一种自动化晶粒载板取放承载转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，包括直线模组及搬移组件，直线模组沿直线方向水平设置；搬移组件可滑动地设置在直线模组上；直线模组驱动搬移组件沿直线方向在储板机构及用板机构之间来回直线运动；搬移组件包括滑入槽及夹板部件，滑入槽包括两条，两条滑入槽平行间隔设置；夹板部件设置于两条滑入槽之间，并沿滑入槽方向来回直线运动，夹板部件夹紧载板，并带动载板直线运动，使载板两侧分别滑入两条滑入槽内，载板经滑入槽限位承载固定。本实用新型专利技术集成有整体直线运动、自动旋转及直线驱动夹板功能，具备载板搬移过程中的承载导向及吸附固定功能，有效地提升载板取放转移效率，且保证载板转移过程中位置稳定性和准确度。置稳定性和准确度。置稳定性和准确度。

【技术实现步骤摘要】
一种自动化晶粒载板取放承载转移装置


[0001]本技术涉及半导体制造设备领域，特别指一种自动化晶粒载板取放承载转移装置。

技术介绍

[0002]在显示
，目前已经量产的微型显示技术包括基于水晶玻璃的HTPS TFT LCD、基于硅晶圆的DLP等。由于OLED技术有发光效率、操作温度范围以及寿命等限制缺陷，从长远来看，无机的Micro LED将是未来微型显示的技术主流。随着传统平面显示技术与应用逐渐进入成熟期，未来显示应用发展将迈向穿戴或虚拟实境与扩增实境等领域，因对比值、面板精度及省电等因素影响，基于晶圆制程的微型显示技术更加适用于新兴应用。在晶圆上制作Micro LED阵列技术上已成熟，因此采用该技术的微型显示器有望投入量产，但是将此类技术向一般平板显示应用扩展时，晶粒巨量转移效率成为最大的技术瓶颈。如何有效地将LED晶粒转移到玻璃或塑胶基板上成为Micro LED技术大规模发展推广的关键因素。
[0003]在进行晶粒转移自动化设备（产线）研发过程中，需要通过载板装载晶粒以适应自动化生产过程中的物料搬移中转及上下料，通过单块载板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，其特征在于：包括直线模组（31）及搬移组件（32），其中，上述直线模组（31）沿直线方向水平设置；上述搬移组件（32）可滑动地设置在直线模组（31）上，并与直线模组（31）的输出端连接；直线模组（31）驱动搬移组件（32）沿直线方向在储板机构及用板机构之间来回直线运动；上述搬移组件（32）包括滑入槽（D）及夹板部件，所述滑入槽（D）包括两条，两条滑入槽（D）平行间隔设置；上述夹板部件设置于两条滑入槽（D）之间，并沿滑入槽（D）方向来回直线运动，夹板部件夹紧载板，并带动载板（0）直线运动，使载板（0）两侧分别滑入两条滑入槽（D）内，载板（0）经滑入槽（D）限位承载固定。2.根据权利要求1所述的一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，其特征在于：所述搬移组件（32）还包括旋转部件、搬移支座（324）及载板限位支撑部件，其中，上述旋转部件水平设置，旋转部件的输出端朝上设置；上述搬移支座（324）水平设置在旋转部件的输出端上，经旋转部件驱动而在水平面内旋转运动。3.根据权利要求2所述的一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，其特征在于：所述旋转部件包括搬移底座（321）、搬移旋转气缸（322）及搬移旋转支柱（323），其中，上述搬移底座（321）水平设置；上述搬移旋转气缸（322）设置在搬移底座（321）上，且输出端朝上设置；上述搬移旋转支柱（323）竖直设置并与搬移旋转气缸（322）的输出端连接，经搬移旋转气缸（322）驱动而旋转运动；上述搬移支座（324）水平设置在搬移旋转支柱（323）上。4.根据权利要求2所述的一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，其特征在于：所述载板限位支撑部件包括两套，两套载板限位支撑部件分别设置于搬移支座（324）的两侧，载板限位支撑部件包括滑入槽（D），滑入槽（D）的一端开口，另一端封合，载板（0）经滑入槽（D）一端水平滑入，经滑入槽（D）限位支撑；上述夹板部件移动至滑入槽（D）一端外部后夹紧载板（0），并带动载板（0）向滑入槽（D）另一端方向运动，使载板（0）水平滑入滑入槽（D）内。5.根据权利要求4所述的一种自动化晶粒载板取放承载转移装置，其特征在于：所述载板限位支撑部件包括载板支撑座（325）、载板限位板（326）、载板挡块（327）及真空接头（328），其中，上述载板支撑座（325）沿搬移支座（324）的侧边方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑灿升，王勇，管宏明，韩飞，
申请(专利权)人：深圳市优界科技有限公司，
类型：新型
国别省市：