【技术实现步骤摘要】
一种水冷臭氧发生器
[0001]本技术涉及多晶硅生产
,具体为一种水冷臭氧发生器。
技术介绍
[0002]多晶硅生产过程中,需要使用到臭氧作为氧化原料进行加工,而臭氧由于易分解,因此需要在加工场地中进行临时制备,所以需要用到相应的臭氧发生器,其中水冷式的臭氧发生器最为常见。根据现有技术如中国专利文件CN202022320491.1所述的一种壁挂式水冷臭氧发生器,所公开的技术方案,其通过对臭氧发生器进行快速拆卸和安装,可以大大提高对臭氧发生器检修时的速度,节省时间,减少工作量提高工作效率,同时进行臭氧制备时,此时通过进液管和出液管可以将冷却水输送至臭氧发生器外壳的内部,可以使得臭氧发生器本体内部的温度较低,防止臭氧的分解,大大提高臭氧的制备效率。
[0003]根据其公开的技术方案来看,现有技术中直接通过将冷却液统一排放到放电室的外侧进行冷却散热处理,但是由于冷却液注入到内部后的流动状态不可控,因此冷却液与放电室表面的接触区域也难以控制,该状态下会导致部分放电室无法直接与冷却液接触的位置,散热效果不佳,进而使放电室 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水冷臭氧发生器,包括发生器本体,其特征在于:所述发生器本体包括外壳(1)、放电室(21)、排出组件(3)和冷却罐(6),所述外壳(1)的顶部设置有进气管道(2),所述外壳(1)的侧边连接有进水管道(8)和出水管道(9),所述出水管道(9)的另一端与冷却罐(6)相连通,所述进水管道(8)的另一端设置有水泵(7),所述水泵(7)和冷却罐(6)的顶部相连接,所述放电室(21)设置在外壳(1)的内部,所述外壳(1)的底端安装有排出组件(3),所述排出组件(3)的中间安装有连通组件(16)。2.根据权利要求1所述的一种水冷臭氧发生器,其特征在于:所述排出组件(3)包括缓存罐(10)和电动推杆(11),所述缓存罐(10)的底端安装有连通组件(16),所述缓存罐(10)的内部设置有电动推杆(11),所述电动推杆(11)的顶部安装有活塞板(13)。3.根据权利要求2所述的一种水冷臭氧发生器,其特征在于:所述连通组件(16)的底端安装有导出通道(17),所述导出通道(17)的底端连接有出气管道(5),所述出气管道(5)的表面安装有电磁阀(4),所述导出通道(17)整体呈倒锥形结构。4.根据权利要求3所述的一种水冷臭氧发生器,其特征在于:所述活塞板(13)的侧边贴装有密封层(14),所述活塞板(13)的表面开设有通气孔(15),所述活塞板(13)通过侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘立新,颜宇力,杜农涛,
申请(专利权)人:吉利硅谷谷城科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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