一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台制造技术

本发明专利技术提供了一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台，包括：X轴位移台，所述X轴位移台包括X轴导轨组件、X轴驱动组件和至少2个X轴走线组件；Y轴位移台，所述Y轴位移台设置于所述X轴位移台上，所述Y轴位移台包括Y轴导轨组件、Y轴驱动组件和至少2个Y轴走线组件。本发明专利技术通过采用圆柱滚子导轨，提供一种承载能力大、刚性高、结构紧凑的平移式快速精密的运动控制平台。精密的运动控制平台。精密的运动控制平台。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台


[0001]本专利技术属于运动控制平台领域，尤其涉及一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台。

技术介绍

[0002]随着科技发展需求，半导体激光设备应用在各个领域，半导体激光设备采用半导体激光器，具有高速调制的激光输出，且效率高、稳定性高，并匹配精密稳定的机械机构以实现其高速、高精度的技术要求，因此快速且精密的运动控制平台作为核心部件的研制尤为重要。导轨的摩擦和刚度不均匀等影响，运动平台精度受限。
[0003]现有的快速直线运动平台主要采用滚珠导轨和交叉滚柱导轨。滚珠型导轨，滚珠与滑道接触点接触，承载能力较小，刚性较低。交叉滚柱导轨与滑道接触为线接触，承载能力大，刚性高，但占用空间较大，在空间限制下其行程受限；在平台运动过程中，由于交叉滚柱导轨为双轨则会形成悬臂梁结构导致受力性能差，强度刚度不够。并且现有的快速直线运动平台各轴位移台均采用单条拖链走线，电机和检测件等均走同一拖链，强弱电相互干扰，且线缆易弯折造成扰动影响伺服控制精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术为了克服上述现有技术中的缺陷，提出了一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台。为实现上述目的，本专利技术采用以下具体技术方案：
[0005]本专利技术公开了一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台，包括：X轴位移台，所述X轴位移台包括X轴位移台的上板、X轴位移台的底板、至少2个X轴导轨组件、X轴驱动组件和至少2个X轴走线组件，每个所述X轴导轨组件包括X轴圆柱滚子导轨和滑块，所述X轴导轨组件用于实现所述X轴位移台运动的导向，所述X轴驱动组件对所述X轴位移台提供驱动力，所述X轴走线组件与所述X轴位移台的上板连接，至少2个X轴走线组件以相对方式安装于所述X轴位移台的两侧；Y轴位移台，所述Y轴位移台设置于所述X轴位移台上，所述Y轴位移台包括Y轴位移台的上板、Y轴位移台的底板、至少2个Y轴导轨组件、Y轴驱动组件和至少2个Y轴走线组件，每个所述Y轴导轨组件包括Y轴圆柱滚子导轨，所述Y轴圆柱滚子导轨包括X轴圆柱滚子导轨和滑块，所述Y轴位移台的底板与所述X轴位移台的上板固定连接，所Y轴位移台跟随所述X轴位移台的上板沿X轴方向运动，所述Y轴导轨组件用于实现所述Y轴位移台运动的导向，所述Y轴驱动组件对所述Y轴位移台提供驱动力，所述Y轴走线组件分别与所述控制平台的上板连接，2个Y轴走线组件以相对方式安装于所述Y轴位移台的两侧；当所述X轴位移台移动时，所述Y轴位移台跟随所述X轴位移台沿X轴方向移动，并且所述Y轴位移台沿Y轴方向运动。
[0006]优选地，所述至少2个X轴走线组件以相对方式安装于所述X轴位移台的两侧指的是，在所述X轴位移台的两侧分别各安装有一个X轴走线组件。进一步优选地，在所述X轴位移台的两侧分别各安装有一个X轴走线组件。从而保证了两个方向的走线弯折力相反，可以
相互抵消。所述至少2个X轴走线组件可以为2个、4个或6个，进一步优选为2个。
[0007]优选地，所述至少2个Y轴走线组件以相对方式安装于所述Y轴位移台的两侧指的是，在所述Y轴位移台的两侧分别各安装有一个Y轴走线组件。进一步优选地，在所述Y轴位移台的两侧分别各安装有一个Y轴走线组件。从而保证了两个方向的走线弯折力相反，可以相互抵消。所述至少2个Y轴走线组件可以为2个、4个或6个，进一步优选为2个。
[0008]优选地，每个所述X轴走线组件包括X轴平台走线连接上板、X轴无尘拖链、X轴无尘拖链压线板、X轴平台走线连接下板和X轴插头固定座；每个所述Y轴走线组件包括Y轴平台走线连接上板、Y轴无尘拖链、Y轴无尘拖链压线板、Y轴平台走线连接下板和Y轴插头固定座。
[0009]优选地，所述X轴位移台还包括X轴光栅尺检测组件，所述Y轴位移台还包括Y轴光栅尺检测组件。
[0010]优选地，所述X轴位移台还包括X轴限位组件，所述Y轴位移台还包括Y轴限位组件。
[0011]优选地，每个所述X轴导轨组件包括X轴圆柱滚子导轨、X轴滑块、X轴导轨固定块，每个所述Y轴导轨组件包括Y轴圆柱滚子导轨、Y轴滑块、Y轴导轨固定块。所述X轴导轨的滚动体和所述Y轴导轨的滚动体均为圆柱体形状。
[0012]优选地，所述X轴位移台的底板的两侧分别通过X轴导轨固定块固定其中一条X轴圆柱滚子导轨；所述X轴滑块可移动地设置在所述X轴导轨上，所述X轴位移台的上板固定在所述X轴滑块上，与所述X轴滑块沿着所述X轴圆柱滚子导轨的长度方向运动，实现X轴方向的运动。
[0013]优选地，所述Y轴位移台底板的两侧分别通过Y轴导轨固定块固定其中一条Y轴圆柱滚子导轨；所述Y轴滑块可移动地设置在所述Y轴导轨上，所述Y轴位移台的上板固定在所述Y轴滑块上，与所述Y轴滑块沿着所述Y轴圆柱滚子导轨的长度方向运动，实现Y轴方向的运动。
[0014]优选地，所述X轴驱动组件包括X轴电机动子、X轴电机定子、X轴电机线圈转接器，所述X轴电机定子固定在所述控制平台的底板上，所述X轴电机动子与所述X轴电机线圈转接器固定连接，所述X轴电机线圈转接器与所述控制平台的上板相连接；所述Y轴驱动组件包括Y轴电机动子、Y轴电机定子、Y轴电机线圈转接器，所述Y轴电机定子固定在所述控制平台的底板上，所述Y轴电机动子与所述Y轴电机线圈转接器固定连接，所述Y轴电机线圈转接器与所述控制平台的上板相连接。
[0015]优选地，所述X轴光栅尺检测组件包括：X轴光栅尺固定座，所述X轴光栅尺固定座固定于所述控制台的底板上，且所述X轴光栅尺位于所述X轴电机定子与所述X轴圆柱滚子导轨之间；X轴光栅尺，所述X轴光栅尺固定于所述X轴光栅尺固定座上；X轴光栅尺密封盖板，所述X轴光栅尺密封盖板固定于所述控制平台的上板上；X轴光栅尺转接架，所述X轴光栅尺转接架与所述X轴光栅尺密封盖板相连接；X轴读数头，所述X轴读数头固定在所述X轴光栅尺转接架的下方；至少2个X轴隔热板，所述X轴隔热板与所述X轴光栅尺固定座固定连接；和X轴隔热支柱，所述X轴隔热支柱设置于所述2个X轴隔热板之间。
[0016]优选地，所述的X轴光栅尺上分别设置有零位和限位磁块，用于更好地电限位。
[0017]优选地，所述Y轴光栅尺检测组件包括：Y轴光栅尺固定座，所述Y轴光栅尺固定座固定于所述控制台的底板上，且所述Y轴光栅尺位于所述Y轴电机定子与所述Y轴圆柱滚子
导轨之间；Y轴光栅尺，所述Y轴光栅尺固定于所述Y轴光栅尺固定座上；Y轴光栅尺密封盖板，所述Y轴光栅尺密封盖板固定于所述控制平台的上板上；Y轴光栅尺转接架，所述Y轴光栅尺转接架与所述Y轴光栅尺密封盖板相连接；Y轴读数头，所述Y轴读数头固定在所述Y轴光栅尺转接架的下方；2个Y轴隔热板，所述Y轴隔热板与所述Y轴光栅尺固定座固定连接；和Y轴隔热支柱，所述Y轴隔热支柱设置于所述2个Y轴隔热板之间。
[0018]优选地，所述的Y轴光栅尺上分别设置有零位和限位磁块，用于更好地电限位。
[0019]优选地，所述X轴限位组件包括X轴限位挡块，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体激光装备的平移式快速精密运动控制平台，其特征在于，包括：X轴位移台，所述X轴位移台包括X轴位移台的上板、X轴位移台的底板、至少2个X轴导轨组件、X轴驱动组件和至少2个X轴走线组件，每个所述X轴导轨组件包括X轴圆柱滚子导轨和滑块，所述X轴导轨组件用于实现所述X轴位移台运动的导向，所述X轴驱动组件对所述X轴位移台提供驱动力，所述X轴走线组件分别与所述X轴位移台的上板和底板连接，所述至少2个X轴走线组件以相对方式安装于所述X轴位移台的两侧；Y轴位移台，所述Y轴位移台设置于所述X轴位移台上，所述Y轴位移台包括Y轴位移台的上板、Y轴位移台的底板、至少2个Y轴导轨组件、Y轴驱动组件和至少2个Y轴走线组件，每个所述Y轴导轨组件包括Y轴圆柱滚子导轨和滑块，所述Y轴位移台的底板与所述X轴位移台的上板固定连接，所Y轴位移台跟随所述X轴位移台的上板沿X轴方向运动，所述Y轴导轨组件用于实现所述Y轴位移台运动的导向，所述Y轴驱动组件对所述Y轴位移台提供驱动力，所述Y轴走线组件分别与所述控制平台的上板和底板连接，所述至少2个Y轴走线组件以相对方式安装于所述Y轴位移台的两侧；当所述X轴位移台沿X轴移动时，所述Y轴位移台跟随所述X轴位移台沿X轴方向移动，并且所述Y轴位移台沿Y轴方向运动。2.根据权利要求1所述的控制平台，其特征在于，所述X轴圆柱滚子导轨组件的滑块包括滚动体和所述Y轴圆柱滚子导轨组件的滑块包括滚动体，所述滚动体均呈圆柱状。3.根据权利要求1或2所述的控制平台，其特征在于，每个所述X轴导轨组件还包括X轴导轨固定块，每个所述Y轴导轨组件还包括Y轴导轨固定块。4.根据权利要求1所述的控制平台，其特征在于，每个所述X轴走线组件包括X轴平台走线连接上板、X轴无尘拖链、X轴无尘拖链压线板、X轴平台走线连接下板和X轴插头固定座；每个所述Y轴走线组件包括Y轴平台走线连接上板、Y轴无尘拖链、Y轴无尘拖链压线板、Y轴平台走线连接下板和Y轴插头固定座。5.根据权利要求1所述的控制平台，其特征在于，所述X轴位移台还包括X轴光栅尺检测组件，所述Y轴位移台还包括Y轴光栅尺检测组件；和/或，所述X轴位移台还包括X轴限位组件，所述Y轴位移台还包括Y轴限位组件。6.根据权利要求3所述的控制平台，其特征在于，所述X轴位移台底板的两侧至少分别通过X轴导轨固定块固定其中至少一条X轴圆柱滚子导轨；所述X轴滑块可移动地设置在所述X轴导轨上，所述X轴位移台的上板固定在所述X轴滑块上，与所述X轴滑块沿着所述X轴圆柱滚子导轨的长度方向运动，实现X轴方向的运动；所述Y轴位移台底板的两侧分别通过Y轴导轨固定块固定其中至少一条Y轴圆柱滚子导轨；所述Y轴滑块可移动地设置在所述Y轴导轨上，所述Y轴位移台的上板固定在所述Y轴滑块上，与所述Y轴滑块沿着所述Y轴圆柱滚子导轨的长...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛文达，郭同健，闫佳钰，王强龙，徐桂成，刘震宇，王晓明，何锋赟，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：