用于提取关于波前的空间分布的信息的系统和方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于提取关于波前的空间分布的信息的系统和方法，涉及用于从多个图像拍摄关于波前的二维和/或三维分布的信息的光学系统(100)，其中，光学系统包括：用于拍摄图像的至少一个传感器(101)，其中，至少一个传感器包括多个像素(106)，并且其中，像素中的至少一些包括至少两个光电二极管(102、103)；至少一个可调光学元件(104)，其中，所述至少一个可调光学元件(104)适合于改变光学系统(100)的焦点；并且其中，光学系统(100)被配置为利用至少一个传感器(101)在由至少一个可调光学元件(104)设置的多个焦点位置处拍摄多个图像。件(104)设置的多个焦点位置处拍摄多个图像。件(104)设置的多个焦点位置处拍摄多个图像。

【技术实现步骤摘要】
用于提取关于波前的空间分布的信息的系统和方法


[0001]本专利技术涉及如独立权利要求的相应前序部分中指定的光学系统、方法、系统和存储介质。

技术介绍

[0002]在从三维场景或对象拍摄二维图像时，例如从真实物理三维空间中的场景拍摄图像和/或从真实物理三维空间中的三维对象拍摄图像时，深度信息在三维场景或对象投影到二维图像时丢失。
[0003]在计算机视觉或机器人视觉和工业计量学中，恢复至少部分该丢失的空间深度信息，使得例如能够识别和表征三维对象和三维表面特征(例如在晶圆计量学中表征半导体表面)和/或在拍摄的二维图像中的背景和前景特征或对象之间进行区分，是重要且具有挑战性的任务。
[0004]此外，当电磁波通过非均匀介质时，其波前相位关于其原始形状或相位发生失真或变形。所述波前失真或像差能够影响和退化光学系统的性能。
[0005]现有技术需要使用昂贵的复杂光学系统硬件和计算机资源密集型处理，以便拍摄、提取和处理关于携带关于真实物理三维空间中的对象/主体的信息的波前的二维和/或三维分布和形状的信息。/>[0006]此外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.光学系统(100)，所述光学系统(100)用于从多个图像拍摄关于波前的二维和/或三维分布的信息，所述光学系统(100)包括：至少一个传感器(101)，所述至少一个传感器(101)用于拍摄图像，其中，所述至少一个传感器包括多个像素(106)，并且其中，所述像素中的至少一些包括至少两个光电二极管(102、103)；至少一个可调光学元件(104)，其中，所述至少一个可调光学元件(104)适合于改变所述光学系统(100)的焦点；并且其中，所述光学系统(100)被配置为用于利用所述至少一个传感器(101)在由所述至少一个可调光学元件(104)设置的多个焦点位置处拍摄多个图像。2.根据前述权利要求所述的光学系统(100)，其中，所述至少一个可调光学元件(104)包括液体透镜和/或可移动透镜和/或可调棱镜。3.根据前述权利要求中的一项所述的光学系统(100)，其中，所述至少一个可调光学元件(104)被配置为在小于10ms的时间尺度上改变所述光学系统的所述焦点。4.根据前述权利要求中的一项所述的光学系统(100)，包括另外的光学元件，所述另外的光学元件例如透镜，所述另外的光学元件被配置为改变所述光学系统的焦距范围。5.根据前述权利要求中的一项所述的光学系统(100)，进一步包括至少一个准直器，其中，所述准直器沿所述光学系统(100)的光轴布置在所述至少一个可调光学元件(104)之前。6.根据前述权利要求中的一项所述的光学系统(100)，其中，所述至少一个传感器(101)被配置为用于同时拍摄至少两个图像，其中，像素(102、103)的不同光电二极管与不同的图像相关联。7.根据前述权利要求中的一项所述的光学系统(100)，其中，所述光学系统包括(100)数据处理系统或者与数据处理系统通信，所述数据处理系统被配置为用于存储和处理拍摄的所述多个图像，以从拍摄...

【专利技术属性】
技术研发人员：里卡多，
申请(专利权)人：伍普蒂斯有限公司，
类型：发明
国别省市：