一种半导体管道检测器制造技术

技术编号:36792511 阅读:46 留言:0更新日期:2023-03-08 22:46
本实用新型专利技术公开了一种半导体管道检测器,其技术方案要点是,包括:管体,所述管体两侧外圆壁面固定套设有左固定环和右固定环,所述管体外圆壁面固定安装有套环,所述管体一侧设置有密封罩,所述密封罩一侧设置真空阀,所述密封罩内部设置有检测组件,用于检测半导体管道的密闭性,通过左固定环与右固定环能够将检测装置密封固定在所需检测的管体之上,通过套环承载内部构件并连接固定环与密封罩,通过真空阀能够在使用时启动抽气使密封罩内的气压持续降低直至接近真空状态,从而形成气压差便于完成后续的检测,通过检测组件能够检测出管体的密封性,并能够对管体的损坏泄漏处进行标识指示。指示。指示。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体管道检测器


[0001]本技术涉及管道检测
,具体涉及一种半导体管道检测器。

技术介绍

[0002]半导体技术涉及易燃、有毒和腐蚀性气体,是制造精密半导体电子元件和新能源光电产品必不可少的重要原料,生产中的气体泄漏会造成非常严重的产品质量事故和人身伤害,为了确保安全,当管道施工时,管道的密封性检测是至关重要的。
[0003]例如公开号为CN203010212U的中国专利,提出了一种管道检测器,包括了压力表、缓冲盘管、检测管和阀门,使用时,先将需检测的管道的出口封闭,然后将管道的进口与管道接口密封连接,打开阀门,在气管接口上连接压缩空气进行加压,当压力表有读数时,停止加气,关闭阀门,再观察压力表读数,如果压力表读数不变,则表明被检测的管道密封状态良好,无泄漏点;若压力表读数逐渐减小,则说明被检测的管道存在泄漏点,需及时检查排除,但该方案中无法对半导体管道的密封性进行很好的检测并指示检测位置,为此我们提出了一种新型的半导体管道检测器。

技术实现思路

[0004]针对
技术介绍
中提到的问题,本技术的目的是提供一种半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体管道检测器,其特征在于,包括:管体(1),所述管体(1)两侧外圆壁面固定套设有左固定环(2)和右固定环(3),所述管体(1)外圆壁面固定安装有套环(6),所述管体(1)一侧设置有密封罩(4);检测组件,所述检测组件设置在所述密封罩(4)内部,用于检测半导体管道的密闭性。2.根据权利要求1所述的一种半导体管道检测器,其特征在于,所述检测组件包括:固定槽(7),所述固定槽(7)开设在所述套环(6)一侧,所述固定槽(7)内部固定安装有磁环(8),所述固定槽(7)内部固定卡接有铁环(9),所述固定槽(7)内部固定卡接有套网(10),所述套网(10)一侧固定安装有粉末层(11)。3.根据权利要求1所述的一种半导体管道检测器,其特征在于,所述套环(...

【专利技术属性】
技术研发人员:王娟夏伟龙
申请(专利权)人:上海其汇科技工程有限公司
类型:新型
国别省市:

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