光学系统定位装置、光学装置、设备及准直调节方法制造方法及图纸

技术编号:36759247 阅读:13 留言:0更新日期:2023-03-04 10:52
本申请属于大科学装置中光学系统准直技术技术领域,提供了一种光学系统定位装置、光学装置、设备及准直调节方法,光学系统定位装置包括定位座组件、基准准具及荧光组件;定位座组件具有安装定位轴,定位座组件用于安装光学系统,安装定位轴与光学系统的光轴同轴设置;基准准具形成有准具定位轴,基准准具可拆卸连接于定位座组件,且准具定位轴与安装定位轴同轴设置;荧光组件在预设位置形成有荧光定位轴,荧光组件能够对工作光产生荧光效应;荧光组件可拆卸连接于定位座组件,且荧光定位轴与准具定位轴同轴设置;光学设备包括上述光学系统定位装置。本申请旨在解决现有技术中光学系统的光轴不容易直接定位而导致安装精度差的技术问题。的技术问题。的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
光学系统定位装置、光学装置、设备及准直调节方法


[0001]本申请属于大科学装置中光学系统准直技术
,尤其涉及一种光学系统定位装置、光学装置、设备及准直调节方法。

技术介绍

[0002]大科学装置是为提高探索未知世界、发现自然规律、实现科技变革的能力,由国家统筹布局,面向社会开放共享的大型复杂科学研究装置或系统。它们是突破科学前沿、解决经济社会发展和国家安全重大科技问题的技术基础,也是长期为高水平研究活动提供服务、具有较大国际影响力的国家公共设施。
[0003]在大科学装置安装准直
,光学系统装配完成后,需要高精度的准直技术将光学系统安装到理论位置,安装精度一般要求在0.3mm以内,并且安装完成后需要调整光学系统到实际要求的工作位置,在工作位置,激光的光路能够与光学系统的光轴高精度重合,工作位置的安装精度远高于0.3mm,因此除了高精度的安装方法以外还需要检测光学系统的实际工作位置并且调整光学系统到实际的工作位置。
[0004]在大科学装置中有许多夹持镜子的光学系统,只有保证每个光学系统均高精度地安装于工作位置,各个部件的光学中心(或称物理中心)或光轴才能高精度地保持在一条直线上。但是这些光学系统的物理中心并不容易直接定位,故无法检测并保证激光的光路能够与光学系统的光轴相重合,无法检测光学系统的安装误差,无法使光学系统高精度的安装于工作位置。并且当工作光为不可见光,光学系统处于真空环境下时,要实现光学系统的高精度安装更为困难。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种光学系统定位装置、光学装置、设备及准直调节方法,旨在解决现有技术中光学系统的光轴不容易直接定位导致安装精度差的技术问题。
[0006]本申请的第一目的在于提供一种光学系统定位装置,包括:
[0007]定位座组件,具有安装定位轴,所述定位座组件用于安装光学系统,所述安装定位轴与所述光学系统的光轴同轴设置;
[0008]基准准具,形成有准具定位轴,所述基准准具可拆卸连接于所述定位座组件,且所述准具定位轴与所述安装定位轴同轴设置;及
[0009]荧光组件,在预设位置形成有荧光定位轴,所述荧光组件能够对工作光产生荧光效应;所述荧光组件可拆卸连接于所述定位座组件,且所述荧光定位轴与所述准具定位轴同轴设置。
[0010]在其中一个实施例中,所述基准准具包括均可拆卸连接于所述定位座组件的第一准具结构和第二准具结构,所述第一准具结构和所述第二准具结构分别设置于所述定位座组件的两端;所述第一准具结构设有第一定位标记,所述第二准具结构设有第二定位标记,所述第一定位标记和所述第二定位标记的连线形成所述准具定位轴。
[0011]在其中一个实施例中,所述第一准具结构呈柱状延伸,所述第一定位标记设置于所述第一准具结构的一延伸端的端面;
[0012]所述第二准具结构呈柱状延伸,所述第二定位标记设置于所述第二准具结构的一延伸端的端面。
[0013]在其中一个实施例中,所述荧光组件包括均活动连接于所述定位座组件的第一荧光结构和第二荧光结构,所述第一荧光结构和所述第二荧光结构相间隔连接于所述定位座组件,所述第一荧光结构设有第三定位标记,所述第二荧光结构设有第四定位标记,所述第三定位标记与所述第四定位标记的连线形成所述荧光定位轴。
[0014]在其中一个实施例中,所述第一荧光结构包括能够对工作光产生荧光效应的第一荧光靶片及用于连接所述第一荧光靶片的第一支撑架,所述第三定位标记设置于所述第一荧光靶片上,所述第一支撑架活动连接于所述定位座组件;
[0015]所述第二荧光结构包括能够对工作光产生荧光效应的第二荧光靶片及用于连接所述第二荧光靶片的第二支撑架,所述第四定位标记设置于所述第二荧光靶片上,所述第二支撑架活动连接于所述定位座组件。
[0016]在其中一个实施例中,所述第一荧光结构和所述第二荧光结构均滑动连接于所述定位座组件,以使得所述第一荧光结构和所述第二荧光结构均能够避让开所述光学系统的端部。
[0017]在其中一个实施例中,所述定位座组件包括底座及连接于所述底座的安装架;所述安装架包括间隔固定设置的第一安装部和第二安装部;所述光学系统连接于所述第一安装部和所述第二安装部之间;所述第一准具结构连接于所述第一安装部,所述第二准具结构连接于所述第二安装部;所述第一荧光结构活动连接于所述底座,并位于所述第二安装部的背离所述第一安装部的一侧;所述第二荧光结构活动连接于所述底座,并位于所述第一安装部的背离所述第二安装部的一侧。
[0018]本申请的第二目的在于提供一种光学装置,包括光学系统及如上述任一项所述的光学系统定位装置,所述光学系统安装于所述定位座组件。
[0019]本申请的第三目的在于提供一种光学设备,用于接受工作光,所述光学设备包括位置调节机构及如上述的光学装置,所述位置调节机构连接于所述定位座组件,以用于调节所述光学系统定位装置相对于所述工作光的位置,使所述工作光的光路能够与所述荧光定位轴相重合。
[0020]在其中一个实施例中,所述位置调节机构位于所述光学系统定位装置的下方,所述位置调节机构具有多个自由度。
[0021]本申请的第三目的在于提供一种光学系统准直调节方法,包括步骤:
[0022]将基准准具安装于定位座组件,调节所述基准准具的准具定位轴与所述定位座组件的安装定位轴同轴;
[0023]沿所述基准准具的准具定位轴建立模拟光路;
[0024]调节荧光组件的荧光定位轴与所述模拟光路重合,并将所述荧光组件与所述定位座组件固定连接;
[0025]将光学系统安装于所述定位座组件,并使所述光学系统的光轴与所述定位轴同轴;
[0026]以所述荧光定位轴为基准,调节所述定位座组件及其上的荧光组件的位置,使荧光定位轴与工作光路同轴。
[0027]在其中一个实施例中,步骤所述沿所述基准准具的准具定位轴建立模拟光路之后,且步骤所述调节所述荧光组件的荧光定位轴与所述模拟光路重合之前,还包括使所述基准准具避让所述定位座组件的定位轴。
[0028]在其中一个实施例中,所述荧光组件包括设有第三定位标记的第一荧光结构和设有第四定位标记的第二荧光结构,所述第一荧光结构和所述第二荧光结构分别位于所述定位座组件的两端,所述第三定位标记与所述第四定位标记的连线形成所述荧光定位轴;
[0029]所述调节所述荧光组件的荧光定位轴与所述模拟光路重合,并将所述荧光组件与所述定位座组件固定连接包括;
[0030]将第一荧光结构安装于所述定位座组件,调节所述第一荧光结构相对于所述定位座组件的位置,使模拟光的光路通过所述第三定位标记,将第一荧光结构固定于所述定位座组件;
[0031]将第二荧光结构安装于所述定位座组件,调节所述第二荧光结构相对于所述定位座组件的位置,使所述模拟光通过所述第四定位标记,将第二荧光结构固定于所述定位座组件。
[0032]在其中一个实施例中,所述以所述荧光定位轴为基准,调本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学系统定位装置,其特征在于,包括:定位座组件,具有安装定位轴,所述定位座组件用于安装光学系统,所述安装定位轴与所述光学系统的光轴同轴设置;基准准具,形成有准具定位轴,所述基准准具可拆卸连接于所述定位座组件,且所述准具定位轴与所述安装定位轴同轴设置;及荧光组件,在预设位置形成有荧光定位轴,所述荧光组件能够对工作光产生荧光效应;所述荧光组件可拆卸连接于所述定位座组件,且所述荧光定位轴与所述准具定位轴同轴设置。2.如权利要求1所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述基准准具包括均可拆卸连接于所述定位座组件的第一准具结构和第二准具结构,所述第一准具结构和所述第二准具结构分别设置于所述定位座组件的两端;所述第一准具结构设有第一定位标记,所述第二准具结构设有第二定位标记,所述第一定位标记和所述第二定位标记的连线形成所述准具定位轴。3.如权利要求2所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述第一准具结构呈柱状延伸,所述第一定位标记设置于所述第一准具结构的一延伸端的端面;所述第二准具结构呈柱状延伸,所述第二定位标记设置于所述第二准具结构的一延伸端的端面。4.如权利要求2或3所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述荧光组件包括均活动连接于所述定位座组件的第一荧光结构和第二荧光结构,所述第一荧光结构和所述第二荧光结构相间隔连接于所述定位座组件,所述第一荧光结构设有第三定位标记,所述第二荧光结构设有第四定位标记,所述第三定位标记与所述第四定位标记的连线形成所述荧光定位轴。5.如权利要求4所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述第一荧光结构包括能够对工作光产生荧光效应的第一荧光靶片及用于连接所述第一荧光靶片的第一支撑架,所述第三定位标记设置于所述第一荧光靶片上,所述第一支撑架活动连接于所述定位座组件;所述第二荧光结构包括能够对工作光产生荧光效应的第二荧光靶片及用于连接所述第二荧光靶片的第二支撑架,所述第四定位标记设置于所述第二荧光靶片上,所述第二支撑架活动连接于所述定位座组件。6.如权利要求4所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述第一荧光结构和所述第二荧光结构均滑动连接于所述定位座组件,以使得所述第一荧光结构和所述第二荧光结构均能够避让开所述光学系统的端部。7.如权利要求4所述的光学系统定位装置,其特征在于,所述定位座组件包括底座及连接于所述底座的安装架;所述安装架包括间隔固定设置的第一安装部和第二安装部;所述光学系统连接于所述第一安装部和所述第二安装部之间;所述第一准具结构连接于所述第一安装部,所述第二准具结构连接于所述第二安装部;所述第一荧光结构活动连接于所述底座,并位于所述第二安装部的背离所述第一安装部的一侧;所述第二荧光结构活动连接于所述底座,并位于所述第一安装部的背离所述第二安装部的一侧。8.一种光学装置,其特征在于,包括光学系统及如权利要求1

【专利技术属性】
技术研发人员:李钦明文志祥张未卿
申请(专利权)人:深圳综合粒子设施研究院
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1