交错串驱动器、具有窄主动区的串驱动器及门控LDD串驱动器制造技术

本公开涉及交错串驱动器、具有窄主动区的串驱动器及门控LDD串驱动器。一种存储器装置包含在存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置的第一串驱动器电路及第二串驱动器电路。所述第一及所述第二串驱动器电路以交错布局配置安置，使得所述第一串驱动器的第一连接在宽度方向上从所述第二串驱动器的第二连接偏移。对于所述对应相对第一与第二连接之间的相同有效距离，对应于所述第一及第二串驱动器的所述交错布局配置的第一节距长度比在以其中所述第一连接中的每一者与所述对应第二连接排成一行的非交错布局配置安置时所述第一与第二串驱动器之间的第二节距长度小预定减小量。小量。小量。

【技术实现步骤摘要】
交错串驱动器、具有窄主动区的串驱动器及门控LDD串驱动器


[0001]本公开大体上涉及一种具有串驱动器且更特定来说，交错串驱动器及围绕触点具有窄主动区的串驱动器的装置。本公开还涉及经配置以包含门控轻掺杂漏极(LDD)的串驱动器。

技术介绍

[0002]存储器装置通常作为内部半导体集成电路提供于计算机或其它电子装置中。存在许多不同类型的存储器，包含随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、动态随机存取存储器(DRAM)、同步动态随机存取存储器(SDRAM)、静态随机存取存储器(SRAM)及快闪存储器。随着存储器装置发展，期望使包含存储器子系统的存储器装置尽可能小及/或密集。
[0003]由于上述原因及由于所属领域的技术人员将在阅读及理解本说明书之后明白的下述其它原因，所属领域需要允许更小节距的存储器子系统。

技术实现思路

[0004]根据本申请案的方面，提供一种设备。所述设备包括：多个存储器串，每一存储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线；及存储器子系统，其包含具有第一连接的第一串驱动器电路及具有第二连接的第二串驱动器电路，所述第一连接中的每一者及所述第二连接中的每一者适于连接到所述多个局部字线中的相应局部字线，其中所述第一及第二串驱动器电路在所述存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置，使得所述第一连接中的每一者与对应第二连接相对安置，其中所述第一及所述第二串驱动器电路以交错布局配置安置，使得所述第一连接中的每一者在所述存储器系统的宽度方向上从所述对应第二连接偏移大于零的预定距离，所述宽度方向垂直于所述长度方向，且其中对于所述对应相对第一与第二连接之间的相同有效距离，对应于所述第一及第二串驱动器的所述交错布局配置的第一节距长度比在以其中所述第一连接中的每一者与所述对应第二连接排成一行的非交错布局配置安置时所述第一与第二串驱动器之间的第二节距长度小预定减小量。
[0005]根据本申请案的另一方面，提供一种设备。所述设备包括：多个存储器串，每一存储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线；及存储器子系统，其包含具有第一连接的第一串驱动器电路及具有第二连接的第二串驱动器电路，所述第一连接中的每一者及所述第二连接中的每一者适于连接到所述多个局部字线中的相应局部字线，其中所述第一及第二串驱动器电路在所述存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置，使得所述第一连接中的每一者与对应第二连接排成一行且相对，且其中所述对应相对第一及第二连接由深沟槽隔离结构分离，且其中对应于使用深沟槽隔离结构的所述对应相对连接之间的最小有效距离的第一节距长度小于对应于使用排成一行配置及浅沟槽隔离结构的对应相对第一与第二连接之间的最小有效距离的第二节距长度。
[0006]根据本申请案的又一方面，提供一种设备。所述设备包括：多个存储器串，每一存
储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线；及多个字线驱动器，每一字线驱动器具有至少一个子驱动器，所述至少一个子驱动器包含：第一触点，其连接到对应局部字线；第二触点；栅极，其安置于所述第一与第二触点之间；及沟道区，其安置于所述栅极下方且安置于第一轻剂量漏极(LDD)区与第二LDD区之间，其中所述栅极在所述第一或第二LDD区中的至少一者的至少一部分上方延伸以形成相邻于所述沟道区的相应门控轻剂量漏极(GLDD)区。
附图说明
[0007]图1说明根据本公开的存储器系统的实施例的框图。
[0008]图2A说明根据本公开的存储器阵列电路的简化图的俯视平面图。
[0009]图2B说明图2A中的存储器阵列电路的截面2B
‑
2B的横截面图。
[0010]图2C说明根据本公开的串驱动器的简化布局图的俯视平面图。
[0011]图2D说明图2A中的存储器阵列电路的截面2D
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2D的横截面图，其说明字线“阶梯”配置。
[0012]图3展示使用浅沟槽隔离结构的串驱动器的局部字线驱动器的简化横截面图。
[0013]图4说明根据本公开的实施例的使用深沟槽隔离结构的图2C的串驱动器的截面4
‑
4的简化横截面图。
[0014]图5A到5C说明根据本公开的各种实施例的交错串驱动器布置的部分的简化框图的俯视图。
[0015]图6说明根据本公开的实施例的具有门控LDD配置的交错串驱动器布置的一部分的简化框图的俯视图。
[0016]图7A说明根据本公开的实施例的具有门控LDD配置的串驱动器的局部字线驱动器的简化图的俯视图。
[0017]图7B到7D是图7A的局部字线驱动器的截面7B
‑
7B的横截面图。
具体实施方式
[0018]本技术的实施例针对存储器装置、包含存储器装置的系统。在一个实施例中，存储器装置包含：存储器阵列，其具有多个存储器单元；及行解码器电路，其经配置以提供至少一个行选择信号来选择对应字线用于对多个存储器单元进行存储器操作。行解码器电路可包含交错及/或围绕其相应触点具有窄主动区的串驱动器。另外，存储器装置可具有含门控LDD配置的串驱动器。
[0019]在以下详细描述中，参考构成其一部分且其中通过说明来展示特定实施例的附图。在图式中，相同数字描述所有若干视图中的大体上类似组件。在不脱离本公开的范围的情况下，可利用其它实施例且可进行结构、逻辑及电改变。因此，下文详细描述不应被视为意在限制。
[0020]本公开的一些示范性实施例可针对存储器装置，例如快闪存储器装置。快闪存储器装置(例如NAND、NOR等)已发展为各种电子应用的非易失性存储器的普遍来源。非易失性存储器是可在不施加电力的情况下长时间留存其数据值的存储器。快闪存储器装置通常使用允许高存储器密度、高可靠性及低功耗的单晶体管存储器单元。通过对电荷存储结构(例
如浮动栅极或电荷陷阱)进行编程(其有时称为写入)或其它物理现象(例如相变或极化)，存储器单元的阈值电压改变确定每一存储器单元的数据值。快闪存储器及其它非易失性存储器的常见用途可包含个人计算机、个人数字助理(PDA)、数码相机、数字媒体播放器、数字记录器、游戏、电器、交通工具、无线装置、移动电话及可移除存储器模块，且非易失性存储器的用途不断扩大。
[0021]本公开针对一种具有存储器单元阵列的存储器装置。存储器装置包含多个位线，其中每一位线连接到存储器单元阵列的相应一组存储器单元。在本公开的实施例中，一种设备包含多个存储器串，其中每一存储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线。设备可包含具有含第一连接的第一串驱动器电路及含第二连接的第二串驱动器电路的存储器子系统。第一连接中的每一者及第二连接中的每一者可适于连接到多个局部字线中的相应局部字线。第一及第二串驱动器电路可在存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置，使得第一连接中的每一者与对应第二连接相对安置。第一及第二串驱动器电路可以交错布局配置安置，使得第一连接中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种设备，其包括：多个存储器串，每一存储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线；及存储器子系统，其包含具有第一连接的第一串驱动器电路及具有第二连接的第二串驱动器电路，所述第一连接中的每一者及所述第二连接中的每一者适于连接到所述多个局部字线中的相应局部字线，其中所述第一及第二串驱动器电路在所述存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置，使得所述第一连接中的每一者与对应第二连接相对安置，其中所述第一及所述第二串驱动器电路以交错布局配置安置，使得所述第一连接中的每一者在所述存储器系统的宽度方向上从所述对应第二连接偏移大于零的预定距离，所述宽度方向垂直于所述长度方向，且其中对于所述对应相对第一与第二连接之间的相同有效距离，对应于所述第一及第二串驱动器的所述交错布局配置的第一节距长度比在以其中所述第一连接中的每一者与所述对应第二连接排成一行的非交错布局配置安置时所述第一与第二串驱动器之间的第二节距长度小预定减小量。2.根据权利要求1所述的设备，其中在所述第一串驱动器的所述宽度方向上对应于相邻第一连接的布局的节距宽度小于或等于所述对应相对第一与第二连接之间的最小有效距离的两倍，且其中所述预定减小量等于(D
‑
Sqrt(D2‑
(WP2/4))，其中D是所述有效距离且WP是所述节距宽度。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述偏移为1/2WP，且其中基于所述有效距离及所述宽度节距，所述预定减小量在0.017μm到0.66μm之间的范围内。4.根据权利要求1所述的设备，其中在所述第一串驱动器的所述宽度方向上对应于相邻第一连接的布局的节距宽度大于所述对应相对第一与第二连接之间的第一最小有效距离的两倍，且其中所述预定减小量对应于所述长度方向上的所述相对第一与第二连接之间的重叠。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述对应相对第一及第二连接由深沟槽隔离结构分离。6.根据权利要求1所述的设备，其中所述对应相对第一及第二连接由浅沟槽隔离结构分离。7.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一及第二串驱动器包含相应字线驱动器用于驱动所述对应局部字线，且其中每一字线驱动器包含在轻剂量漏极区的至少一部分上方延伸以形成门控轻剂量漏极区的栅极。8.一种设备，其包括：多个存储器串，每一存储器串包含连接到对应存储器单元以形成存储器单元阵列的多个局部字线；及存储器子系统，其包含具有第一连接的第一串驱动器电路及具有第二连接的第二串驱
动器电路，所述第一连接中的每一者及所述第二连接中的每一者适于连接到所述多个局部字线中的相应局部字线，其中所述第一及第二串驱动器电路在所述存储器子系统的长度方向上彼此相邻横向安置，使得所述第一连接中的每一者与对应第二连接排成一行且相对，且其中所述对应相对第一及第二连接由深沟槽隔离结构分离，且其中对应于使用深沟槽隔离结构的所述对应相对连接之间的最小有效距离的...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：美光科技公司，
类型：发明
国别省市：