掩模组装体制造技术

本实用新型专利技术公开一种掩模组装体，包括：第一掩模片，具备第一开口部；第二掩模片，包括第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域，其中，在所述第一区域中配置有在平面图中与所述第一开口部重叠的多个第二开口部，在所述第二区域中配置有使所述第一掩模片露出且彼此相邻的第一贯通孔和第二贯通孔；以及连接部，在平面图中配置在所述第一贯通孔和所述第二贯通孔之间且将所述第一掩模片和所述第二掩模片彼此连接，所述第一掩模片和所述第二掩模片之中的一个具备被配置成在平面图中与所述第一贯通孔及所述第二贯通孔之中的至少一个相邻的凹陷部。邻的凹陷部。邻的凹陷部。

【技术实现步骤摘要】
掩模组装体


[0001]本技术涉及掩模组装体。

技术介绍

[0002]随着信息化社会的发展，对于用来显示图像的显示装置的要求正在以各种形态增加。显示装置领域代替了体积大的阴极射线管(Cathode RayTube)，快速变化到了薄、轻且可实现大面积的平板显示装置(Flat PanelDisplay Device)。平板显示装置具有液晶显示装置(Liquid Crystal DisplayDevice)、等离子显示器(Plasma Display Panel)、有机发光显示装置(OrganicLight Emitting Display Device)以及电泳显示装置(Electrophoretic DisplayDevice)等。
[0003]为了制造这种平板显示装置，可以利用掩模组装体。近几年，这种掩模组装体变得大型化，正在持续进行用于提高掩模组装体的精密度的研究。

技术实现思路

[0004]本技术的实施例提供一种提高了沉积精密度的掩模组装体。
[0005]本技术的一实施例公开一种掩模组装体，包括：第一掩模片，具备第一开口部；第二掩模片，包括第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域，其中，在所述第一区域中配置有在平面图中与所述第一开口部重叠的多个第二开口部，在所述第二区域中配置有使所述第一掩模片露出且彼此相邻的第一贯通孔和第二贯通孔；以及连接部，在平面图中配置在所述第一贯通孔和所述第二贯通孔之间且将所述第一掩模片和所述第二掩模片彼此连接，所述第一掩模片和所述第二掩模片之中的一个具备被配置成在平面图中与所述第一贯通孔及所述第二贯通孔之中的至少一个相邻的凹陷部。
[0006]在一实施例中，可以是，所述凹陷部设置为多个，多个所述凹陷部被配置成在平面图中与所述第一贯通孔及所述第二贯通孔相邻。
[0007]在一实施例中，可以是，所述连接部包括在所述第二掩模片的厚度方向上突出的突起。
[0008]在一实施例中，可以是，所述第一掩模片包括与所述第二掩模片对置的第一面，所述第二掩模片包括与所述第一面对置的第二面以及与所述第二面相反的第三面，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔分别贯通所述第二面和所述第三面，从所述第一面到所述第三面为止的第一距离大于或等于从所述第一面到所述突起的端部为止的第二距离。
[0009]在一实施例中，可以是，所述第二掩模片具备所述凹陷部。
[0010]在一实施例中，可以是，所述第一掩模片具备所述凹陷部。
[0011]在一实施例中，可以是，所述第一掩模片、所述第二掩模片和所述连接部被焊接而形成为一体。
[0012]在一实施例中，可以是，所述第二区域包括与所述第一贯通孔相邻的第一相邻区域以及包围所述第一相邻区域的至少一部分的外侧区域，所述第一相邻区域中的所述第二
掩模片的表面照度不同于所述外侧区域中的所述第二掩模片的表面照度。
[0013]在一实施例中，可以是，所述第一开口部设置为多个，多个所述第一开口部排列在第一方向以及与所述第一方向交叉的第二方向上，所述第二掩模片设置为多个，多个所述第二掩模片分别在平面图中与多个所述第一开口部重叠。
[0014]在一实施例中，可以是，所述掩模组装体还包括：掩模框体，具备在平面图中与多个所述第一开口部重叠的框体开口部，所述掩模框体的厚度大于所述第一掩模片的厚度，所述第一掩模片的厚度大于所述第二掩模片的厚度。
[0015](技术效果)
[0016]如上所述，在作为本技术的实施例的掩模组装体中，第一掩模片和第二掩模片之中的一个可以包括被配置成在平面图中与第一贯通孔及第二贯通孔之中的至少一个相邻的凹陷部。因此，可以防止或减少在将第一掩模片和第二掩模片彼此连接的连接部中产生不良的情况。此外，在利用掩模组装体时可以提高沉积精密度。
附图说明
[0017]图1是示意性表示本技术的一实施例涉及的掩模组装体的平面图。
[0018]图2是示意性表示本技术的一实施例涉及的掩模组装体的分解立体图。
[0019]图3a至图3c分别是根据本技术的一实施例放大了图1的掩模组装体的A部分的放大图。
[0020]图4a和图4b分别是根据本技术的一实施例放大了图3a的掩模组装体的B部分的放大图。
[0021]图5是沿着图4a的掩模组装体的C
‑
C
′
线示意性表示的剖视图。
[0022]图6是根据本技术的一实施例示意性表示掩模组装体的制造方法的平面图。
[0023]图7是放大了图6的第一掩模片和第二掩模片的D部分的放大图。
[0024]图8a和图8b分别是沿着图7的第一掩模片和第二掩模片的E
‑
E
′
线示意性表示的剖视图。
[0025]图9是根据本技术的一实施例示意性表示掩模组装体的制造方法的剖视图。
[0026]图10是根据本技术的一实施例示意性表示掩模组装体的制造方法的平面图。
[0027]图11是根据本技术的其他实施例放大了图3a的掩模组装体的B部分的放大图。
[0028]图12是沿着图11的掩模组装体的F
‑
F
′
线示意性表示的剖视图。
[0029]图13是根据本技术的其他实施例示意性表示掩模组装体的制造方法的平面图。
[0030]图14是放大了图13的第一掩模片和第二掩模片的G部分的放大图。
[0031]图15和图16是根据本技术的其他实施例示意性表示掩模组装体的制造方法的剖视图，分别是沿着图14的H
‑
H
′
线示意性表示的剖视图。
[0032]图17是示意性表示本技术的一实施例涉及的显示装置的制造装置的剖视图。
[0033]符号说明：
[0034]10：掩模组装体；100：第一掩模片；200：第二掩模片；300：掩模框体；ADA1：第一相邻区域；ADA2：第二相邻区域；AR1：第一区域；AR2：第二区域；OP1：第一开口部；OP2：第二开
口部；PH1：第一贯通孔；PH2：第二贯通孔；S1：第一面；S2：第二面；S3：第三面；PT：突起；CNP：连接部；DPP：凹陷部；EA：延伸区域；OA：外侧区域。
具体实施方式
[0035]本技术可以具有各种变换以及各种实施例，在附图中例示特定实施例，并在此进行详细说明。参照与附图一起详细后述的实施例，本技术的效果、特征以及达成这些效果和特征的方法会变得明确。但是，本技术并不限于以下公开的实施例，可以以各种形态实现本技术。
[0036]以下，参照附图详细说明本技术的实施例，在参照附图进行说明时，对于相同或对应的构成元件赋予相同的符号，并省略对其的重复说明。
[0037]在以下的实施例中，第一、第二等用语并不是限定性用语，是为了将一个构成元件区别于其他构成元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模组装体，其特征在于，包括：第一掩模片，具备第一开口部；第二掩模片，包括第一区域以及与所述第一区域相邻的第二区域，其中，在所述第一区域中配置有在平面图中与所述第一开口部重叠的多个第二开口部，在所述第二区域中配置有使所述第一掩模片露出且彼此相邻的第一贯通孔和第二贯通孔；以及连接部，在平面图中配置在所述第一贯通孔和所述第二贯通孔之间且将所述第一掩模片和所述第二掩模片彼此连接，所述第一掩模片和所述第二掩模片之中的一个具备被配置成在平面图中与所述第一贯通孔及所述第二贯通孔之中的至少一个相邻的凹陷部。2.根据权利要求1所述的掩模组装体，其特征在于，所述凹陷部设置为多个，多个所述凹陷部被配置成在平面图中与所述第一贯通孔及所述第二贯通孔相邻。3.根据权利要求1所述的掩模组装体，其特征在于，所述连接部包括在所述第二掩模片的厚度方向上突出的突起。4.根据权利要求3所述的掩模组装体，其特征在于，所述第一掩模片包括与所述第二掩模片对置的第一面，所述第二掩模片包括与所述第一面对置的第二面以及与所述第二面相反的第三面，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔分别贯通所述第二面和所述第三面，从所述第一面到所述第三面为止的第一距离大...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵恩翡，金桢国，文英慜，宋昇勇，黄圭焕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：