一种键合对位方法、装置、系统和可读存储介质制造方法及图纸

技术编号:36692933 阅读:15 留言:0更新日期:2023-02-27 20:02
本申请涉及半导体倒装技术领域,提供一种键合对位方法、装置、系统和可读存储介质,该键合对位方法通过分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中,接收用户输入的第一命令,根据第一命令对对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使对应的元器件处于预设位置,接收用户输入的第二命令,根据第二命令将满足预设位置的各个元器件之间进行对位并键合。本申请一方面可以减少人工操作,使操作更加便捷,从而可以减少工作人员受伤的风险,另一方面可以提高对位的精度,从而提高生产效率。从而提高生产效率。从而提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种键合对位方法、装置、系统和可读存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体倒装
,具体而言,涉及一种键合对位方法、装置、系统和可读存储介质。

技术介绍

[0002]目前,键合机是相关半导体行业一种必不可少的设备,半自动键合机也成为了半导体行业中创业型企业或者企业实验线里的首选设备。
[0003]半自动键合机的Mark对位技术也是整个键合制程中非常重要的部分。常规键合机的Mark对位是通过人工手动移动平台进行肉眼识别对位,若人工操作不当,容易造成烫伤或压伤,且操作便捷性以及对位精度不高。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种键合对位方法、装置、系统和可读存储介质。
[0005]第一方面,本专利技术提供一种键合对位方法,所述方法包括:
[0006]分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中;
[0007]接收用户输入的第一命令,根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置;
[0008]接收用户输入的第二命令,根据所述第二命令将满足所述预设位置要求的各个所述元器件之间进行对位并键合。
[0009]在可选的实施方式中,所述分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中之后,所述方法还包括:
[0010]当所述元器件的图像未显示在所述对位画面中时,接收用户输入的移动命令,并根据所述移动命令控制放置所述元器件的平台移动,以使所述元器件的图像能够显示在所述对位画面中。
[0011]在可选的实施方式中,所述根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置,包括:
[0012]根据所述第一命令依次确定在所述对位画面中所述目标图像中的多个位置标识点,并获取所述多个位置标识点在所述对位画面中的坐标;
[0013]根据所述多个位置标识点的坐标对所述目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置。
[0014]在可选的实施方式中,所述根据所述多个位置标识点的坐标对所述目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置,包括:
[0015]将所述多个位置标识点中选取的一个位置标识点作为第一参考点,根据所述第一参考点的坐标对其他位置标识点的坐标进行校正,以使在所述对位画面中所述其他位置标识点的横坐标或纵坐标与所述第一参考点的横坐标或纵坐标对应相同;
[0016]根据校正后的其他位置标识点的坐标,控制放置所述目标图像对应的元器件的平台旋转,直至所述元器件旋转至预设位置。
[0017]在可选的实施方式中,所述多个元器件包括第一元器件和第二元器件,所述根据所述第二命令将满足所述预设位置的各个所述元器件之间进行对位并键合,包括:
[0018]根据所述第二命令依次选择处于各自预设位置的所述第一元器件的图像中的多个位置标识点以及所述第二元器件的图像中的多个位置标识点,分别获取所述第一元器件和所述第二元器件的图像中的所述多个位置标识点在所述对位画面中的坐标;
[0019]根据所述第一元器件和所述第二元器件的所述多个位置标识点的坐标,控制所述第一元器件和所述第二元器件进行对位,并将对位后的所述第一元器件和所述第二元器件相键合。
[0020]在可选的实施方式中,每个所述元器件包括两个位置标识点,所述根据所述第一元器件和所述第二元器件的所述多个位置标识点的坐标,控制所述第一元器件和所述第二元器件进行对位,包括:
[0021]将选取的所述第一元器件的第一个位置标识点作为第二参考点,根据所述第二参考点的坐标对选取的所述第二元器件的第一个位置标识点的坐标进行校正;
[0022]将选取的所述第一元器件的第二个位置标识点作为第三参考点,根据所述第三参考点的坐标对选取的所述第二元器件的第二个位置标识点的坐标进行校正,根据校正后的第二元器件的所述两个位置标识点的坐标对所述第二元器件进行位置对齐,其中,所述第一个位置标识点与所述第二个位置标识点的横坐标或纵坐标相同。
[0023]在可选的实施方式中,所述多个元器件包括LED芯片和IC驱动芯片,在进行对位操作时,通过吸嘴实现所述LED芯片和所述IC驱动芯片之间的对位操作。
[0024]第二方面,本专利技术提供一种键合对位装置,所述装置包括:
[0025]采集模块,用于分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中;
[0026]器件对位模块,用于接收用户输入的第一命令,根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置;
[0027]键合模块,用于接收用户输入的第二命令,根据所述第二命令将满足所述预设位置的各个所述元器件之间进行对位并键合。
[0028]第三方面,本专利技术提供一种键合对位系统,所述键合对位系统包括对位平台、数字摄像头和支持显示功能的终端设备;
[0029]所述数字摄像头用于采集位于所述对位平台上的多个元器件对应的图像,并将每个元器件的图像发送至终端设备的对位画面中进行显示;
[0030]所述终端设备用于接收用户输入的第一命令,根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置;
[0031]所述终端设备还用于接收用户输入的第二命令,根据所述第二命令将满足所述预设位置的各个所述元器件之间进行对位并键合。
[0032]第四方面,本专利技术提供一种可读存储介质,其存储有计算机程序,所述计算机程序在处理器上运行时执行所述的键合对位方法。
[0033]本专利技术实施例的有益效果是:
[0034]本申请实施例提供一种键合对位方法,该键合对位方法通过分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中,接收用户输入的第一命令,根据第一命令对对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使对应的元器件处于预设位置,接收用户输入的第二命令,根据第二命令将满足预设位置的各个元器件之间进行对位并键合。本申请一方面可以减少人工操作,使操作更加便捷,从而可以减少工作人员受伤的风险,另一方面可以提高对位的精度,从而提高生产效率。
[0035]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本专利技术的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例,因此不应被看作是对本专利技术保护范围的限定。在各个附图中,类似的构成部分采用类似的编号。
[0037]图1示出了本申请实施例提出的一种键合对位方法的第一流程示意图;
[0038]图2示出了本申请实施例提出的一种键合对位方法的第二流程示意图;
[0039]图3示出了本申本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种键合对位方法,其特征在于,所述方法包括:分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中;接收用户输入的第一命令,根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置;接收用户输入的第二命令,根据所述第二命令将满足所述预设位置要求的各个所述元器件之间进行对位并键合。2.根据权利要求1所述的键合对位方法,其特征在于,所述分别采集多个元器件的图像并显示在对位画面中之后,还包括:当所述元器件的图像未显示在所述对位画面中时,接收用户输入的移动命令,并根据所述移动命令控制放置所述元器件的平台移动,以使所述元器件的图像能够显示在所述对位画面中。3.根据权利要求1所述的键合对位方法,其特征在于,所述根据所述第一命令对所述对位画面中不满足预设位置要求的目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置,包括:根据所述第一命令依次确定在所述对位画面中所述目标图像中的多个位置标识点,并获取所述多个位置标识点在所述对位画面中的坐标;根据所述多个位置标识点的坐标对所述目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置。4.根据权利要求3所述的键合对位方法,其特征在于,所述根据所述多个位置标识点的坐标对所述目标图像所对应的元器件进行位置调整,以使所述对应的元器件处于预设位置,包括:将所述多个位置标识点中选取的一个位置标识点作为第一参考点,根据所述第一参考点的坐标对其他位置标识点的坐标进行校正,以使在所述对位画面中所述其他位置标识点的横坐标或纵坐标与所述第一参考点的横坐标或纵坐标对应相同;根据校正后的其他位置标识点的坐标,控制放置所述目标图像对应的元器件的平台旋转,直至所述元器件旋转至预设位置。5.根据权利要求1所述的键合对位方法,其特征在于,所述多个元器件包括第一元器件和第二元器件,所述根据所述第二命令将满足所述预设位置的各个所述元器件之间进行对位并键合,包括:根据所述第二命令依次选择处于各自预设位置的所述第一元器件的图像中的多个位置标识点以及所述第二元器件的图像中的多个位置标识点,分别获取所述第一元器件和所述第二元器件的图像中的所述多个位置标识点在所述对位画面中的坐标;根据所述第一元器件和所述第二元器件的所述多个位置...

【专利技术属性】
技术研发人员:邱成峰莫炜静
申请(专利权)人:深圳市思坦科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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