工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法制造方法及图纸

吸附工件的工件吸附装置具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部和第二电极部，通过在所述第一电极部和所述第二电极部之间形成的电场来静电吸附所述工件。所述第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附所述工件的吸附面和与所述吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部。所述第二电极部通过跨越所述吸附头的所述吸附面和与所述吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部。所述第一角部和所述第二角部相对。角部和所述第二角部相对。角部和所述第二角部相对。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法


[0001]本专利技术涉及工件吸附装置及工件吸附装置的制造方法。

技术介绍

[0002]以往，通过机械手进行工件的拾取和搬运。在利用机械手拾取工件时，除了物理地夹持工件进行把持的方式之外，还已知有真空吸附或静电吸附工件的吸附方式。
[0003]例如，已知通过静电吸附的吸附方式，将电子电路元件收纳于元件容器内且在元件容器的外侧设置有外部连接电极的电子部件在真空气氛下进行移载的方法(例如参照专利文献1)。在该方法中，使静电吸附电极接近外部连接电极的表面，通过在外部连接电极与静电吸附电极之间施加电压来静电吸附外部连接电极。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本公开公报：特开2017
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168724号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0005]但是，例如在拾取微小的工件进行组装的情况下，希望能够在一定的位置高精度地再现静电吸附用的电极对工件的吸附位置。但是，通过本申请的专利技术人的研究可知，根据静电吸附用的电极图案的形成方法，吸附工件的位置有可能产生偏差。
[0006]本专利技术的目的在于提供一种在通过静电吸附来吸附工件的方式中，能够使吸附工件的位置稳定的技术。另外，本专利技术的另一目的在于提供一种适合于能够使工件的吸附位置稳定的工件吸附装置的制造方法。解决技术问题所采用的技术方案
[0007]本专利技术的示例的工件吸附装置是吸附工件的工件吸附装置，具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部和第二电极部，通过在第一电极部与第二电极部之间形成的电场来静电吸附工件。第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附工件的吸附面和与吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部。第二电极部通过跨越吸附头的吸附面和与吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部。第一角部和第二角部相对。
[0008]本专利技术的示例的工件吸附装置的制造方法，该工件吸附装置具有支撑体，该支撑体配置有电极部，该电极部通过跨越两个面而形成，从而具有角部，该工件吸附装置使用电极部来静电吸附工件，该工件吸附装置的制造方法具有：第一工序，将支撑体和电沉积用电极放入电沉积液内；以及第二工序，在第一工序之后，将电极部和电沉积用电极中的一方作为正极，将另一方作为负极来施加电压，从而在电极部上形成电介质层。专利技术效果
[0009]根据本专利技术的示例的工件吸附装置，能够使静电吸附工件的位置稳定。另外，根据本专利技术的示例的工件吸附装置的制造方法，能够适当地制造能够使工件的吸附位置稳定的
工件吸附装置。
附图说明
[0010]图1是本专利技术的实施方式所涉及的工件吸附装置的概略图。图2是本专利技术的实施方式所涉及的吸附头的概略立体图。图3是本专利技术的实施方式所涉及的吸附头的概略分解立体图。图4是用于说明利用电沉积法的电介质层的形成方法的图。图5A是示出在本专利技术的实施方式的工件吸附装置中工件被静电吸附的状态的图。图5B是示出在比较例的工件吸附装置中工件被静电吸附的状态的图。图6是示出变形例的工件吸附装置的结构的概略图。图7是变形例的工件吸附装置所具有的吸附头的分解立体图。
具体实施方式
[0011]以下，参照附图详细说明本专利技术的示例的实施方式。在本说明书中，在附图中所示的相互正交的X方向、Y方向以及Z方向中，将与X方向平行的方向作为左右方向，将与Y方向平行的方向作为前后方向，将与Z方向平行的方向作为上下方向进行说明。另外，将+X方向作为右侧、
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X方向作为左侧、+Y方向作为前侧、
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Y方向作为后侧、+Z方向作为上侧、
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Z方向作为下侧进行说明。但是，这些方向仅仅是为了说明而使用的名称，并不意图限定实际的位置关系和方向。
[0012]另外，在方位、线以及面中的任意一个与其他任意一个的位置关系中，"平行"不仅包括两者延伸到任何程度都完全不相交的状态，还包括实质上平行的状态。另外，"垂直"及"正交"分别不仅包括两者相互以90度相交的状态，还包括实质上垂直的状态及实质上正交的状态。即，"平行"、"垂直"以及"正交"分别包括两者的位置关系存在不脱离本专利技术的主旨的程度的角度偏移的状态。
[0013]＜1.工件吸附装置的结构＞图1是本专利技术的实施方式的工件吸附装置100的概略图。工件吸附装置100例如应用于机械手。工件吸附装置100吸附工件。工件是成为例如加工、检查或组装等处理的对象的物体。工件例如为树脂制或金属制。如图1所示，工件吸附装置100具有吸附头1。吸附头1例如构成机械手的末端执行器的至少一部分。另外，在图1中，吸附头1由在图2的D
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D位置剖开的剖视图示出。
[0014]图2是本专利技术的实施方式的吸附头1的概略立体图。另外，在图2中，省略了后述的电介质层6。如图2所示，在本实施方式中，吸附头1为长方体形状。但是，吸附头1的形状也可以是长方体形状以外的形状。吸附头1的形状可以根据所吸附的工件的形状而形成为各种形状。吸附头1例如可以是长方体形状以外的棱柱状、圆柱状、球状或半球状等。
[0015]吸附头1由至少一个绝缘部件构成。由此，例如能够使用树脂来形成吸附头1，因此能够容易地进行吸附头1的制造。图3是本专利技术的实施方式的吸附头1的概略分解立体图。如图3所示，在本实施方式中，吸附头1由树脂制的第一部件11和第二部件12构成。但是，吸附头1也可以由单一的绝缘部件或三个以上的绝缘部件构成。
[0016]第一部件11具有长方体形状的主体部11a、从主体部11a的右侧面向右方突出的长
方体形状的第一凸部11b及第二凸部11c。第一凸部11b配置在主体部11a的右侧面的前方且下方。第二凸部11c配置在主体部11a的右侧面的后方且下方。第一凸部11b的前侧面位于与主体部11a的前侧面相同的平面内。第二凸部11c的后侧面位于与主体部11a的后侧面相同的平面内。第一凸部11b和第二凸部11c在前后方向上隔开间隔配置。第一凸部11b和第二凸部11c的下表面位于与主体部11a的下表面相同的平面内。第一凸部11b和第二凸部11c从主体部11a的下端延伸至主体部11a的下端与上端之间的中途位置。第一凸部11b和第二凸部11c相对于将主体部11a向前方和后方二等分的二等分面对称。
[0017]第二部件12为长方体形状。在本实施方式中，第二部件12具有与第一部件11的主体部11a相同的形状。第一部件11的第一凸部11b和第二凸部11c的右侧面与第二部件12的左侧面接合，吸附头1整体形成为长方体形状。第一部件11和第二部件12的接合例如可以使用粘接剂或双面胶带进行。
[0018]如图2所示，详细地说，吸附头1在上表面1a的左右方向的中央部具有向下方凹陷的槽部13。槽部13从吸附头1的前端到后端沿前后方向延伸。详细地说，槽部13的内表面由在左右方向上相对的第一面1b和第二面1c(参照图1)、以及与第一面1b和第二面1c正交的第三面1d构成。构成槽部13的一个内侧面的第一面1b是第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种工件吸附装置，其吸附工件，其特征在于，具有吸附头，该吸附头配置有第一电极部及第二电极部，通过在所述第一电极部与所述第二电极部之间形成的电场来静电吸附所述工件，所述第一电极部通过跨越所述吸附头的吸附所述工件的吸附面和与所述吸附面连接的第一面这两个面而配置，从而具有第一角部，所述第二电极部通过跨越所述吸附头的所述吸附面和与所述吸附面连接的第二面这两个面而配置，从而具有第二角部，所述第一角部与所述第二角部相对。2.如权利要求1所述的工件吸附装置，其特征在于，所述第一面和所述第二面是设置在所述吸附头的内部的面。3.如权利要求1或2所述的工件吸附装置，其特征在于，所述吸附头由至少一个绝缘部件构成。4.如权利要求1至3中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，在所述第一面与所述第二面之间设置有将所述第一角部与所述第二角部之间隔开的间隙。5.如权利要求1至3中任一项所述的工件吸附装置，其特征在于，在所述第一面与所述第二面之间配置有绝缘性的部件，该绝缘性的部件填埋形成于所述第一电极部与所述第二电极部之间的间隙。6.如权利要求1至5中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：西川和宏，上田贵大，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：