一种带凹槽结构的树脂研磨垫制造技术

本实用新型专利技术涉及研磨垫技术领域，且公开了一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相抵设置于基层的上表面，所述基层的下表面相抵设置有底层，所述表面层的上表面开设有多个凹槽，所述基层的下表面两侧和底层的上表面两侧均开设有空腔，所述基层的两侧两端均固定设置有插杆，多个所述插杆的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆的两侧壁均固定设置有弹性片，多个所述弹性片的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。本实用新型专利技术能够对研磨垫磨损的部位进行单独更换，能够大大减少材料的浪费，降低更换成本。降低更换成本。降低更换成本。

【技术实现步骤摘要】
一种带凹槽结构的树脂研磨垫


[0001]本技术涉及研磨垫
，尤其涉及一种带凹槽结构的树脂研磨垫。

技术介绍

[0002]研磨垫是用于半导体晶圆、显示器用玻璃基板、硬盘用机板等半导体零件、电子零件的制造制程中辅助研磨工作，在研磨步骤中，将研磨垫固定于研磨装置后，将晶圆等被研磨构件朝研磨垫挤压，于供给研磨浆料的同时，使两者相对地滑动以进行研磨，现有的树脂研磨垫通常通过在表面设置凹槽，能够有效的存续研磨液，保证研磨液充分利用。
[0003]传统的带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中带凹槽结构的树脂研磨垫通常为一体式设计，当其表面被磨损后，整个研磨垫便失去作用，需要对整个研磨垫进行更换，非常浪费材料的问题，而提出的一种带凹槽结构的树脂研磨垫。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层和表面层，所述表面层相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带凹槽结构的树脂研磨垫，包括基层（1）和表面层（2），其特征在于，所述表面层（2）相抵设置于基层（1）的上表面，所述基层（1）的下表面相抵设置有底层（3），所述表面层（2）的上表面开设有多个凹槽（4），所述基层（1）的下表面两侧和底层（3）的上表面两侧均开设有空腔，所述基层（1）的两侧两端均固定设置有插杆（5），多个所述插杆（5）的外侧一端均延伸至对应的空腔的内部，多个所述插杆（5）的两侧壁均固定设置有弹性片（7），多个所述弹性片（7）的一端均与对应的空腔的内壁相抵触，多个所述空腔的侧壁均开设有安装槽，多个所述安装槽的内部均设有推动机构。2.根据权利要求1所述的一种带凹槽结构的树脂研磨垫，其特征在于，所述推动机构包括推板（9）和固定壳（10），所述安装槽的内部设置有拉杆（8），所述拉杆（8）的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈斌，
申请(专利权)人：深圳中机新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：