伸缩柱，所述伸缩柱与伸缩筒滑动配合，所述伸缩柱一端固定连接有第一夹持板，所述第一夹持板与第二夹持板之间放置有工件，通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴，在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间，由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定，并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机，电机带动工件匀速转动，能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
[0006]进一步地，所述真空罩上表面设置有出气阀，所述出气阀一端穿过内仓与真空罩内部相连通。
[0007]进一步地，所述底座内部设置有真空泵，所述真空泵一端连接有抽气管，所述抽气管一端与真空罩内部相连通。
[0008]进一步地，所述真空罩内部安装有坩埚蒸发源，所述坩埚蒸发源一端位于工件的下方。
[0009]进一步地，所述坩埚蒸发源下表面设置有输出腔，所述输出腔一端连接有坩埚蒸发装置，所述坩埚蒸发装置安装在底座的内部。
[0010]进一步地，所述底座上表面设置有操控装置，所述操控装置与坩埚蒸发装置电性连接，所述真空罩一表面设置有密封门。
[0011]本技术具有以下有益效果：
[0012]1、本技术通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴，在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间，由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定，并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机，电机带动工件匀速转动，能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
[0013]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术左视立体结构示意图；
[0016]图2为本技术前视图；
[0017]图3为本技术右视立体结构示意图；
[0018]图4为本技术俯视图；
[0019]图5为本技术真空罩内部结构示意图。
[0020]附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、真空罩；2、出气阀；3、密封门；4、底座；5、操控装置；6、电机；7、抽气管；8、电机轴；9、工件；10、第二夹持板；11、真空泵；12、输出腔；13、坩埚蒸发装置；14、坩埚蒸发源；15、伸缩柱；16、牵拉弹簧；17、伸缩筒；18、第一夹持板；19、内仓。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“下”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]请参阅图1
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图5所示，本技术为一种高密封性能真空镀膜机，包括底座4和真空罩1，真空罩1固定安装在底座4的上表面；
[0024]真空罩1内部包括内仓19，内仓19内部固定安装有电机6，电机6一端连接有电机轴8，电机轴8一端固定连接有第二夹持板10，第二夹持板10下表面固定连接有若干伸缩筒17，伸缩筒17内部开设有伸缩腔，伸缩腔内部安装有牵拉弹簧16，牵拉弹簧16一端设置有伸缩柱15，伸缩柱15与伸缩筒17滑动配合，伸缩柱15一端固定连接有第一夹持板18，第一夹持板18与第二夹持板10之间放置有工件9，通过设置带有第一夹持板18与第二夹持板10的电机
轴8，在使用时可将待镀膜的工件9放置在第一夹持板18与第二夹持板10之间，由于牵拉弹簧16的回拉力可使得第一夹持板18与第二夹持板10配合将工件9夹持固定，并且在启动真空泵11以及坩埚蒸发装置13进行蒸发镀膜的同时可启动电机6，电机6带动工件9匀速转动，能够保证工件9与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
[0025]真空罩1上表面设置有出气阀2，出气阀2一端穿过内仓19与真空罩1内部相连通。
[0026]底座4内部设置有真空泵11，真空泵11一端连接有抽气管7，抽气管7一端与真空罩1内部相连通。
[0027]真空罩1内部安装有坩埚蒸发源14，坩埚蒸发源14一端位于工件9的下方。
[0028]坩埚蒸发源14下表面设置有输出腔12，输出腔12一端连接有坩埚蒸发装置13，坩埚蒸发装置13安装在底座4的内部。
[0029]底座4上表面设置有操控装置5，操控装置5与坩埚蒸发装置13电性连接，真空罩1一表面设置有密封门3。
[0030]实施例一：
[0031]本实施例的一个具体应用为：本装置在使用时可将待镀膜的工件9放置在第一夹持板18与第二夹持板10之间，由于牵拉弹簧16的回拉力可使得第一夹持板18与第二夹持板10配合将工件9夹持固定，并且在启动真空泵11以及坩埚蒸发装置13进行蒸发镀膜的同时可启动电机6，电机6带动工件9匀速转动，能够保证工件9与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密封性能真空镀膜机，包括底座(4)和真空罩(1)，其特征在于，所述真空罩(1)固定安装在底座(4)的上表面；所述真空罩(1)内部包括内仓(19)，所述内仓(19)内部固定安装有电机(6)，所述电机(6)一端连接有电机轴(8)，所述电机轴(8)一端固定连接有第二夹持板(10)，所述第二夹持板(10)下表面固定连接有若干伸缩筒(17)，所述伸缩筒(17)内部开设有伸缩腔，所述伸缩腔内部安装有牵拉弹簧(16)，所述牵拉弹簧(16)一端设置有伸缩柱(15)，所述伸缩柱(15)与伸缩筒(17)滑动配合，所述伸缩柱(15)一端固定连接有第一夹持板(18)，所述第一夹持板(18)与第二夹持板(10)之间放置有工件(9)。2.根据权利要求1所述的一种高密封性能真空镀膜机，其特征在于：所述真空罩(1)上表面设置有出气阀(2)，所述出气阀(2)一端穿过内仓(19)与真空罩(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄忠燕，
申请(专利权)人：黄忠燕，
类型：新型
国别省市：