一种电弧坩埚制造机遮热板装置制造方法及图纸

技术编号:36762665 阅读:13 留言:0更新日期:2023-03-04 10:59
本实用新型专利技术涉及电弧坩埚遮热板技术领域,公开了一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳,所述防护壳内部左侧设置有防水层,所述防水层右侧设置有隔电层,所述隔电层右侧设置有阻燃层,所述阻燃层右侧设置有防爆层,所述防爆层右侧设置有加固层,所述防护壳顶部固定连接有大内径水板,所述大内径水板前端左侧固定连接有进水管,所述大内径水板前端右侧固定连接有出水管,所述大内径水板顶部四个拐角均固定连接有铁固定架。本实用新型专利技术中,通过大内径水板和小内径石英盖板实现提高产品质量的效果,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种电弧坩埚制造机遮热板装置


[0001]本技术涉及电弧坩埚遮热板
,尤其涉及一种电弧坩埚制造机遮热板装置。

技术介绍

[0002]目前,现有的电弧坩埚制造机是由室内主机、进出倾动台、和电控热源装置三大部分组成,其中室内主机由电极升降装置、框架、遮热板组成,在熔制坩埚过程中,为了避免电极升降装置在高温中受到损坏,通常用水循环遮热板装置保护电极升降装置,单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和国际市场对单晶硅片需求的快速增加,单晶硅棒的市场求也呈快速增长的趋势,制作单晶硅棒所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。
[0003]现有的遮热板装置是由水板、进水管和出水管组成,其存在的问题是熔制过程中一旦出现供水不足或水温过高的现象,导致水板变形漏水,使正在熔制过程中的坩埚报废、在电极起弧不稳的情况下,造成电弧和水板的内环拉弧产生的铁锈点掉入坩埚内,导致坩埚不合格,从而降低了合格率增加了生产成本,故而需要全新的一种电弧坩埚制造机遮热板装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种电弧坩埚制造机遮热板装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳,所述防护壳内部左侧设置有防水层,所述防水层右侧设置有隔电层,所述隔电层右侧设置有阻燃层,所述阻燃层右侧设置有防爆层,所述防爆层右侧设置有加固层,所述防护壳顶部固定连接有大内径水板,所述大内径水板前端左侧固定连接有进水管,所述大内径水板前端右侧固定连接有出水管,所述大内径水板顶部四个拐角均固定连接有铁固定架,所述大内径水板顶部设置有小内径石英盖板,所述防护壳内部底侧中端固定连接有电动推杆,所述电动推杆的驱动端固定连接有电极盘,所述电极盘顶部中侧设置有多个电极。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述:
[0007]所述防水层采用聚氨酯防水涂料设置。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述:
[0009]所述阻燃层采用热塑性弹性体设置。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述:
[0011]所述隔电层采用有机硅树脂设置。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述:
[0013]所述小内径石英盖板顶部设置有翻盖。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述:
[0015]所述大内径水板底部四周和防护壳顶部四周均设置有绝缘条。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述:
[0017]所述电极盘的直径小于大内径水板和小内径石英盖板的直径。
[0018]本技术具有如下有益效果:
[0019]1、本技术中,通过大内径水板和小内径石英盖板实现提高产品质量的效果,大内径水板因为内径大不会受到电弧的高温,小内径石英盖板耐高温性能高,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本。
[0020]2、本技术中,通过防水层、隔电层、阻燃层、防爆层和加固层之间的相互配合,使得工作人员的安全得到保障,避免发生意外情况。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的一种电弧坩埚制造机遮热板装置的立体图;
[0022]图2为本技术提出的一种电弧坩埚制造机遮热板装置的电极盘示意图;
[0023]图3为本技术提出的一种电弧坩埚制造机遮热板装置的防护壳结构示意图。
[0024]图例说明:
[0025]1、防护壳;2、防水层;3、隔电层;4、阻燃层;5、防爆层;6、加固层;7、大内径水板;8、进水管;9、出水管;10、铁固定架;11、小内径石英盖板;12、电动推杆;13、电极盘;14、电极。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0027]参照图1

3,本技术提供的一种实施例:一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳1,防护壳1内部左侧设置有防水层2,防水层2右侧设置有隔电层3,隔电层3右侧设置有阻燃层4,阻燃层4右侧设置有防爆层5,防爆层5右侧设置有加固层6,通过防水层2、隔电层3、阻燃层4、防爆层5和加固层6之间的相互配合,使得工作人员的安全得到保障,避免发生意外情况,防护壳1顶部固定连接有大内径水板7,大内径水板7前端左侧固定连接有进水管8,大内径水板7前端右侧固定连接有出水管9,大内径水板7顶部四个拐角均固定连接有铁固定架10,通过铁固定架10对小内径石英盖板11进行固定,大内径水板7顶部设置有小内径石英盖板11,通过大内径水板7和小内径石英盖板11实现提高产品质量的效果,大内径水板7因为内径大不会受到电弧的高温,小内径石英盖板11耐高温性能高,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本,防护壳1内部底侧中端固定连接有电动推杆12,电动推杆12的驱动端固定连接有电极盘13,电极盘13顶部中侧设置有多个电极14。
[0028]防水层2采用聚氨酯防水涂料设置,阻燃层4采用热塑性弹性体设置,隔电层3采用有机硅树脂设置,小内径石英盖板11顶部设置有翻盖,大内径水板7底部四周和防护壳1顶部四周均设置有绝缘条,避免发生触电的可能,电极盘13的直径小于大内径水板7和小内径
石英盖板11的直径,避免电极盘13与大内径水板7和小内径石英盖板11发生碰撞,导致损坏。
[0029]工作原理:工作时,将遮热板调制到距冷水套九十至一百毫米处,通过电动推杆12推动电极盘13上的电极14下降至大内径水板7四十至五十毫米处起弧,待上部石英砂烧结熔化后将电极14下降至大内径水板7五十至七十毫米处熔制,然后迅速下降电极14熔化底部的石英砂,确认熔好后迅速提升电极14至小内径石英盖板11以上,完成一个坩埚熔制过程,通过大内径水板7和小内径石英盖板11实现提高产品质量的效果,大内径水板7因为内径大不会受到电弧的高温,小内径石英盖板11耐高温性能高,在高温情况下不变形不破裂,是绝缘体不会和电弧反应,熔制出来的坩埚内表面更洁净,从而提高了合格率,降低了生产成本,通过防水层2、隔电层3、阻燃层4、防爆层5和加固层6之间的相互配合,使得工作人员的安全得到保障,避免发生意外情况。
[0030]最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实施例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧坩埚制造机遮热板装置,包括防护壳(1),其特征在于:所述防护壳(1)内部左侧设置有防水层(2),所述防水层(2)右侧设置有隔电层(3),所述隔电层(3)右侧设置有阻燃层(4),所述阻燃层(4)右侧设置有防爆层(5),所述防爆层(5)右侧设置有加固层(6),所述防护壳(1)顶部固定连接有大内径水板(7),所述大内径水板(7)前端左侧固定连接有进水管(8),所述大内径水板(7)前端右侧固定连接有出水管(9),所述大内径水板(7)顶部四个拐角均固定连接有铁固定架(10),所述大内径水板(7)顶部设置有小内径石英盖板(11),所述防护壳(1)内部底侧中端固定连接有电动推杆(12),所述电动推杆(12)的驱动端固定连接有电极盘(13),所述电极盘(13)顶部中侧设置有多个电极(14)。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:任仲勋宋锡朋
申请(专利权)人:济宁佑祥新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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