【技术实现步骤摘要】
一种基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器
[0001]本专利技术属于磁传感器
，更具体地，涉及一种基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器。
技术介绍
[0002]磁传感器是把外磁场信号转变为电信号的器件。磁性传感技术在工业设备和电子仪器中有着广泛的应用，如磁共振成像、生产的自动控制、流程工业、煤矿勘探、电流测量、车辆检测、缺陷定位、军事和医疗等方面。
[0003]目前，基于材料磁致伸缩效应的声波磁传感器已经具有相对成熟的理论实验基础，可实现对外界单个方向磁场的大小进行探测，但受限于其中的磁性薄膜的各向异性，导致其无法对外磁场的方向进行探测，从而使得其在实际应用中，比如车辆检测领域，无法探测磁场方向时，将缺失所探测的发射源的位置信息，导致对探测目标位置信息的判断错误或无法判断。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器，可对外界磁场的方向和大小进行同时探测。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于声波驱...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器，其特征在于，包括处理部件及设置在压电衬底表面的两组叉指换能部件，每组叉指换能部件均包括一输入叉指换能器和一输出叉指换能器，每组叉指换能部件中的输入叉指换能器和输出叉指换能器之间均设有不小于100μm的空间距离形成延迟线结构，两个延迟线结构相同且交叉呈45
°
夹角设置，两个延迟线结构的空间距离内生长有一由铁磁材料制成的磁性薄膜，且两个延迟线结构所传感的外磁场方向均与该延迟线结构中声波传播方向呈﹣45
°
；所述处理部件用于执行如下流程：(1)采集并根据各组叉指换能部件中输出叉指换能器输出的电信号V
out
和输入叉指换能器输入的射频电信号V
in
，计算得到各延迟线结构中随声波频率变化的声波传播参数S
21
，S
21
＝20lg(V
out
/V
in
)；(2)分析确定各延迟线结构中声波传播参数S
21
的极大值所对应的声波频率，并将该声波频率带入预先标定的外磁场随声波频率变化的曲线中，得到各延迟线结构所测量到的磁场大小；(3)将两延迟线结构测量到的磁场大小进行矢量合成，得到外磁场的方向和大小。2.根据权利要求1所述的基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器，其特征在于，在上述处理部件中，标定的磁场随声波频率变化的曲线的建立方法为：工作前，向所述矢量传感器的磁性薄膜区域施加不同大小的外磁场，同时采集不同外磁场大小下，各组叉指换能部件中输出...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。