用于衬底处置的局部清洗模块制造技术

一种衬底处置机器人包含用于支撑衬底的端效应器及耦合到所述端效应器的臂以使所述端效应器在延伸位置与回缩位置之间平移。所述衬底处置机器人还包含外壳以至少部分地围封所述衬底，其中所述衬底位于所述回缩位置中的所述端效应器上。所述外壳包含喷淋器以将清洗气体的流量提供到所述衬底。气体的流量提供到所述衬底。气体的流量提供到所述衬底。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于衬底处置的局部清洗模块
[0001]相关申请案
[0002]本申请案主张2020年6月10日申请的第63/037,008号美国临时专利申请案的优先权，所述申请案的全部内容为了所有目的以引用的方式并入。


[0003]本公开涉及衬底处置(例如半导体
‑
晶片处置)，且更具体来说，涉及衬底处置系统中的气体清洗。

技术介绍

[0004]一种用于制造或检验衬底(例如半导体晶片)的工具可包含设备前端模块。设备前端模块包含用于使衬底在工具中的各种站之间移动的机器人。可使用清洗气体(例如氮气)清洗设备前端模块以针对由机器人处置的衬底提供所要环境。例如，执行清洗以从设备前端模块移除氧气。
[0005]传统上，清洗整个设备前端模块。然而，此清洗使用高清洗气体且较为昂贵。清洗整个设备前端模块也不在衬底附近提供精确环境控制。

技术实现思路

[0006]因此，需要对于由机器人处置的衬底执行气体清洗的改进系统及方法。
[0007]在一些实施例中，一种衬底处置机器人包含用于支撑衬底的端效应器及耦合到所述端效本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种衬底处置机器人，其包括：端效应器，其用于支撑衬底；臂，其耦合到所述端效应器以使所述端效应器在延伸位置与回缩位置之间平移；及外壳，其用于至少部分地围封所述衬底，其中所述衬底位于所述回缩位置中的所述端效应器上，所述外壳包括喷淋器以将清洗气体的流量提供到所述衬底。2.根据权利要求1所述的机器人，其进一步包括所述臂及所述外壳安装于其上的可旋转平台，其中：所述臂可相对于所述可旋转平台在径向方向上平移以使所述端效应器在所述延伸位置与所述回缩位置之间平移；且所述外壳在所述可旋转平台上具有固定位置。3.根据权利要求2所述的机器人，其中：所述外壳刚性连接到所述可旋转平台；且所述臂可延伸超出所述可旋转平台的端以使所述端效应器平移到所述延伸位置。4.根据权利要求1所述的机器人，其中所述喷淋器包括所述清洗气体将流过的多孔表面。5.根据权利要求4所述的机器人，其中：所述外壳包括具有包括所述多孔表面的内表面的顶部；且所述内表面定位为面向所述衬底的表面，其中所述衬底位于所述回缩位置中的所述端效应器上。6.根据权利要求5所述的机器人，其中所述喷淋器进一步包括所述外壳的所述顶部中的腔室，所述腔室由包含所述内表面的表面包围。7.根据权利要求6所述的机器人，其进一步包括一或多个管以将所述清洗气体提供到所述腔室。8.根据权利要求7所述的机器人，其进一步包括：可旋转平台，其包括所述臂及所述外壳安装于其上的盒；及弯管，其耦合于所述盒与所述外壳之间；其中所述一或多个管延伸穿过所述盒及所述弯管。9.根据权利要求5所述的机器人，其中所述外壳进一步包括：侧壁，其连接到所述外壳的所述顶部；及支架，其连接到所述侧壁以将所述外壳连接到所述可旋转平台。10.根据权利要求4所述的机器人，其中所述外壳包括具有包括所述多孔表面的内表面的第一侧壁。11.根据权利要求10所述的机器人，其中：所述多孔表面是第一多孔表面；所述喷淋器进一步包括所述清洗气体将流过的第二多孔表面；所述外壳包括具有内表面的第二侧壁；且所述第二侧壁的所述内表面包括所述第二多孔表面。12.根据权利要求1所述的机器人，其中：所述衬底是半导体晶片；且...

【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：