生成方法、推定方法、生成装置以及推定装置制造方法及图纸

本公开提供生成方法、推定方法、生成装置以及推定装置。按照包括表示实验器件的加工的第1种条件的第1种信息和表示第2种条件的第2种信息的计划信息进行实验器件的加工，获取第3种信息和第4种信息，获取扩展第2种信息和扩展第3种信息的均匀度在阈值以上的扩展计划信息并按其进行实验器件的加工来获取扩展第3种信息和扩展第4种信息，导出作为扩展第1种信息、扩展第2种信息、扩展第3种信息的关系的扩展第1关系，导出作为扩展第1种信息、扩展第2种信息、扩展第4种信息的关系的扩展第2关系，生成接收实际的器件的加工时测量出的第2种信息和第3种信息并使用扩展第1关系及扩展第2关系来对第4种信息进行推定的模型，输出模型。输出模型。输出模型。

【技术实现步骤摘要】
生成方法、推定方法、生成装置以及推定装置


[0001]本公开涉及生成方法、推定方法、生成装置以及推定装置。

技术介绍

[0002]以往，利用了与器件的加工有关的模型。对于这样的模型，报告了根据说明变量(输入变量)的参数来推定目标变量(输出变量)的参数的许多事例。在能够构成基于实际的物理现象的物理模型的情况下，通过使用该物理模型来推定目标变量的参数，能够进行高精度的推定，此外还能够抑制建模所需要的测量工时。
[0003]另一方面，在难以构成物理模型的情况下，已知例如利用蓄积的许多测定数据将输入输出关系假定为多项式模型，并通过拟合来对其进行推定的方法。还提出了将这2个方法进行了组合的推定方法(参照专利文献1)。
[0004]在先技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利第4539619号公报

技术实现思路

[0007]本公开的一方式涉及的模型生成方法由处理器使用存储器来执行，包括：按照包括表示实验器件的加工的第1种条件的第1种信息以及表示所述实验器件的所述加工的第2种条件的第2种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生成方法，由处理器使用存储器来执行，包括：按照包括表示实验器件的加工的第1种条件的第1种信息以及表示所述实验器件的所述加工的第2种条件的第2种信息的计划信息，进行所述实验器件的所述加工，由此获取表示按照所述计划信息的所述实验器件的所述加工的第3种结果的第3种信息、以及表示按照所述计划信息的所述实验器件的所述加工的第4种结果的第4种信息；获取包括扩展第1种信息和扩展第2种信息的扩展计划信息，所述扩展第1种信息包括向所述第1种信息新追加的第1种信息，所述扩展第2种信息包括向所述第2种信息新追加的第2种信息，在所述扩展计划信息中，所述扩展第2种信息和作为按照所述扩展计划信息进行的所述实验器件的所述加工的所述第3种结果而获得的扩展第3种信息的均匀度在阈值以上；通过按照所述扩展计划信息进行所述实验器件的所述加工，获取表示按照所述扩展计划信息的所述实验器件的所述加工的所述第3种结果的所述扩展第3种信息、以及表示按照所述扩展计划信息的所述实验器件的所述加工的所述第4种结果的扩展第4种信息；导出作为所述扩展第1种信息、所述扩展第2种信息以及所述扩展第3种信息的关系的扩展第1关系；导出作为所述扩展第1种信息、所述扩展第2种信息以及所述扩展第4种信息的关系的扩展第2关系；生成模型，该模型接收实际的器件的所述加工时测量出的所述第2种信息以及所述实际的器件的所述加工时测量出的所述第3种信息，使用所述扩展第1关系以及所述扩展第2关系，对表示所述实际的器件的所述加工的所述第4种结果的所述第4种信息进行推定；以及输出所述模型。2.根据权利要求1所述的生成方法，其中，还导出作为所述第1种信息、所述第2种信息以及所述第3种信息的关系的第1关系，所述扩展计划信息的获取包括：通过向所述第2种信息追加所述新的第2种信息来获取所述扩展第2种信息；通过向所述第3种信息追加新的第3种信息来获取所述扩展第3种信息；接收所述扩展第2种信息以及所述扩展第3种信息，使用所述第1关系来获取所述扩展第1种信息；以及获取包括所述扩展第1种信息和所述扩展第2种信息的所述扩展计划信息。3.根据权利要求1或2所述的生成方法，其中，所述扩展计划信息的获取包括：判定所述扩展第2种信息和所述扩展第3种信息的均匀度是否在阈值以上；以及在判定为所述扩展第2种信息和所述扩展第3种信息的均匀度在所述阈值以上的情况下，获取所述扩展计划信息。4.根据权利要求1～3的任一项所述的生成方法，其中，所述扩展计划信息的获取包括：通过向所述第3种信息追加新的第3种信息，从而追加属于所述第1种信息中的从最小值到最大值的范围的所述新的第1种信息，由此获取所述扩展计划信息。
5.根据权利要求1～4的任一项所述的生成方法，其中，所述扩展计划信息的获取包括：使用针对评价用计划信息的平均预测方差来计算所述扩展第2种信息和所述扩展第3种信息的均匀度，所述评价用计划信息作为因子而包括所述第2种信息以及所述第3种信息；以及使用计算出的所述均匀度来获取所述扩展计划信息。6.根据权利要求2所述的生成方法，其中，所述扩展第2种信息的获取以及所述扩展第3种信息的获取包括：通过针对评价用计划信息的D最优计划法来获取所述扩展第2种信息以及所述扩展第3种信息，所述评价用计划信息作为因子而包括所述第2种信息以及所述第3种信息。7.根据权利要求1～6的任一项所述的生成方法，其中，所述扩展第1关系由扩展第1式来表现，所述扩展第1式接收所述扩展第1种信息以及所述扩展第2种信息并输出所述扩展第3种信息，所述模型包括根据所述扩展第1式导出的扩展第3式，所述扩展第3式接收所述实际的器件的所述加工时测量出的所述第2种信息以及所述实际的器件的所述加工时测...

【专利技术属性】
技术研发人员：原伸夫，吉田宽子，中桥昭久，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：