一种光伏组件的薄膜沉积工艺制造技术

本申请涉及光伏组件制造的领域，尤其是涉及一种光伏组件的薄膜沉积工艺，包括将基材先由人工进行表面清理；清理后的基材放置于传动设备并被传动设备负压吸附，然后依次进行静电除尘和喷漆；喷漆后的基材由传动设备带动进行IR烘干和UV固化；将基材从传动设备上取下并送入至RPD设备的真空腔室内进行正面镀膜，正面镀膜后的基材送入至PVD设备的真空腔室内进行背面镀膜；镀膜后的基材表面喷漆着色，具备基材被负压吸附使得在喷漆过程中不易随意移动，使得基材镀上的TCO薄膜更加均匀的效果。使得基材镀上的TCO薄膜更加均匀的效果。使得基材镀上的TCO薄膜更加均匀的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种光伏组件的薄膜沉积工艺


[0001]本申请涉及光伏组件制造的领域，尤其是涉及一种光伏组件的薄膜沉积工艺。

技术介绍

[0002]TCO薄膜，即透明导电膜，会作为异质结SHJ电池，即薄膜柔性光伏组件中的表层，以在供太阳光顺利通过的情况下，还能使得光伏组件的电流能够更好被金属电极所收集，使得SHJ电池整体的转化效率获得提升，为此TCO薄膜的质量好坏容易影响到SHJ电池的转化效率。为了在电池片半成品，即基材表面镀上TCO薄膜，需要用到TCO薄膜沉积工艺。
[0003]现有TCO薄膜的沉积工艺主要有两种，PVD和RPD，其中商用最广泛的为PVD，即磁控溅射，使用在电磁场加速下的气体高能粒子轰击镀膜靶材，主要靶材为ITO，使得靶材表面的原子获得能量沉积至基材表面形成TCO薄膜。而RPD，即反应等离子沉积，离子源经过磁场偏转后轰击靶材，主要靶材为IWO，使得靶材原子沉积至基材表面形成薄膜，并且对基材的损伤更小，使用RPD沉积的TCO薄膜制造的光伏组件能量转化效率会更高一些，但是成本较高。
[0004]为了提升SHJ电池的能量利用效率并且成本不易过大，现会将两种沉积工艺结合使用，将RPD沉积工艺用于SHJ电池正面TCO薄膜的沉积，PVD工艺用于SHJ电池背面TCO薄膜的沉积，能够在控制成本的条件下还能提升SHJ电池的能量转化效率。同时为了提升TCO薄膜成型后的均匀性，基材在镀膜前需要人工进行表面清理，然后采用自动线进行除尘和喷漆，以使得基材表面平整，提升TCO薄膜的均匀性。
[0005]针对上述中的相关技术，由于SHJ电池的基材具备较好的柔软度以及较薄的厚度，尤其是超薄SHJ电池的基材，在喷漆的过程中因喷头喷出一定压力的漆而使得基材容易移动，使得基材喷漆不够充分，继而影响到后续TCO薄膜在基材表面成型的均匀性。

技术实现思路

[0006]为了TCO薄膜在基材表面成型的均匀性，本申请提供一种光伏组件的薄膜沉积工艺。
[0007]本申请提供的一种光伏组件的薄膜沉积工艺采用如下的技术方案。
[0008]一种光伏组件的薄膜沉积工艺，具体包括以下步骤。
[0009]步骤1、将基材先由人工进行表面清理；步骤2、清理后的基材放置于传动设备并被传动设备负压吸附，然后依次进行静电除尘和喷漆；步骤3、喷漆后的基材由传动设备带动进行IR烘干和UV固化；步骤4、将基材从传动设备上取下并送入至RPD设备的真空腔室内进行正面镀膜，正面镀膜后的基材送入至PVD设备的真空腔室内进行背面镀膜；步骤5、镀膜后的基材表面喷漆着色。
[0010]通过采用上述技术方案，使得在基材进行喷漆处理时，由于基材被负压吸附，使得
SHJ电池的较薄的柔软基材在喷漆时不易出现随意移动，使得基材喷漆时较为充分均匀，使得基材后续进行镀膜时所成型的TCO薄膜更加均匀。
[0011]可选的，所述传动设备包括链条杆、设于链条杆一侧且带动链条杆进行移动的链盒、设于链条杆远离链盒一端且供基材放入的基材盒、开设于基材盒底面且对基材底面进行负压吸附的负压孔、设于基材盒且用于抽出基材盒内部空气的抽气孔、连通于抽气孔且使得空气只能从基材盒内向外流动的单向阀、连通于基材盒内部且供外部空气进入至基材盒内的减压阀。
[0012]通过采用上述技术方案，将外部气泵出气口的软管对齐连通于抽气孔，使得基材盒内的空气被适当抽出，使得基材能够被负压孔以适当的压力吸附，以使得基材在随同链条杆移动进入后续的步骤时，基材不易出现随意移动的情况。
[0013]可选的，所述链盒外部滑动连接有盒外杆，盒外杆设有负压泵，负压泵进气口处连通有泵管，泵管远离负压泵一端能连通于抽气孔。
[0014]通过采用上述技术方案，推动盒外杆，使得泵管对齐连通于抽气孔，以使得负压泵能将基材盒内的空气抽走，一定时间后，再拉动盒外杆，使得泵管远离基材盒，基材盒前移，以进行下一个基材盒内空气的抽走作业。
[0015]可选的，所述盒外杆和链盒之间连接有同一个拉回弹簧，拉回弹簧迫使盒外杆朝向基材盒移动。
[0016]通过采用上述技术方案，使得泵管能够在拉回弹簧的作用下抵紧于基材盒外壁，不需要人工施加压力给盒外杆，才能使得泵管有效将基材盒内空气抽走。
[0017]可选的，所述链盒朝向盒外杆一侧固定连接有盒块，盒块内部滑动连接有朝向盒外杆的限移块，限移块外露盒块的一端紧密插接于有能抵接于盒外杆的橡胶套，盒块内设有控制限移块移动的限移块调节机构。
[0018]通过采用上述技术方案，使得在没有基材盒对齐于泵管时，即使此时不施加外力给盒外杆，盒外杆也能够通过抵接于橡胶套，使得盒外杆不易出现转动过度的情况，并且橡胶套的设置使得在盒外杆在拉回弹簧的作用下而抵接于橡胶套时，盒外杆也不易受到较大的冲击，使得负压泵和相应的泵管均不易受到较大的震动。
[0019]可选的，所述限移块调节机构包括螺纹连接于限移块且转动连接于盒块内壁的限移块丝杠、同轴固定连接于限移块丝杠的蜗轮、转动连接于盒块且啮合蜗轮的蜗杆、转动连接于蜗轮外壁且同轴固定连接于蜗杆的蜗杆旋钮。
[0020]通过采用上述技术方案，使得转动蜗杆旋钮，使得蜗杆、蜗轮、限移块丝杠进行转动，使得限移块能够进行相应的移动，使得在基材尺寸出现改变而使得基材盒的尺寸出现一定改变时，能够对盒外杆和链盒之间的间距获得调节，使得在泵管对齐连通于不同尺寸的基材盒的抽气孔时，盒外杆均不会抵接于橡胶套，以使得基材盒中抽气工作的顺利进行。
[0021]可选的，所述泵管连通有多通管，抽气孔沿基材盒移动方向开设数个，多通管远离泵管的全部开口为管连口，每一个管连口均对应于一个抽气孔。
[0022]通过采用上述技术方案，提升基材盒内抽气的效率，同时也使得在单根泵管不能有效连通于对应的抽气孔时，还能有剩余的泵管能连通于相对应的抽气孔进行基材盒的正常抽气工作。
[0023]可选的，所述链条杆固定连接有杆推块，盒外杆固定连接有能抵接于杆推块的被
动块，杆推块和被动块相抵接一侧呈圆弧状。
[0024]通过采用上述技术方案，使得在基材盒靠近于进行抽气工作的位置处时，杆推块能推动被动块移动，使得盒外杆先远离链盒，使得泵管不会抵触到基材盒在移动时的前端，当杆推块移动经过杆推块后，盒外杆在拉回弹簧的作用下朝向链盒移动，使得泵管能够紧密抵接于基材盒开设抽气孔的外表面，使得基材盒在进行抽气过程中还能继续保持移动，以降低基材盒的抽气以对基材进行负压吸附的过程对基材整体镀膜进度造成的影响。
[0025]可选的，每一个所述管连口均能可拆卸连接有口管，口管能抵接于基材盒开设抽气孔的外壁并对齐连通于抽气孔，口管和基材盒相近侧均由自润滑材料制成。
[0026]通过采用上述技术方案，口管的可拆卸使得根据需要在全部或是部分管连口中设置口管，以对基材盒内气压大小进行一定的调节，使得在基材种类发生一定的改变时，基材盒内在经过抽气后所形成的负压大小也能获得相适应的调节，并且口管和基材盒均有自润滑材料制成，使得在基材盒相对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光伏组件的薄膜沉积工艺，其特征在于：具体包括以下步骤：步骤1、将基材先由人工进行表面清理；步骤2、清理后的基材放置于传动设备（1）并被传动设备（1）负压吸附，然后依次进行静电除尘和喷漆；步骤3、喷漆后的基材由传动设备（1）带动进行IR烘干和UV固化；步骤4、将基材从传动设备（1）上取下并送入至RPD设备的真空腔室内进行正面镀膜，正面镀膜后的基材送入至PVD设备的真空腔室内进行背面镀膜；步骤5、镀膜后的基材表面喷漆着色。2.根据权利要求1所述的一种光伏组件的薄膜沉积工艺，其特征在于：所述传动设备（1）包括链条杆（2）、设于链条杆（2）一侧且带动链条杆（2）进行移动的链盒（3）、设于链条杆（2）远离链盒（3）一端且供基材放入的基材盒（4）、开设于基材盒（4）底面且对基材底面进行负压吸附的负压孔（5）、设于基材盒（4）且用于抽出基材盒（4）内部空气的抽气孔（51）、连通于抽气孔（51）且使得空气只能从基材盒（4）内向外流动的单向阀（53）、连通于基材盒（4）内部且供外部空气进入至基材盒（4）内的减压阀（34）。3.根据权利要求2所述的一种光伏组件的薄膜沉积工艺，其特征在于：所述链盒（3）外部滑动连接有盒外杆（52），盒外杆（52）设有负压泵（54），负压泵（54）进气口处连通有泵管（55），泵管（55）远离负压泵（54）一端能连通于抽气孔（51）。4.根据权利要求3所述的一种光伏组件的薄膜沉积工艺，其特征在于：所述盒外杆（52）和链盒（3）之间连接有同一个拉回弹簧（39），拉回弹簧（39）迫使盒外杆（52）朝向基材盒（4）移动。5.根据权利要求4所述的一种光伏组件的薄膜沉积工艺，其特征在于：所述链盒（3）朝向盒外杆（52）一侧固定连接有盒块（56），盒块（56）内部滑动连接有朝向盒外杆（52）的限移块（57），限移块（57）外露盒块（56）的一端紧密插接于有能抵...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶利松，张群芳，任建强，许进，杨再生，
申请(专利权)人：浙江合特光电有限公司，
类型：发明
国别省市：