弹性波装置制造方法及图纸

提供一种弹性波装置，难以产生Q特性的劣化。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)，IDT电极(7)具有第一电极指和第二电极指沿着弹性波传播方向重合的交叉区域，交叉区域具有中央区域以及中央区域的第一电极指和第二电极指的延伸方向的两个外侧的第一低声速区域和第二低声速区域，第一汇流条(11)和第二汇流条(12)具有多个开口(11a、12a)，位于开口(11a、12a)的一侧的内侧汇流条部(11b、12b)与位于另一侧的外侧汇流条部(11c、12c)通过多个连结部(11d、12d)而连结，多个连结部(11d、12d)中的至少一个连结部是宽度比剩余的连结部(11d、12d)大的宽幅连结部(11d1、12d1)。12d1)。12d1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及具有第一汇流条和第二汇流条且在第一汇流条和第二汇流条内设置有多个开口的弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，为了抑制横模纹波，已知有利用了活塞模式的弹性波装置。例如在下述的专利文献1中，在IDT电极的交叉区域中设置有中央区域和设置于中央区域的两侧的低声速区域。而且，在汇流条中，沿着传播方向设置有多个开口。汇流条中的开口的交叉区域侧的部分成为内侧汇流条部，与交叉区域相反的外侧部分成为外侧汇流条部。内侧汇流条部与外侧汇流条部通过多个细的连结部而连接。由此，设置有开口的部分与内侧汇流条部一起成为高声速区域。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2018
‑
174595号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1所记载的弹性波装置中，内侧汇流条部与外侧汇流条部通过多个细的连结部而连接。因此，存在Q特性劣化这样的问题。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：压电性基板；以及IDT电极，其设置在所述压电性基板上，所述IDT电极具有相互对置的第一汇流条及第二汇流条、从所述第一汇流条向所述第二汇流条侧延伸的多根第一电极指以及从所述第二汇流条向所述第一汇流条侧延伸的多根第二电极指，所述第一电极指与所述第二电极指在弹性波传播方向上重合的交叉区域具有位于所述第一电极指及所述第二电极指的延伸方向中央的中央区域以及配置在所述中央区域的所述第一电极指及所述第二电极指的延伸方向的两个外侧的第一低声速区域及第二低声速区域，所述第一低声速区域及所述第二低声速区域的声速比所述中央区域的声速低，所述第一汇流条及所述第二汇流条具有沿着弹性波传播方向设置的多个开口，所述第一汇流条及所述第二汇流条中的所述多个开口的所述交叉区域侧的部分分别为第一内侧汇流条部及第二内侧汇流条部，所述多个开口的与所述交叉区域相反的一侧的部分分别为第一外侧汇流条部及第二外侧汇流条部，所述第一内侧汇流条部及所述第二内侧汇流条部与所述第一外侧汇流条部及所述第二外侧汇流条部通过多个连结部而连结，所述多个连结部中的至少一个连结部是沿着弹性波传播方向的尺寸比剩余的所述连结部大的宽幅连结部。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，在所述第一汇流条及所述第二汇流条中分别设置有多个所述宽幅连结部。3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，在所述第一汇流条及所述第二汇流条中的至少一方，设置有一对所述宽幅连结部。4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫本幸治，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：