半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法制造方法及图纸

技术编号:36829619 阅读:18 留言:0更新日期:2023-03-12 01:44
本发明专利技术公开了一种半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法,其中上下料装置包括料框上料架,用于装载盛放制品的料框;缓存检测架,用于存放制品以备检测;移载机构,包括能升降、平移动作的侧插板,侧插板用于承托制品的底部,并将料框上料架处料框中的待检测制品转移至缓存检测架中。上述半导体X射线检测设备自动上下料装置实现了检测过程中单个料框的使用,省去了大量料框的替换操作,保证作业过程中料框与制品对应统一,避免发生乱料现象,降低了人工劳动成本,提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法


[0001]本专利技术涉及半导体制品缺陷检测
,尤其涉及一种半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法。

技术介绍

[0002]随着科技的发展,工业领域不断在进步,在半导体行业中,X射线、AOI(自动光学检测)的应用已非常普遍,涉及到半导体外观缺陷、尺寸大小、焊点质量、弯曲度等内外缺陷的检测。
[0003]传统应用于半导体Frame行业的检测设备,通常通过两组料框实现:由一组料框实现上料、另一组料框实现下料,检测完成后通常需要重新绑定料框ID;亦或者由人工将Frame手动更换到专用的检测料框中,检测完成后再手动取回。
[0004]上述过程要求人员需要具备一定的操作基础,每次作业中大量料框的替换耗时耗力,无法保证作业过程中料框的统一,容易发生乱料等问题,且批量检测时,人员劳动强度大,工作效率低。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法,实现制品于料框中直接上料且不更换料框下料,从而由单一料框完成检测,省去人工操作,提高检测效率。
[0006]为达上述目的,一方面,本专利技术采用以下技术方案:
[0007]一种半导体X射线检测设备自动上下料装置,其包括:
[0008]料框上料架,用于装载盛放制品的料框;
[0009]缓存检测架,用于存放制品以备检测;
[0010]移载机构,包括能升降、平移动作的侧插板,侧插板用于承托制品的底部,并将料框上料架处料框中的待检测制品转移至缓存检测架中。
[0011]特别地,料框上料架上设置有料框放置腔,料框放置腔的上端开口,且上端口处设置有限位导向板,限位导向板的位置可调,从而与制品尺寸匹配。
[0012]特别地,料框采用侧插方式放入料框放置腔中,料框上料架上设置有对料框放置后进行限位的止位块。
[0013]特别地,料框放置腔的一侧设置有到位感应器和扫码枪,扫码枪用于对料框上的二维码进行扫描读取料框信息。
[0014]特别地,还包括顶料机构,用于将料框中的制品顶升至侧插板方便对接的位置,顶料机构包括位于料框上料架一侧的支撑架,支撑架上设置有竖向排布的导向光杆和旋转丝杆,导向光杆上滑动设置有由旋转丝杆驱动的升降座,升降座上竖立有顶杆,顶杆的端部设置有顶块,顶块自料框放置腔的底端穿入,从而将料框中的制品顶起。
[0015]特别地,侧插板的端部设置有栅格齿,顶块设置为避让栅格齿插入的山字形。
[0016]特别地,料框上料架的上端口处设置有第一料位传感器,用于下料时当第一料位传感器检测到制品时,顶块下降存料。
[0017]特别地,缓存检测架包括若干个竖向导条,各个竖向导条的间距可调,实现长度、宽度方向的调整,以围成与制品尺寸匹配的存料腔,存料腔的底部由侧插板承托,存料腔的顶部供检测设备取放制品,缓存检测架的上端口处设置有第二料位传感器,当第二料位传感器检测到制品时,侧插板停止向上托料。
[0018]特别地,移载机构还包括位于料框上料架一侧的固定竖板,固定竖板上设置有由十字型直线模组驱动的移动座,缓存检测架安装于移动座上,移动座上且位于缓存检测架的一侧设置有竖向直线模组,侧插板安装于竖向直线模组的滑台上,并能朝着缓存检测架横向进给。
[0019]另一方面,本专利技术采用以下技术方案:
[0020]一种上下料方法,基于上述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,具体是,将盛放制品的料框整体放置于料框上料架上,通过移载机构将料框中的待检测制品转移至缓存检测架中,由检测设备从缓存检测架中拾取制品检测,再将检测后的制品转移回料框中,实现采用单一料框完成检测。
[0021]综上,本专利技术的有益效果为,与现有技术相比,所述半导体X射线检测设备自动上下料装置及上下料方法实现了检测过程中单个料框的使用,省去了大量料框的替换操作,保证作业过程中料框与制品对应统一,避免发生乱料现象,降低了人工劳动成本,提高了工作效率。
附图说明
[0022]图1是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置的整体结构示意图一;
[0023]图2是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置的整体结构示意图二;
[0024]图3是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置中料框上料架与顶料机构的结构示意图;
[0025]图4是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置中缓存检测架与移载机构的结构示意图;
[0026]图5是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置中顶料机构于顶升状态下的示意图;
[0027]图6是本专利技术实施例提供的半导体X射线检测设备自动上下料装置中移载机构将制品从料框上料架转移至缓存检测架的示意图。
[0028]图中:
[0029]1‑
料框上料架;11

料框放置腔;12

限位导向板;13

止位块;14

到位感应器;15

扫码枪;16

第一料位传感器;
[0030]2‑
缓存检测架;21

竖向导条;22

存料腔;23

第二料位传感器;
[0031]3‑
移载机构;31

固定竖板;32

十字型直线模组;33

移动座;34

竖向直线模组;35

侧插板;36

栅格齿;
[0032]4‑
顶料机构;41

支撑架;42

导向光杆;43

旋转丝杆;44

升降座;45

顶杆;46

顶块;
[0033]5‑
料框。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本专利技术的实施例,实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的零部件或具有相同或类似功能的零部件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本专利技术,而不能理解为对本专利技术的限制。
[0035]在本专利技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,可以是机械连接,也可以是电连接,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0036]在本专利技术的描述中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触,也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于,包括料框上料架,用于装载盛放制品的料框;缓存检测架,用于存放制品以备检测;移载机构,包括能升降、平移动作的侧插板,所述侧插板用于承托制品的底部,并将所述料框上料架处料框中的待检测制品转移至所述缓存检测架中。2.根据权利要求1所述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于:所述料框上料架上设置有料框放置腔,所述料框放置腔的上端开口,且上端口处设置有限位导向板,所述限位导向板的位置可调,从而与制品尺寸匹配。3.根据权利要求2所述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于:所述料框采用侧插方式放入所述料框放置腔中,所述料框上料架上设置有对料框放置后进行限位的止位块。4.根据权利要求2所述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于:所述料框放置腔的一侧设置有到位感应器和扫码枪,所述扫码枪用于对料框上的二维码进行扫描读取料框信息。5.根据权利要求2所述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于:还包括顶料机构,用于将所述料框中的制品顶升至所述侧插板方便对接的位置,所述顶料机构包括位于所述料框上料架一侧的支撑架,所述支撑架上设置有竖向排布的导向光杆和旋转丝杆,所述导向光杆上滑动设置有由所述旋转丝杆驱动的升降座,所述升降座上竖立有顶杆,所述顶杆的端部设置有顶块,所述顶块自所述料框放置腔的底端穿入,从而将料框中的制品顶起。6.根据权利要求5所述的半导体X射线检测设备自动上下料装置,其特征在于:所述侧插板...

【专利技术属性】
技术研发人员:高曾彬陶桔刘永杰周立
申请(专利权)人:无锡日联科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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