【技术实现步骤摘要】
一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门
[0001]本技术涉及阀门
,尤其涉及了一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门。
技术介绍
[0002]真空设备在使用的过程中,往往需要在线监控真空度、安全泄压、吹扫再生、废气排放、真空获得等多功能需求。目前,往往通过多个独立器件实现其功能,集成度非常低,在很多使用场合下并不能满足使用要求。在有较高集成度要求或小型化要求的设备上,本申请的阀门提供了一种新型的使用方案,同时,可以通过扩展接口扩展需求功能。
[0003]本技术应用于低温真空领域的检测与控制方面的多功能使用场景,主要目的在于实现真空设备的多功能使用需求,包括在线监控真空度、安全泄压、吹扫再生、废气排放等多功能需求,同时,允许通过扩展口实现其它功能需求,例如扩展真空阀门,来实现真空获得的控制需求。
[0004]申请号CN201810511127.8的专利技术专利公开了一种真空开泄气一体阀,包括:高真空阀、真空泄压阀和阀体基板,所述阀体基板上开设有工艺孔,其上还设有一组、二组、三组或三组以上电磁阀,所述工艺 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门,包括阀体(1),阀体(1)内设有腔体(101),其特征在于:阀体(1)上安装有用于真空检测的真空计(2)、用于气路通断的第一电磁阀(3)、用于与第一电磁阀(3)配合实现排废控制的第二电磁阀(4)、用于安全泄压的安全阀(5)和用于连接外部吹扫气体的吹扫气路接头(6),真空计(2)和吹扫气路接头(6)安装在阀体(1)的同一安装面上,第一电磁阀(3)和第二电磁阀(4)安装在阀体(1)的同一安装面上,阀体(1)两端还安装有安装接口(7)和扩展接口(8),安装接口(7)、扩展接口(8)、真空计(2)和安全阀(5)都与腔体(101)连通。2.根据权利要求1所述的一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门,其特征在于:第一电磁阀(3)与阀体(1)的连接处设有第一气路通道(301)和第二气路通道(302),第一气路通道(301)位于第二气路通道(302)的上侧,第一电磁阀(3)的阀芯穿入第二气路通道(302)内,第二电磁阀(4)与阀体(1)的连接处设有第三气路通道(401)和第四气路通道(402),第三气路通道(401)位于第四气路通道(402)的上侧,第二电磁阀(4)的阀芯穿入第四气路通道(402)内,第一气路通道(301)、第三气路通道(401)都与阀体(1)内部连通。3.根据权利要求2所述的一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门,其特征在于:安全阀(5)内设有阀芯(501),阀体(1)内设有阀座(102),阀座(102)与阀芯(501)边缘接触,阀座(102)上位于阀芯(501)侧边设有排废孔(1021),排废孔(1021)与第四气路通道(402)连通,安装接口(7)上设有吹扫接头(701),吹扫接头(701)与第二气路通道(302)连通。4.根据权利要求3所述的一种用于低温真空环境下的多功能集成阀门,其特征在于:阀体(1)内部设有公共通道(9)、吹扫通道(10)和排废通道(11),公共通道(9)一端与吹扫气路接头(6)连通,公共通道(9)另一端沿第三气路通道(401)到第一气路通道(30...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡玉真,陈家富,孔军,
申请(专利权)人:浙江博开机电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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