等离子体产生装置制造方法及图纸

根据本公开的一个实施例，可提供一种用于实行等离子体放电的等离子体产生装置，等离子体产生装置具有包括第一模式及第二模式的多种操作模式，且包括：第一电源供应器，能够改变第一频率范围内的频率；第二电源供应器，能够改变与第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率；介电管；以及天线模块，包括在介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于第一单元线圈与第二单元线圈之间的第一电容器。一电容器。一电容器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体产生装置


[0001]本公开涉及一种等离子体产生装置及其控制方法。更具体而言，本公开涉及一种用于减少等离子体放电期间生成的副产物的等离子体产生装置及其控制方法。

技术介绍

[0002]等离子体放电用于许多工业应用领域及科学应用领域，且通过等离子体放电产生用于各种工业领域(例如半导体晶圆处理)的各种气体的活性种类物或者达成对工业制程中生成的副产物的处理。
[0003]用于实行等离子体放电的等离子体源主要使用电感耦合等离子体方法或电容耦合等离子体方法。电感耦合等离子体方法是通过向线圈施加射频(radio frequency，RF)电源形成感应电场以及通过感应电场实行等离子体放电的方法。
[0004]由于放电所产生的活性种类物或离子因施加至用于放电的天线的电压而与介电管碰撞，因此在实行等离子体放电期间，可能会将杂质引入活性种类物。因此，需要开发一种等离子体产生装置，以通过用于实行等离子体放电的天线的结构或设计来减少包含于活性种类物中的杂质。
[0005]前述内容仅旨在帮助理解本公开的背景且并不旨在意指本公开落于本领域技术人员已知的相关技术的范围内。

技术实现思路

[0006]技术问题
[0007]本公开是有关于提供一种等离子体产生装置。
[0008]另外，本公开是有关于提供一种等离子体产生装置，所述等离子体产生装置提供具有减少的杂质的活性种类物。
[0009]本公开将解决的技术问题并非仅限于前述技术问题，且本领域技术人员将根据本公开及附图清楚地理解并未提及的其他技术问题。
[0010]技术解决方案
[0011]根据本公开的实施例，提供一种用于实行等离子体放电的等离子体产生装置，所述等离子体产生装置具有包括第一模式及第二模式的多种操作模式，且包括：第一电源供应器，能够改变第一频率范围内的频率；第二电源供应器，能够改变与所述第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率；介电管；以及天线模块，包括在所述介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在所述介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于所述第一单元线圈与所述第二单元线圈之间的第一电容器，其中当所述操作模式是所述第一模式时，所述天线模块基于具有所述第一频率范围内的第一频率的电源信号而感应第一等离子体放电，或者当所述操作模式是所述第二模式时，所述天线模块基于具有所述第二频率范围内的第二频率的电源信号而感应第二等离子体放电，且其中所述第一单元线圈及所述第二单元线圈具有第一电感，所述第一电容器具有第一电容，且所述第一频率所
述天线模块对应于根据所述第一电感及所述第一电容确定的第一共振频率。
[0012]根据本公开的另一实施例，提供一种等离子体产生装置的控制方法，所述等离子体产生装置包括：第一电源供应器，能够改变第一频率范围内的频率；第二电源供应器，能够改变与所述第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率；介电管；以及天线模块，包括在所述介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在所述介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于所述第一单元线圈与所述第二单元线圈之间的第一电容器，所述控制方法包括：在第一模式下进行操作，其中使用第一频率作为驱动频率向所述天线模块提供RF电源；以及在第二模式下进行操作，其中使用第二频率作为所述驱动频率向所述天线模块提供RF电源，其中所述第一单元线圈及所述第二单元线圈具有第一电感，且所述第一电容器具有第一电容，其中所述第二频率对应于由所述第一电感及所述第一电容确定的第二共振频率。
[0013]根据本公开的又一实施例，提供一种等离子体产生装置，所述等离子体产生装置用于通过如下的方式产生等离子体：当操作模式是第一模式时自能够改变第一频率范围内的频率的第一电源供应器接收电源或者当所述操作模式是第二模式时自能够改变与所述第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率的第二电源供应器接收电源，所述等离子体产生装置包括：介电管；以及天线模块，包括在所述介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在所述介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于所述第一单元线圈与所述第二单元线圈之间的第一电容器，其中当所述操作模式是所述第一模式时，所述天线模块基于具有所述第一频率范围内的第一频率的电源信号而感应第一等离子体放电，或者当所述操作模式是所述第二模式时，所述天线模块基于具有所述第二频率范围内的第二频率的电源信号而感应第二等离子体放电，且其中所述第一单元线圈及所述第二单元线圈具有第一电感，所述第一电容器具有第一电容，且所述第一频率对应于基于所述第一电感及所述第一电容确定的第一共振频率。
[0014]本说明中的技术解决方案可能并非仅限于以上内容，且本领域技术人员将根据本说明及附图清楚地理解其他未提及的技术解决方案。
[0015]有益效果
[0016]根据本公开，可提供一种能够在各种环境中利用的等离子体产生装置。
[0017]根据本公开，可提供一种能够减少活性种类物中包含的杂质的等离子体产生装置。
[0018]本公开的效果并非仅限于前述效果，且本领域技术人员应根据本公开及附图清楚地理解本文中未阐述的其他效果。
附图说明
[0019]图1是示出根据本公开实施例的等离子体产生系统的图。
[0020]图2是示出根据本公开实施例的等离子体产生系统的图。
[0021]图3是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的图。
[0022]图4是示出根据本公开实施例的直流(direct current，DC)电极的图。
[0023]图5是示出根据本公开实施例的DC电源的图。
[0024]图6是示出根据本公开实施例的DC电极的图。
[0025]图7是示出根据本公开实施例的DC电源的图。
[0026]图8是示出根据本公开实施例的天线模块的图。
[0027]图9是示出根据本公开实施例的天线模块的操作的图。
[0028]图10是示出根据本公开实施例的天线模块的图。
[0029]图11是示出根据本公开实施例的天线模块的操作的图。
[0030]图12是示出根据本公开实施例的天线模块的形状的图。
[0031]图13是示出根据本公开实施例的RF电源的图。
[0032]图14是示出根据本公开实施例的等离子体产生制程的图。
[0033]图15是示出根据本公开实施例的等离子体产生制程的图。
[0034]图16是示出根据本公开实施例的等离子体产生制程的图。
[0035]图17是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的图。
[0036]图18是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的图。
[0037]图19是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的控制方法的图。
[0038]图20是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的图。
[0039]图21是示出根据本公开实施例的等离子体产生装置的控制方法的图。
[004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于实行等离子体放电的等离子体产生装置，所述等离子体产生装置具有包括第一模式及第二模式的多种操作模式，且包括：第一电源供应器，能够改变第一频率范围内的频率；第二电源供应器，能够改变与所述第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率；介电管；以及天线模块，包括在所述介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在所述介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于所述第一单元线圈与所述第二单元线圈之间的第一电容器，其中当操作模式是所述第一模式时，所述天线模块基于具有所述第一频率范围内的第一频率的电源信号而感应第一等离子体放电，其中当所述操作模式是所述第二模式时，所述天线模块基于具有所述第二频率范围内的第二频率的电源信号而感应第二等离子体放电，且其中所述第一单元线圈及所述第二单元线圈具有第一电感，所述第一电容器具有第一电容，且所述第一频率对应于根据所述第一电感及所述第一电容确定的第一共振频率。2.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中所述第一电源供应器包括具有第一阻抗的第一匹配元件。3.根据权利要求2所述的等离子体产生装置，其中当所述操作模式是所述第一模式时，所述天线模块基于具有所述第一频率的所述电源信号实行所述第一等离子体放电，其中所述第一频率对应于基于所述第一阻抗、所述第一电感及所述第一电容确定的所述第一共振频率。4.根据权利要求3所述的等离子体产生装置，其中所述第二电源供应器包括具有第二阻抗的第二匹配元件，且其中当所述操作模式是所述第二模式时，所述天线模块基于具有所述第二频率的所述电源信号实行所述第二等离子体放电，其中所述第二频率对应于基于所述第二阻抗、所述第一电感及所述第一电容确定的第二共振频率，且所述第二共振频率不同于所述第一共振频率。5.根据权利要求4所述的等离子体产生装置，其中所述第二共振频率高于所述第一共振频率，且其中当所述操作模式是所述第一模式时作为所述第一单元线圈的未连接至所述第一电容器的一个端部与所述第二单元线圈的未连接至所述第一电容器的一个端部之间的电压的第一电压低于当所述操作模式是所述第二模式时作为所述第一单元线圈的未连接至所述第一电容器的所述一个端部与所述第二单元线圈的未连接至所述第一电容器的所述一个端部之间的电压的第二电压。6.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中当所述操作模式是所述第一模式时，所述第一单元线圈的两个端部之间的电压对应于所述第一单元线圈的未连接至所述第一电容器的一个端部与所述第二单元线圈的未连接至所述第一电容器的一个端部之间的电压。7.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中当所述操作模式是所述第一模式时
所述天线模块的两个端部之间的电压低于当所述操作模式是所述第二模式时所述天线模块的两个端部之间的电压。8.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中当所述操作模式是所述第一模式时流经所述天线模块的第一电流的大小小于当所述操作模式是所述第二模式时流经所述天线模块的第二电流的大小。9.根据权利要求1所述的等离子体产生装置，其中当所述操作模式是所述第一模式时由所述天线模块消耗的电源是第一电源，且当所述操作模式是所述第二模式时由所述天线模块消耗的电源是第二电源，所述第二电源低于所述第一电源。10.一种等离子体产生装置的控制方法，所述等离子体产生装置包括第一电源供应器、第二电源供应器、介电管及天线模块，所述第一电源供应器能够改变第一频率范围内的频率，所述第二电源供应器能够改变与所述第一频率范围至少部分不同的第二频率范围内的频率，所述天线模块包括在所述介电管周围缠绕至少一次的第一单元线圈、在所述介电管周围缠绕至少一次的第二单元线圈、以及串联连接于所述第一单元线圈与所述第二单元线圈之间的第一电容器，所述控制方法包括：在第...

【专利技术属性】
技术研发人员：严世勋，李润星，孙永勋，朴世洪，金志勋，
申请(专利权)人：源多可股份有限公司，
类型：发明
国别省市：