一种用于极紫外(EUV)光发生器的聚光镜，包括：第一镜，在容器中，该容器被配置为接收用于生成EUV光的材料和激光束；第二镜，围绕第一镜；以及可拆卸的第三镜，在第一镜和第二镜之间，第三镜具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。大于第二镜的内径的外径。大于第二镜的内径的外径。
【技术实现步骤摘要】
聚光镜和包括聚光镜的用于产生极紫外光的装置
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年9月7日在韩国知识产权局(KIPO)递交的韩国专利申请No.10
‑
2021
‑
0118840的优先权，其全部内容通过引用合并于此。
[0003]示例实施例涉及一种聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置更具体地，示例实施例涉及一种被配置为反射极紫外光的聚光镜和包括该聚光镜的用于产生极紫外光的装置。
技术介绍
[0004]可以使用EUV光产生装置来产生极紫外(EUV)光。EUV光产生装置可以被分类为放电产生的等离子体(DPP)型装置和激光产生的等离子体(LPP)型装置。
[0005]DPP型装置可以从通过向材料施加高电压而形成的高密度等离子体生成EUV光。LPP型装置可以从通过向材料施加激光束而形成的高密度等离子体生成EUV光。例如，在LPP型装置中，可以将材料和激光引入容器中，并且可以将容器中生成的EUV光通过聚光镜反射到曝光室。
技术实现思路
[0006]根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。
[0007]根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的聚光镜。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安装在容器处，该容器被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有与第一镜的外径基本相同的内径和与第二镜的内径基本相同的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。第一镜、第二镜和第三镜之间的组合结构可以具有半球形状。用于将空气喷射到第一镜的表面的第一喷嘴可以形成在第一镜的内表面的上部上。第三镜的内表面的上端可以设置在第一镜的外表面的上端下方，以暴露第一镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第三镜的表面的第二喷嘴可以形成在第一镜的外表面的上部上。第三镜的外表面的上端可以设置在第二镜的内表面的上端上方，以暴露第三镜的外表面的上部。用于将空气喷射到第二镜的表面的第三喷嘴可以形成在第三镜的外表面的上部。
[0008]根据示例实施例，可以提供一种用于产生EUV光的装置。该装置可以包括容器、材料供应器、激光照射器和聚光镜。该容器可以被配置为接收用于产生EUV光的材料和激光。材料供应器可以将材料供应到容器中。激光照射器可以将激光照射到材料上以产生EUV光。聚光镜可以被配置为反射EUV光。聚光镜可以包括第一镜、第二镜和第三镜。第一镜可以安
装在容器处。第二镜可以被配置为围绕第一镜。第三镜可以具有不小于第一镜的外径的内径和不大于第二镜的内径的外径。第三镜可以可拆卸地布置在第一镜和第二镜之间。
附图说明
[0009]通过参考附图详细描述示例性实施例，特征对于本领域技术人员将变得清楚，在附图中：
[0010]图1是示出了根据示例实施例的用于产生EUV光的装置的图；
[0011]图2是示出了图1中的装置的聚光镜的放大截面图；
[0012]图3是示出了图2中的聚光镜的分离的第三镜的透视图；
[0013]图4是示出了图2中的聚光镜的截面图；
[0014]图5是示出了图4中的聚光镜的第三镜的放大截面图；以及
[0015]图6是示出了图4中的聚光镜的固定部的放大截面图。
具体实施方式
[0016]图1是示出了根据示例实施例的用于产生EUV光的装置的图。
[0017]参照图1，根据示例实施例的用于产生EUV光的装置可以包括容器110、材料供应器120、激光照射器130和聚光镜200。
[0018]容器110可以具有能够在其中生成(例如产生)EUV光的内部空间。通过将激光照射到材料，可以从具有高温的等离子体产生EUV光。容器110可以包括不会被等离子体损坏的材料，例如由不会被等离子体损坏的材料形成。
[0019]容器110可以具有从左到右逐渐减小的宽度，例如，容器110可以具有近似锥形截面。容器110可以具有开口的左表面，例如，锥形截面的底部可以包括贯穿其中的开口或完全开口。聚焦孔112可以形成在容器110的右表面处，例如，聚焦孔112可以位于锥形截面的顶点处以面对锥形截面的底部。EUV光可以通过聚焦孔112。排气口114可以形成为穿过容器110的侧表面，副产物(在生成EUV光期间生成的)可以通过该排气口114排出。排气口114可以与洗涤器连接。
[0020]材料供应器120可以布置在容器110上方。材料供应器120可以竖直地将材料供应到容器110中，例如，材料供应器120可以沿着垂直于从锥形截面的底部到锥形截面的顶点延伸的线的方向将材料液滴逐个供应到容器110中。例如，材料可以包括锡、锡化合物等。
[0021]为了准确地将材料液滴供应到容器110中的激光照射点，材料供应器120的位置可以由控制器控制。例如，控制器可以在竖直和水平方向上(例如，沿着平行和垂直于从锥形截面的底部延伸到锥形截面的顶点的线的方向)精细地移动材料供应器120。
[0022]激光照射器130可以布置在容器110的左侧，例如，激光照射器130可以在容器110的外部并且与锥形截面的底部相邻。激光照射器130可以通过例如容器110的开口左表面的中心将激光束照射到容器110中。因此，从激光照射器130照射的激光的照射方向可以基本上垂直于材料液滴的供应方向。换句话说，激光的照射方向可以是沿着从锥形截面的底部到锥形截面的顶点的线，而材料液滴的供应方向可以垂直于照射方向。例如，激光照射器130可以包括例如发射二氧化碳激光。
[0023]为了沿着水平方向准确地向来自材料供应器120的竖直供应(例如，移动)的材料
照射激光束，激光照射器130的位置可以由控制器来控制。例如，控制器可以在竖直和水平方向上精细地移动激光照射器130。
[0024]聚光镜200可以布置在容器110的开口左表面处，例如，聚光镜200可以布置在容器110的锥形截面的开口底部处。例如，如图1所示，聚光镜200可以在激光照射器130和容器110之间，例如，聚光镜200可以朝向激光照射器130弯曲出容器110。聚光镜200可以将在容器110中生成的EUV光朝向聚焦孔112反射。通过聚焦孔112的EUV光可以继续(例如，入射)到曝光室。聚光镜200可以包括例如在聚光镜200的中心部分中的孔202，因此来自激光照射器130的激光束可以通过孔202进入容器110。
[0025]图2是聚光镜200的放大截面图，图3是聚光镜200的分离的第三镜的透视图，图4是图2中的聚光镜的截面图，图5是示出了聚光镜200的第三镜的放大截面图，并且图6是聚光镜200的固定部的放大截面图。图6是图4的一部分的放大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于极紫外EUV光发生器的聚光镜，所述聚光镜包括：第一镜，在容器中，所述容器被配置为接收材料和激光束以用于生成所述EUV光；第二镜，围绕所述第一镜；以及可拆卸的第三镜，在所述第一镜和所述第二镜之间，所述第三镜具有不小于所述第一镜的外径的内径和不大于所述第二镜的内径的外径。2.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜、所述第二镜和所述第三镜的组合结构具有半球形状。3.根据权利要求2所述的聚光镜，其中，所述第三镜的内径与所述第一镜的外径基本相同，所述第三镜的内表面与所述第一镜的外表面直接接触。4.根据权利要求3所述的聚光镜，其中，所述第一镜的外表面和所述第三镜的内表面之间具有迷宫式密封。5.根据权利要求2所述的聚光镜，其中，所述第三镜的外径与所述第二镜的内径基本相同，所述第三镜的外表面与所述第二镜的内表面直接接触。6.根据权利要求5所述的聚光镜，其中，所述第三镜的外表面和所述第二镜的内表面之间具有迷宫式密封。7.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜包括：第一表面，面向所述容器的内部；以及内表面，与所述第一表面连接，所述内表面的上部包括指向所述第一表面以喷射空气的第一喷嘴。8.根据权利要求7所述的聚光镜，还包括：第一空气源，与所述第一喷嘴连接，所述第一空气源被配置为向所述第一喷嘴供应空气；以及控制器，被配置为控制从所述第一空气源向所述第一喷嘴供应的空气的压力。9.根据权利要求1所述的聚光镜，其中：所述第三镜的内表面的上端位于比所述第一镜的外表面的上端低的高度处，使得所述第一镜的外表面的上部被暴露，以及第二喷嘴位于所述第一镜的外表面的暴露的上部处，所述第二喷嘴指向所述第三镜的表面。10.根据权利要求9所述的聚光镜，还包括：第二空气源，与所述第二喷嘴连接，所述第二空气源被配置为向所述第二喷嘴供应空气；以及控制器，被配置为控制从所述第二空气源向所述第二喷嘴供应的空气的压力。11.根据权利要求1所述的聚光镜，其中：所述第三镜的外表面的上端位于比所述第二镜的内表面的上端高的高度处，使得所述第三镜的外表面的上部被暴露，以及第三喷嘴位于所述第三镜的外表面的暴露的上部处，所述第三喷嘴指向所述第二镜的表面。12.根据权利要求11所述的聚光镜，还包括：第三空气源，与所述第三喷嘴连接，所述第三空气源被配置为向所述第三喷嘴供应空
气；以及控制器，被配置为控制从所述第三空气源向所述第三喷嘴供应的空气的压力。13.根据权利要求1所述的聚光镜，其中，所述第一镜包括固定槽，并且所述第三镜包括从所述第三镜的...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋镐石，金圣协，李寅载，金桢吉，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。