一种基于微型音圈驱动器的紧凑型音圈变形镜制造技术

本发明专利技术公开了一种基于微型音圈驱动器的紧凑型音圈变形镜，属于自适应光学领域。本申请考虑微音圈驱动器的输出力相比常规的音圈驱动器小了两到三个量级，采用聚酰亚胺替代常规所采用的玻璃、碳化硅等刚度系数大的材料做薄镜面，为了使其满足刚度要求，通过弹簧结构为其提供一定的刚度，并综合考虑音圈变形镜的结构参数、材料、工作电流等与音圈变形镜的相位调制量、频率等性能的相关性，平衡和优化结构参数，获得综合性能最佳的紧凑型音圈变形镜。经过实验验证，本申请提供的单个微型驱动器可达到最大输出力为1mN，电机常数0.032N

【技术实现步骤摘要】
一种基于微型音圈驱动器的紧凑型音圈变形镜


[0001]本专利技术涉及一种基于微型音圈驱动器的紧凑型音圈变形镜，属于自适应光学领域。

技术介绍

[0002]自适应光学系统里重要的器件之一变形镜，又称变形反射镜(deformable mirror，DM)，主要用于校正波前畸变，补偿由于大气湍流、重力和温度等引起的光学系统像差的变化；在眼底视网膜高分辨率成像系统中，也可以用于补偿人眼的像差，获得视网膜细胞的高分辨率图像。常见的变形镜有分立促动器连续镜面变形镜、分块拼接式变形镜、双压电变形镜、薄膜变形镜、MEMS(Micro Electromechanical System，MEMS)变形镜和自适应次镜。其中应用最广泛的是压电变形镜，但它受限于材料特性具有迟滞、调制量低、驱动电压高且体积大等缺点，在眼底成像、生物显微成像等系统中不具优势，而基于音圈电磁驱动器的变形次镜因其行程大、无迟滞、精度高、响应快等特点被多个大型望远镜系统采用，取得不错的观测效果。
[0003]1993年，意大利切特里天文台的Piero Salinari首次提出使用音圈驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型音圈驱动器，其特征在于，所述微型音圈驱动器直径在毫米量级，包括：薄镜、支柱、永磁体、音圈和弹簧；所述永磁体通过支柱与薄镜相连，且所述弹簧套在所述支柱上；所述音圈与永磁体同轴，且位于其下方，与永磁体之间存在间隙。2.根据权利要求1所述的微型音圈驱动器，其特征在于，所述薄镜材料为聚酰亚胺。3.根据权利要求2所述的微型音圈驱动器，其特征在于，所述音圈的内半径和外半径均分别为0.2
±
0.02mm和2
±
0.2mm，高度设置为0.4
±
0.04mm。4.根据权利要求3所述的微型音圈驱动器，其特征在于，所述永磁体的半径均为1
±
0.1mm，高度设置为0.2
±
0.02mm。5.根据权利要求3所述的微型音圈驱动器，其特征在于，所述音圈为铜线...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡立发，姜律，徐星宇，杨燕燕，冯佳濠，华晟骁，吴晶晶，黄杨，
申请(专利权)人：江南大学，
类型：发明
国别省市：