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一种防脱胶喷胶治具制造技术

技术编号:36670557 阅读:12 留言:0更新日期:2023-02-21 22:52
本实用新型专利技术公开了一种防脱胶喷胶治具,包括:基座和承片台,基座的上表面开口端密封对接有承片台,基座的背面与喷胶机上的真空吸附机构对接,另外承片台通过吸附机构将单晶片吸附抓取;基座上表面开口端的边沿处安装有环管,环管面对承片台的一侧外壁上开设有通孔。本实用通过两个卡夹将环管安装在承片台一侧的基座上,将微抽气机吸气端与环管上的其中一个通孔进行对接,当承片台吸附住单晶片进行喷胶时,微抽气机会带动承片台周围的气流向环管内部流动,承片台周围就会形成流动的气流,当喷胶机将胶喷到单晶片上后流动的气流就会加速溶胶在单晶片上的固化速度,这样就能防止喷出的胶从单镜片上流散开,以起到防止脱胶的作用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种防脱胶喷胶治具


[0001]本技术涉及喷胶治具
,具体为一种防脱胶喷胶治具。

技术介绍

[0002]在对圆盘形的单晶片制造工艺中会对其进行喷胶处理,在喷胶的时候会利用喷胶机来进行操作;
[0003]喷胶机在使用时,会先与喷胶治具进行安装对接,然后利用喷胶机上的真空吸附机构将放置在喷胶治具表面的单晶片抓取住,然后再进行具体的喷胶操作,目前喷胶机在喷胶完后,由于单晶片上的溶胶温度较高,需要等其自然降温固化,由于固化需要一定的时间,所以在固化的过程中溶胶会在单晶片上流动,从而导致单晶片上的喷胶不符合实际标准,因此需要对现有喷胶治具进行改进,使治具在喷胶的过程中能够提升溶胶的固化速率,以防止溶胶在单晶片上滑动。
[0004]所以针对上述问题,我们提出一种防脱胶喷胶治具。

技术实现思路

[0005](1)要解决的技术问题
[0006]本技术的目的在于提供一种防脱胶喷胶治具,以解决上述
技术介绍
中提出的目前喷胶机在喷胶完后,由于单晶片上的溶胶温度较高,需要等其自然降温固化,由于固化需要一定的时间,所以在固化的过程中溶胶会在单晶片上流动,从而导致单晶片上的喷胶不符合实际标准,因此需要对现有喷胶治具进行改进,使治具在喷胶的过程中能够提升溶胶的固化速率,以防止溶胶在单晶片上滑动的问题。
[0007](2)技术方案
[0008]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种防脱胶喷胶治具,包括:基座和承片台,所述基座的上表面开口端密封对接有承片台,所述基座的背面与喷胶机上的真空吸附机构对接,另外承片台通过吸附机构将单晶片吸附抓取;
[0009]所述基座上表面开口端的边沿处安装有环管,所述环管面对承片台的一侧外壁上开设有通孔,所述通孔与抽气机构对接,所述通孔的外壁上还对称卡接有两个卡夹,所述卡夹的底部安装有对接机构,所述对接机构卡接在对接槽的内部。
[0010]优选的,所述抽气机构包括微抽气机和安装座,所述微抽气机与其中一个通孔对接,所述微抽气机底部安装有安装座,所述安装座的底部安装在基座的表面上。
[0011]优选的,所述对接机构包括插块和倒钩,所述插块倾斜安装在卡夹的底部,所述插块底部的一侧安装有倒钩。
[0012]优选的,所述插块和倒钩都为PVC材质。
[0013]优选的,所述对接槽开设在基座的表面上,所述对接槽上表面开口尺寸大于插块和倒钩连接在一起的尺寸。
[0014]优选的,所述卡夹侧面为“C”形,且卡夹、插块和倒钩之间为一体结构。
[0015](3)有益效果
[0016]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0017]综上所述,通过两个卡夹将环管安装在承片台一侧的基座上,接着将微抽气机吸气端与环管上的其中一个通孔进行对接,当承片台吸附住单晶片进行喷胶时,微抽气机会带动承片台周围的气流向环管内部流动,这样承片台周围就会形成流动的气流,如此当喷胶机将胶喷到单晶片上后流动的气流就会加速溶胶在单晶片上的固化速度,这样就能防止喷出的胶从单镜片上流散开,以起到防止脱胶的作用。
附图说明
[0018]图1为本技术立体结构示意图;
[0019]图2为本技术环管局部侧视剖面结构示意图;
[0020]图3为本技术基座侧视剖面结构示意图;
[0021]图4为本技术剖面结构示意图。
[0022]图中:1、基座;2、承片台;3、环管;4、通孔;5、微抽气机;6、安装座;7、卡夹;8、插块;9、倒钩;10、对接槽。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0024]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种防脱胶喷胶治具,包括:基座1和承片台2,基座1的上表面开口端密封对接有承片台2,基座1的背面与喷胶机上的真空吸附机构对接,另外承片台2通过吸附机构将单晶片吸附抓取;
[0025]基座1上表面开口端的边沿处安装有环管3,环管3面对承片台2的一侧外壁上开设有通孔4,通孔4与抽气机构对接,通孔4的外壁上还对称卡接有两个卡夹7,卡夹7的底部安装有对接机构,对接机构卡接在对接槽10的内部。
[0026]抽气机构包括微抽气机5和安装座6,微抽气机5与其中一个通孔4对接,微抽气机5底部安装有安装座6,安装座6的底部安装在基座1的表面上,使用时微抽气机5会将环管3内部的气流向外抽出,这样就能使承片台2周围的气流加速向环管3内部流入,从而在使用时可以通过该结构提升承片台2周围空气的流动速率;
[0027]对接机构包括插块8和倒钩9,插块8倾斜安装在卡夹7的底部,插块8底部的一侧安装有倒钩9,这样在使用时通过插块8和倒钩9与对接槽10之间的对接可以将卡夹7安装在基座1上,卡夹7侧面为“C”形结构,且卡夹7、插块8和倒钩9之间为一体结构,插块8和倒钩9都为PVC材质,对接槽10开设在基座1的表面上,对接槽10上表面开口尺寸大于插块8和倒钩9连接在一起的尺寸,这样在安装插块8和倒钩9,时,将插块8和倒钩9挤压变形后卡入对接槽10内部。
[0028]工作原理:如图1

4所示,在使用该防脱胶喷胶治具时,首先,使用时将基座1一侧与喷胶机上的真空吸附机构连接在一起,这样承片台2就能通过其表面开设的通孔将单晶
片吸附住,接着将卡夹7卡在环管3的外壁上,并且将卡夹7底部的两组插块8和倒钩9与基座1上的对接槽10进行卡接,这样环管3就能安装在基座1上,此时将微抽气机5与通孔4对接,启动微抽气机5就能将承片台2周围的气流向环管3内部吸取,如此承片台2上的单晶片周围的气流就会加速流动起来,这样当喷胶机在单晶片上喷胶后,流动的气流就会使喷出的溶胶更加快速地在单晶片上固化,如此在使用时就能通过该结构使单晶片上的溶胶牢固地粘在单晶片上,从而在使用时可以通过上述方式防止溶胶从单晶片上滑落,防止脱胶,这就是该防脱胶喷胶治具的特点。
[0029]尽管已经示出和描述了本技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防脱胶喷胶治具,包括:基座(1)和承片台(2),其特征在于,所述基座(1)的上表面开口端密封对接有承片台(2),所述基座(1)的背面与喷胶机上的真空吸附机构对接,另外承片台(2)通过吸附机构将单晶片吸附抓取;所述基座(1)上表面开口端的边沿处安装有环管(3),所述环管(3)面对承片台(2)的一侧外壁上开设有通孔(4),所述通孔(4)与抽气机构对接,所述通孔(4)的外壁上还对称卡接有两个卡夹(7),所述卡夹(7)的底部安装有对接机构,所述对接机构卡接在对接槽(10)的内部。2.根据权利要求1所述的一种防脱胶喷胶治具,其特征在于:所述抽气机构包括微抽气机(5)和安装座(6),所述微抽气机(5)与其中一个通孔(4)对接,所述微抽气机(5)底部安装有安...

【专利技术属性】
技术研发人员:诸葛祥凤
申请(专利权)人:诸葛祥凤
类型:新型
国别省市:

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